Värske uudis: MIIT reklaamib kodumaiseid DUV-litograafiamasinaid, mille kihi täpsus on ≤8 nm

Viimastel kuudel avaldas tööstus- ja infotehnoloogiaministeerium (MIIT) "Esimese (komplekti) suurema tehnilise varustuse edendamise ja rakendamise suunised (2024. aasta väljaanne)". See sillutab teed küpsete kiipide tootmise täieliku protsessi lokaliseerimisele üle 28 nm sõlmede jaoks!

Kuigi 28 nm tehnoloogia ei ole tipptasemel, on sellel oluline tähtsus eraldusjoonena madala kuni keskmise ja keskmise kuni kõrge hinnaklassi kiipide vahel. Lisaks täiustatud protsessoritele, graafikaprotsessoritele ja tehisintellekti kiipidele tugineb enamik tööstusklassi kiipe 28 nm või uuemale tehnoloogiale.

Tööpõhimõte: edusammud sügava ultraviolettlitograafia valdkonnas

KrF (krüptoonfluoriid) ja ArF (argoonfluoriid) litograafiaseadmed kuuluvad süvaultravioletkiirguse (DUV) litograafia kategooriasse. Mõlemad kasutavad spetsiifilisi valguse lainepikkusi, mis projitseeritakse optiliste süsteemide kaudu ränivahvli fotoresistkihile, kandes üle keerukaid vooluringi mustreid.

KrF litograafiamasinad: kasutavad 248 nm lainepikkusega valgusallikat, saavutades eraldusvõime alla 110 nm, mis sobib mitmesuguste integraallülituste tootmisprotsesside jaoks.

ArF litograafiamasinad: kasutavad 193 nm lainepikkusega valgusallikat, mis pakub suuremat eraldusvõimet alla 65 nm protsessitehnoloogiate jaoks, võimaldades peenemate vooluringide valmistamist.

Tehnoloogiline tähtsus: tööstuse uuendamine ja iseseisvus

Nende litograafiamasinate väljatöötamine tähistab olulist verstaposti pooljuhtide tootmise edendamisel ja tööstusliku autonoomia saavutamisel:

Tehnilised läbimurded: KrF- ja ArF-litograafiamasinate edukas loomine rõhutab märkimisväärset edu tipptasemel litograafiatehnoloogias, pakkudes pooljuhtide tootmisele tugevat tehnilist tuge.

Tööstusharu uuendus: ülitäpsed litograafiamasinad võimaldavad toota keerukamaid ja suure jõudlusega integraallülitusi, edendades innovatsiooni kogu pooljuhtide väärtusahelas.

Majanduslik ja riiklik julgeolek: vähendades sõltuvust välismaisest tehnoloogiast, tugevdavad need masinad kodumaise pooljuhtide tööstuse iseseisvust, suurendades majanduslikku ja tööstuslikku julgeolekut.

Vesijahuti : stabiilse litograafiamasina jõudluse võti

Täpne temperatuuri reguleerimine on oluline litograafiaprotsessi kvaliteedi ja saagikuse tagamiseks. Jahutussüsteemide põhikomponentidena mängivad veejahutid olulist rolli:

Jahutusnõuded: Litograafiamasinad on särituse ajal äärmiselt tundlikud temperatuurikõikumiste suhtes, mistõttu on vaja veejahuteid, mis tagavad väga täpse ja stabiilse temperatuuri reguleerimise.

Jahutite funktsioonid: Jahutusvee ringluse abil hajutavad jahutid tõhusalt töö ajal tekkivat soojust, hoides laserseadmeid optimaalses temperatuurivahemikus ning tagades litograafiaprotsessi täpsuse ja töökindluse.

TEYU jahuti pakub litograafiamasinatele professionaalseid jahutuslahendusi

TEYU CWUP seeria ülikiired laserjahutid pakuvad litograafiamasinatele täpset ja stabiilset temperatuuri reguleerimist. Jahuti mudel CWUP-20ANP saavutab temperatuuri stabiilsuse ±0,08 °C, pakkudes täppistootmiseks ülitõhusat jahutust.

Pooljuhtide tootmise täpses maailmas on litograafiamasinad mikroskeemide mustrite ülekandmise põhiseadmed. Tehnoloogia arenedes on krüptoonfluoriidi litograafiamasinad ja argoonfluoriidi litograafiamasinad oma suurepärase jõudlusega muutunud oluliseks jõuks tööstuse arengu edendamisel.