په دې وروستیو میاشتو کې، د صنعت او معلوماتي ټکنالوژۍ وزارت (MIIT) "د لومړي (سیټ) لوی تخنیکي تجهیزاتو د ترویج او پلي کولو لپاره لارښوونې (۲۰۲۴ نسخه)" خپرې کړې. دا د ۲۸ نانومیټر څخه پورته نوډونو لپاره د بالغ چپ تولید بشپړ پروسې ځایی کولو ته لاره هواروي!
که څه هم د ۲۸ نانو میتر ټیکنالوژي پرمختللې نه ده، خو دا د ټیټ څخه تر منځني او منځني څخه تر لوړ پای چپسونو ترمنځ د ویشونکې کرښې په توګه د پام وړ اهمیت لري. د پرمختللو CPUs، GPUs، او AI چپسونو سربیره، ډیری صنعتي درجې چپس په 28nm یا لوړو ټیکنالوژیو تکیه کوي.
![MIIT Promotes Domestic DUV Lithography Machines with ≤8nm Overlay Accuracy]()
د کار اصل: په ژور الټرا وایلیټ لیتوګرافي کې پرمختګونه
د KrF (کریپټون فلورایډ) او ArF (ارګون فلورایډ) لیتوګرافي ماشینونه د ژور الټرا وایلیټ (DUV) لیتوګرافي په کټګورۍ کې راځي. دواړه د سیلیکون ویفر د فوتوریزیسټ طبقې ته د آپټیکل سیسټمونو له لارې د ځانګړي رڼا طول موجونو څخه کار اخلي، د پیچلي سرکټ نمونې لیږدوي.
د KrF لیتوګرافي ماشینونه:
د ۲۴۸ نانومیټر طول موج د رڼا سرچینې څخه کار واخلئ، چې د ۱۱۰ نانومیټر څخه کم ریزولوشن ترلاسه کړي، د مختلفو مدغم سرکټ تولید پروسو لپاره مناسب وي.
د ار ایف لیتوګرافي ماشینونه:
د ۱۹۳ نانومیټر طول موج د رڼا سرچینې څخه کار واخلئ، چې د فرعي ۶۵ نانومیټر پروسې ټیکنالوژیو لپاره لوړ ریزولوشن وړاندې کوي، د غوره سرکټونو جوړولو ته اجازه ورکوي.
تخنیکي اهمیت: د صنعت پرمختګ او ځان بسیاینې
د دې لیتوګرافي ماشینونو پراختیا د سیمیکمډکټر تولید پرمختګ او صنعتي خپلواکۍ ترلاسه کولو کې یو لوی پړاو په ګوته کوي.:
تخنیکي پرمختګونه:
د KrF او ArF لیتوګرافي ماشینونو بریالۍ جوړول د لوړ پای لیتوګرافي ټیکنالوژۍ کې د پام وړ پرمختګ څرګندوي، چې د سیمیکمډکټر تولید لپاره قوي تخنیکي ملاتړ چمتو کوي.
د صنعت لوړوالی:
د لوړ دقت لرونکي لیتوګرافي ماشینونه د ډیرو پیچلو او لوړ فعالیت لرونکي مدغم سرکټونو تولید ته اجازه ورکوي، چې د سیمیکمډکټر ارزښت په ټوله سلسله کې نوښت رامینځته کوي.
اقتصادي او ملي امنیت: په بهرنۍ ټیکنالوژۍ باندې د تکیه کمولو سره، دا ماشینونه د کورني سیمیکمډکټر صنعت ځان بسیاینې ته وده ورکوي، اقتصادي او صنعتي امنیت پیاوړی کوي.
د اوبو چیلر
: د لیتوګرافي ماشین د باثباته فعالیت کلیدي
د لیتوګرافي پروسې د کیفیت او حاصلاتو د ډاډ ترلاسه کولو لپاره د تودوخې دقیق کنټرول اړین دی. د اوبو یخولو ماشینونه، د یخولو سیسټمونو د اصلي برخو په توګه، مهم رول لوبوي:
د یخولو اړتیاوې:
د لیتوګرافي ماشینونه د تودوخې د بدلونونو په وړاندې خورا حساس دي، د اوبو چیلرونو ته اړتیا لري چې د تودوخې خورا دقیق او مستحکم کنټرول چمتو کوي.
د یخچالونو دندې:
د سړو اوبو په گردش کولو سره، چیلرونه په مؤثره توګه د عملیاتو په جریان کې تولید شوي تودوخه له مینځه وړي، د لیزر تجهیزات د تودوخې په غوره حد کې ساتي او د لیتوګرافي پروسې کې دقت او اعتبار ډاډمن کوي.
![Ultrafast laser chiller CWUP-20ANP with 0.08℃ stability]()
TEYU چیلر د لیتوګرافي ماشینونو لپاره مسلکي یخولو حلونه وړاندې کوي
د TEYU CWUP لړۍ الټرا فاسټ لیزر چیلر کولی شي د لیتوګرافي ماشینونو لپاره دقیق او مستحکم تودوخې کنټرول چمتو کړي. د
د چلر ماډل CWUP-20ANP
د تودوخې ثبات ترلاسه کوي ±0.08°ج، د دقیق تولید لپاره خورا مؤثره یخ کول وړاندې کوي.
د سیمیکمډکټر تولید په دقیقه نړۍ کې، د لیتوګرافي ماشینونه د مایکرو سرکټ نمونو د لیږد لپاره اصلي وسایل دي. د ټیکنالوژۍ پرمختګ سره، د کریپټون فلورایډ لیتوګرافي ماشین او د ارګون فلورایډ لیتوګرافي ماشین د دوی د غوره فعالیت سره د صنعت پراختیا ته وده ورکولو لپاره یو مهم ځواک ګرځیدلی.