Jaunākās ziņas: MIIT reklamē vietējās DUV litogrāfijas iekārtas ar ≤8 nm pārklājuma precizitāti

Pēdējos mēnešos Rūpniecības un informācijas tehnoloģiju ministrija (MIIT) ir izdevusi "Pirmā (komplekta) galvenā tehniskā aprīkojuma popularizēšanas un pielietošanas vadlīnijas (2024. gada izdevums)". Tas paver ceļu pilnīgai nobriedušu mikroshēmu ražošanas lokalizācijai mezgliem virs 28 nm!

Lai gan 28 nm tehnoloģija nav vismodernākā, tai ir būtiska nozīme kā robežšķirtnei starp zemas un vidējas klases un vidējas un augstas klases mikroshēmām. Papildus progresīviem centrālajiem procesoriem (CPU), grafiskajiem procesoriem (GPU) un mākslīgā intelekta mikroshēmām lielākā daļa rūpnieciskās klases mikroshēmu balstās uz 28 nm vai jaunākām tehnoloģijām.

Darbības princips: dziļās ultravioletās litogrāfijas sasniegumi

KrF (kriptona fluorīda) un ArF (argona fluorīda) litogrāfijas iekārtas ietilpst dziļās ultravioletās (DUV) litogrāfijas kategorijā. Abas izmanto specifiskus gaismas viļņu garumus, kas tiek projicēti caur optiskām sistēmām uz silīcija vafeles fotorezista slāņa, pārnesot sarežģītus shēmu rakstus.

KrF litogrāfijas iekārtas: izmanto 248 nm viļņa garuma gaismas avotu, sasniedzot izšķirtspēju zem 110 nm, kas ir piemērotas dažādiem integrēto shēmu ražošanas procesiem.

ArF litogrāfijas iekārtas: izmanto 193 nm viļņa garuma gaismas avotu, kas piedāvā augstāku izšķirtspēju zem 65 nm apstrādes tehnoloģijām, ļaujot izgatavot smalkākas shēmas.

Tehnoloģiskā nozīme: nozares modernizācija un pašpaļāvība

Šo litogrāfijas iekārtu izstrāde ir nozīmīgs pagrieziena punkts pusvadītāju ražošanas attīstībā un rūpnieciskās autonomijas sasniegšanā:

Tehniski sasniegumi: KrF un ArF litogrāfijas iekārtu veiksmīgā izveide iezīmē ievērojamu progresu augstas klases litogrāfijas tehnoloģijā, nodrošinot stabilu tehnisko atbalstu pusvadītāju ražošanai.

Nozares modernizācija: augstas precizitātes litogrāfijas iekārtas ļauj ražot sarežģītākas un augstas veiktspējas integrētās shēmas, veicinot inovācijas visā pusvadītāju vērtību ķēdē.

Ekonomiskā un nacionālā drošība: Samazinot atkarību no ārvalstu tehnoloģijām, šīs iekārtas stiprina vietējās pusvadītāju nozares pašpietiekamību, veicinot ekonomisko un rūpniecisko drošību.

Ūdens dzesētājs : stabilas litogrāfijas iekārtas darbības atslēga

Precīza temperatūras kontrole ir būtiska, lai nodrošinātu litogrāfijas procesa kvalitāti un ražību. Ūdens dzesētājiem kā dzesēšanas sistēmu galvenajām sastāvdaļām ir būtiska loma:

Dzesēšanas prasības: Litogrāfijas iekārtas ir ārkārtīgi jutīgas pret temperatūras svārstībām ekspozīcijas laikā, tāpēc ir nepieciešami ūdens dzesētāji, kas nodrošina ļoti precīzu un stabilu temperatūras kontroli.

Dzesētāju funkcijas: Cirkulējot dzesēšanas ūdeni, dzesētāji efektīvi izkliedē darbības laikā radīto siltumu, uzturot lāzera iekārtu optimālā temperatūras diapazonā un nodrošinot precizitāti un uzticamību litogrāfijas procesā.

TEYU dzesētājs piedāvā profesionālus dzesēšanas risinājumus litogrāfijas iekārtām

TEYU CWUP sērijas īpaši ātrie lāzerdzesētāji var nodrošināt precīzu un stabilu temperatūras kontroli litogrāfijas iekārtām. Dzesētāja modelis CWUP-20ANP sasniedz temperatūras stabilitāti ±0,08 °C, nodrošinot ļoti efektīvu dzesēšanu precīzai ražošanai.

Pusvadītāju ražošanas precīzajā pasaulē litogrāfijas iekārtas ir galvenās ierīces mikroshēmu rakstu pārnešanai. Attīstoties tehnoloģijām, kriptona fluorīda litogrāfijas iekārtas un argona fluorīda litogrāfijas iekārtas ar savu izcilo veiktspēju ir kļuvušas par nozīmīgu spēku nozares attīstības veicināšanā.