Seneste nyt: MIIT promoverer indenlandske DUV-litografimaskiner med ≤8nm overlay-nøjagtighed

I de seneste måneder har Ministeriet for Industri og Informationsteknologi (MIIT) udstedt "Retningslinjer for fremme og anvendelse af første (sæt) større teknisk udstyr (2024-udgaven)". Dette baner vejen for fuld proceslokalisering af moden chipproduktion til noder over 28nm!

Selvom 28nm-teknologi ikke er banebrydende, har den betydelig betydning som skillelinjen mellem chips i den lave til mellemklasse og i den mellemste til høje ende. Udover avancerede CPU'er, GPU'er og AI-chips er de fleste chips i industriel kvalitet afhængige af 28nm eller højere teknologier.

Funktionsprincip: Fremskridt inden for dyb ultraviolet litografi

KrF (kryptonfluorid) og ArF (argonfluorid) litografimaskiner falder ind under kategorien dyb ultraviolet (DUV) litografi. Begge bruger specifikke lysbølgelængder projiceret gennem optiske systemer på fotoresistlaget af en siliciumwafer, der overfører indviklede kredsløbsmønstre.

KrF litografimaskiner: Brug en lyskilde med en bølgelængde på 248 nm, der opnår opløsninger under 110 nm, og som er egnet til forskellige fremstillingsprocesser for integrerede kredsløb.

ArF litografimaskiner: Brug en lyskilde med en bølgelængde på 193 nm, der tilbyder højere opløsning til procesteknologier under 65 nm, hvilket muliggør fremstilling af finere kredsløb.

Teknologisk betydning: Opgradering af industrien og selvforsyning

Udviklingen af disse litografimaskiner markerer en vigtig milepæl i fremskridtene med halvlederproduktion og opnåelse af industriel autonomi.:

Tekniske gennembrud: Den succesfulde skabelse af KrF- og ArF-litografimaskiner fremhæver betydelige fremskridt inden for avanceret litografiteknologi og yder robust teknisk support til halvlederproduktion.

Opgradering af branchen: Højpræcisionslitografimaskiner muliggør produktion af mere komplekse og højtydende integrerede kredsløb, hvilket driver innovation på tværs af hele halvlederværdikæden.

Økonomisk og national sikkerhed: Ved at reducere afhængigheden af udenlandsk teknologi styrker disse maskiner den indenlandske halvlederindustris selvforsyning og styrker dermed den økonomiske og industrielle sikkerhed.

Vandkøler Nøglen til stabil litografimaskineydelse

Præcis temperaturkontrol er afgørende for at sikre kvaliteten og udbyttet af litografiprocessen. Vandkølere, som kernekomponenter i kølesystemer, spiller en afgørende rolle:

Kølekrav: Litografimaskiner er ekstremt følsomme over for temperaturudsving under eksponering, hvilket nødvendiggør vandkølere, der giver meget nøjagtig og stabil temperaturkontrol.

Funktioner af kølere: Ved at cirkulere kølevand afleder kølere effektivt varmen, der genereres under drift, hvilket holder laserudstyret inden for et optimalt temperaturområde og sikrer nøjagtighed og pålidelighed i litografiprocessen.

TEYU Chiller tilbyder professionelle køleløsninger til litografimaskiner

TEYU CWUP-seriens ultrahurtige laserkølere kan give præcis og stabil temperaturkontrol til litografimaskiner. De Kølermodel CWUP-20ANP opnår temperaturstabilitet ±0.08°C, der leverer yderst effektiv køling til præcisionsproduktion.

I den præcise verden af halvlederproduktion er litografimaskiner de centrale enheder til overførsel af mikrokredsløbsmønstre. Med teknologiens fremskridt er kryptonfluoridlitografimaskiner og argonfluoridlitografimaskiner blevet en vigtig drivkraft for at fremme industriens udvikling med deres fremragende ydeevne.