Noticia de última hora: o MIIT promove máquinas de litografía DUV nacionais con precisión de superposición ≤8 nm

Nos últimos meses, o Ministerio de Industria e Tecnoloxías da Información (MIIT) publicou as "Directrices para a promoción e aplicación de primeiros (conxuntos) equipos técnicos importantes (edición de 2024)". Isto abre o camiño para a localización de procesos completos na fabricación de chips maduros para nodos de máis de 28 nm!

Aínda que a tecnoloxía de 28 nm non é de vangarda, ten unha importancia significativa como liña divisoria entre os chips de gama baixa-media e de gama media-alta. Ademais das CPU, GPU e chips de IA avanzados, a maioría dos chips de grao industrial baséanse en tecnoloxías de 28 nm ou superiores.

Principio de funcionamento: avances na litografía ultravioleta profunda

As máquinas de litografía KrF (fluoruro de criptón) e ArF (fluoruro de argón) pertencen á categoría de litografía ultravioleta profunda (DUV). Ambos utilizan lonxitudes de onda de luz específicas proxectadas a través de sistemas ópticos sobre a capa de fotorresina dunha oblea de silicio, transferindo patróns de circuítos complexos.

Máquinas de litografía KrF: Usa unha fonte de luz de lonxitude de onda de 248 nm, acadando resolucións inferiores a 110 nm, axeitada para varios procesos de fabricación de circuítos integrados.

Máquinas de litografía ArF: Emprega unha fonte de luz de lonxitude de onda de 193 nm, que ofrece unha maior resolución para tecnoloxías de proceso sub-65 nm, o que permite a fabricación de circuítos máis finos.

Importancia tecnolóxica: modernización da industria e autosuficiencia

O desenvolvemento destas máquinas de litografía marca un fito importante no avance da fabricación de semicondutores e na consecución da autonomía industrial:

Avances técnicos: A creación exitosa das máquinas de litografía KrF e ArF destaca un progreso significativo na tecnoloxía de litografía de alta gama, proporcionando un sólido soporte técnico para a fabricación de semicondutores.

Actualización da industria: As máquinas de litografía de alta precisión permiten a produción de circuítos integrados máis complexos e de alto rendemento, impulsando a innovación en toda a cadea de valor dos semicondutores.

Seguridade económica e nacional: Ao reducir a dependencia da tecnoloxía estranxeira, estas máquinas fortalecen a autosuficiencia da industria nacional de semicondutores, reforzando a seguridade económica e industrial.

Refrixerador de auga A clave para un rendemento estable da máquina de litografía

Un control preciso da temperatura é esencial para garantir a calidade e o rendemento do proceso de litografía. Os refrixeradores de auga, como compoñentes básicos dos sistemas de refrixeración, desempeñan un papel vital:

Requisitos de refrixeración: As máquinas de litografía son extremadamente sensibles ás flutuacións de temperatura durante a exposición, o que require refrixeradores de auga que proporcionen un control da temperatura moi preciso e estable.

Funcións dos refrixeradores: Ao facer circular auga de refrixeración, os refrixeradores disipan eficazmente a calor xerada durante o funcionamento, mantendo o equipo láser dentro dun rango de temperatura óptimo e garantindo a precisión e a fiabilidade no proceso de litografía.

Os refrixeradores TEYU ofrecen solucións de refrixeración profesionais para máquinas de litografía

Os refrigeradores láser ultrarrápidos da serie TEYU CWUP poden proporcionar un control de temperatura preciso e estable para máquinas de litografía. O/A modelo de enfriador CWUP-20ANP consegue estabilidade de temperatura de ±0.08°C, que proporciona unha refrixeración altamente eficiente para a fabricación de precisión.

No preciso mundo da fabricación de semicondutores, as máquinas de litografía son os dispositivos principais para a transferencia de patróns de microcircuítos. Co avance da tecnoloxía, a máquina de litografía con fluoruro de criptón e a máquina de litografía con fluoruro de argon convertéronse nunha forza importante para promover o desenvolvemento da industria co seu excelente rendemento.