تازه خبرونه: MIIT د ≤8nm پوښښ دقت سره کورني DUV لیتوګرافي ماشینونو ته وده ورکوي

په دې وروستیو میاشتو کې، د صنعت او معلوماتي ټکنالوژۍ وزارت (MIIT) "د لومړي (سیټ) لوی تخنیکي تجهیزاتو د ترویج او پلي کولو لپاره لارښوونې (2024 نسخه)" خپرې کړې. دا د 28nm څخه پورته نوډونو لپاره د بالغ چپ تولید بشپړ پروسې ځایی کولو ته لاره هواروي!

که څه هم د ۲۸ نانو میټریک ټکنالوژۍ پرمختللې نه ده، خو د ټیټ څخه تر منځني او منځني څخه تر لوړ پای چپسونو ترمنځ د ویشونکې کرښې په توګه د پام وړ اهمیت لري. د پرمختللو CPUs، GPUs، او AI چپسونو سربیره، ډیری صنعتي درجې چپس په ۲۸ نانو میټریک یا لوړو ټیکنالوژیو تکیه کوي.

د کار اصل: په ژور الټرا وایلیټ لیتوګرافي کې پرمختګونه

KrF (کریپټون فلورایډ) او ArF (ارګون فلورایډ) لیتوګرافي ماشینونه د ژور الټرا وایلیټ (DUV) لیتوګرافي کټګورۍ کې راځي. دواړه د سیلیکون ویفر د فوتوریزیسټ طبقې ته د آپټیکل سیسټمونو له لارې د ځانګړي رڼا طول موجونه کاروي، چې پیچلي سرکټ نمونې لیږدوي.

د KrF لیتوګرافي ماشینونه: د 248nm طول موج رڼا سرچینې څخه کار واخلئ، د 110nm څخه کم ریزولوشن ترلاسه کړئ، د مختلفو مدغم سرکټ تولید پروسو لپاره مناسب.

د ArF لیتوګرافي ماشینونه: د ۱۹۳ نانومیټر طول موج د رڼا سرچینې څخه کار واخلئ، چې د فرعي ۶۵ نانومیټر پروسې ټیکنالوژیو لپاره لوړ ریزولوشن وړاندې کوي، د غوره سرکټونو جوړولو ته اجازه ورکوي.

تخنیکي اهمیت: د صنعت پرمختګ او ځان بسیاینې

د دې لیتوګرافي ماشینونو پراختیا د سیمیکمډکټر تولید پرمختګ او صنعتي خپلواکۍ ترلاسه کولو کې یو لوی پړاو په ګوته کوي:

تخنیکي پرمختګونه: د KrF او ArF لیتوګرافي ماشینونو بریالۍ رامینځته کول د لوړ پای لیتوګرافي ټیکنالوژۍ کې د پام وړ پرمختګ څرګندوي، چې د سیمیکمډکټر تولید لپاره قوي تخنیکي ملاتړ چمتو کوي.

د صنعت پرمختګ: د لوړ دقت لیتوګرافي ماشینونه د ډیرو پیچلو او لوړ فعالیت مدغم سرکټونو تولید ته اجازه ورکوي، چې د سیمیکمډکټر ارزښت په ټوله سلسله کې نوښت رامینځته کوي.

اقتصادي او ملي امنیت: په بهرنۍ ټیکنالوژۍ باندې د تکیه کمولو سره، دا ماشینونه د کورني سیمیکمډکټر صنعت ځان بسیاینې ته وده ورکوي، اقتصادي او صنعتي امنیت پیاوړی کوي.

د اوبو چیلر : د لیتوګرافي ماشین د باثباته فعالیت کلیدي

د لیتوګرافي پروسې د کیفیت او حاصلاتو د ډاډ ترلاسه کولو لپاره د تودوخې دقیق کنټرول اړین دی. د اوبو یخونکي، د یخولو سیسټمونو د اصلي برخو په توګه، مهم رول لوبوي:

د یخولو اړتیاوې: د لیتوګرافي ماشینونه د تودوخې د بدلونونو په وړاندې خورا حساس دي، د اوبو یخولو ماشینونو ته اړتیا لري چې د تودوخې خورا دقیق او مستحکم کنټرول چمتو کوي.

د یخولو ماشینونو دندې: ​​د یخولو اوبو په جریان کې، یخولو ماشینونه په مؤثره توګه د عملیاتو په جریان کې تولید شوي تودوخه له مینځه وړي، د لیزر تجهیزات د تودوخې په غوره حد کې ساتي او د لیتوګرافي پروسې کې دقت او اعتبار ډاډمن کوي.

TEYU چیلر د لیتوګرافي ماشینونو لپاره مسلکي یخولو حلونه وړاندې کوي

د TEYU CWUP لړۍ الټرا فاسټ لیزر چیلرونه کولی شي د لیتوګرافي ماشینونو لپاره دقیق او مستحکم تودوخې کنټرول چمتو کړي. د چیلر ماډل CWUP-20ANP د ±0.08°C د تودوخې ثبات ترلاسه کوي، د دقیق تولید لپاره خورا مؤثره یخ کول وړاندې کوي.

د سیمیکمډکټر تولید په دقیقه نړۍ کې، د لیتوګرافي ماشینونه د مایکرو سرکټ نمونو د لیږد لپاره اصلي وسایل دي. د ټیکنالوژۍ پرمختګ سره، د کریپټون فلورایډ لیتوګرافي ماشین او د ارګون فلورایډ لیتوګرافي ماشین د دوی د غوره فعالیت سره د صنعت پراختیا ته وده ورکولو لپاره یو مهم ځواک ګرځیدلی.