Тэрміновыя навіны: MIIT прасоўвае айчынныя літаграфічныя машыны DUV з дакладнасцю накладання ≤8 нм

У апошнія месяцы Міністэрства прамысловасці і інфармацыйных тэхналогій (MIIT) апублікавала «Кіраўніцтва па прасоўванні і ўжыванні першага (камплекта) буйнога тэхнічнага абсталявання (выданне 2024 г.)». Гэта адкрывае шлях для поўнай лакалізацыі вытворчасці сталых мікрасхем для вузлоў вышэй за 28 нм!

Нягледзячы на ​​тое, што тэхналогія 28 нм не з'яўляецца перадавой, яна мае значнае значэнне як падзяляльная лінія паміж чыпамі нізкага і сярэдняга класа і сярэдняга і высокага класа. Акрамя перадавых цэнтральных працэсараў, графічных працэсараў і чыпаў штучнага інтэлекту, большасць прамысловага класа выкарыстоўваюць тэхналогіі 28 нм або вышэй.

Прынцып працы: Дасягненні ў глыбокай ультрафіялетавай літаграфіі

Літаграфы KrF (фтарыд крыптону) і ArF (фтарыд аргону) адносяцца да катэгорыі літаграфіі глыбокага ультрафіялетавага выпраменьвання (DUV). Абедзве выкарыстоўваюць пэўныя даўжыні хваль святла, якія праецыруюцца праз аптычныя сістэмы на фотарэзістны пласт крэмніевай пласціны, пераносячы складаныя схемы.

Літаграфічныя машыны KrF: выкарыстоўваюць крыніцу святла з даўжынёй хвалі 248 нм, дасягаючы раздзяляльнай здольнасці ніжэй за 110 нм, падыходзяць для розных працэсаў вытворчасці інтэгральных схем.

Літаграфічныя машыны ArF: выкарыстоўваюць крыніцу святла з даўжынёй хвалі 193 нм, што забяспечвае больш высокае разрозненне для тэхналогій працэсу менш за 65 нм, што дазваляе ствараць больш тонкія схемы.

Тэхналагічнае значэнне: мадэрнізацыя прамысловасці і самазабеспячэнне

Распрацоўка гэтых літаграфічных машын з'яўляецца важнай вяхой у развіцці вытворчасці паўправаднікоў і дасягненні прамысловай аўтаноміі:

Тэхнічныя прарывы: Паспяховае стварэнне літаграфічных машын KrF і ArF сведчыць аб значным прагрэсе ў тэхналогіі высокага класа літаграфіі, забяспечваючы надзейную тэхнічную падтрымку для вытворчасці паўправаднікоў.

Мадэрнізацыя галіны: Высокадакладныя літаграфічныя машыны дазваляюць вырабляць больш складаныя і высокапрадукцыйныя інтэгральныя схемы, стымулюючы інавацыі ва ўсім ланцужку стварэння каштоўнасці паўправадніковых вырабаў.

Эканамічная і нацыянальная бяспека: Зніжаючы залежнасць ад замежных тэхналогій, гэтыя машыны ўмацоўваюць самадастатковасць айчыннай паўправадніковай прамысловасці, умацоўваючы эканамічную і прамысловую бяспеку.

Вадзяны ахаладжальнік : ключ да стабільнай працы літаграфічнай машыны

Дакладны кантроль тэмпературы мае важнае значэнне для забеспячэння якасці і прыбытковасці працэсу літаграфіі. Вадзяныя ахаладжальнікі, як асноўныя кампаненты сістэм астуджэння, адыгрываюць жыццёва важную ролю:

Патрабаванні да астуджэння: літаграфічныя машыны надзвычай адчувальныя да ваганняў тэмпературы падчас экспазіцыі, што патрабуе вадзяных ахаладжальнікаў, якія забяспечваюць высокадакладны і стабільны кантроль тэмпературы.

Функцыі чылераў: Дзякуючы цыркуляцыі астуджальнай вады, чылеры эфектыўна рассейваюць цяпло, якое выпрацоўваецца падчас працы, падтрымліваючы лазернае абсталяванне ў аптымальным дыяпазоне тэмператур і забяспечваючы дакладнасць і надзейнасць працэсу літаграфіі.

Чылер TEYU прапануе прафесійныя рашэнні для астуджэння літаграфічных машын

Звышхуткія лазерныя ахаладжальнікі серыі TEYU CWUP забяспечваюць дакладны і стабільны кантроль тэмпературы для літаграфічных машын. Мадэль ахаладжальніка CWUP-20ANP дасягае стабільнасці тэмпературы ±0,08°C, што забяспечвае высокаэфектыўнае астуджэнне для дакладнай вытворчасці.

У свеце вытворчасці паўправаднікоў літаграфічныя машыны з'яўляюцца асноўнымі прыладамі для пераносу малюнкаў мікрасхем. З развіццём тэхналогій літаграфічныя машыны на аснове фтарыду крыптону і фтарыду аргону сталі важнай рухаючай сілай, якая садзейнічае развіццю галіны дзякуючы сваёй выдатнай прадукцыйнасці.