ئەڭ يېڭى خەۋەر: MIIT دۆلەت ئىچىدىكى DUV لىتروگرافىيە ماشىنىسىنى n8nm قاپلاش ئېنىقلىقى بىلەن تەشۋىق قىلىدۇ

يېقىنقى ئايلاردا ، سانائەت ۋە ئۇچۇرلاشتۇرۇش مىنىستىرلىكى (MIIT) «بىرىنچى (يۈرۈشلۈك) ئاساسلىق تېخنىكىلىق ئۈسكۈنىلەرنى ئىلگىرى سۈرۈش ۋە قوللىنىش قوللانمىسى» (2024-يىل نەشرى) نى ئېلان قىلدى. بۇ 28nm دىن يۇقىرى تۈگۈنلەرگە پىشقان ئۆزەك ياساشنىڭ تولۇق جەريان يەرلىكلەشتۈرۈلۈشىگە يول ئاچىدۇ!

گەرچە 28nm تېخنىكىسى ئالدىنقى قاتاردا بولمىسىمۇ ، ئەمما تۆۋەندىن ئوتتۇرىدىن ئوتتۇرا ۋە يۇقىرى دەرىجىدىكى ئۆزەكنى ئايرىش لىنىيىسى سۈپىتىدە مۇھىم ئەھمىيەتكە ئىگە. ئىلغار مەركىزى بىر تەرەپ قىلغۇچ ، GPU ۋە سۈنئىي ئەقىل ئۆزىكىدىن باشقا ، كۆپىنچە سانائەت دەرىجىلىك ئۆزەكلەر 28nm ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى تېخنىكىلارغا تايىنىدۇ.

خىزمەت پىرىنسىپى: چوڭقۇر ئۇلترا بىنەپشە نۇرلۇق ئىلگىرلەش

KrF (Krypton Fluoride) ۋە ArF (Argon Fluoride) تاش مەتبەئە ماشىنىسى چوڭقۇر ئۇلترا بىنەپشە (DUV) تاش مەتبەئە تۈرىگە كىرىدۇ. ھەر ئىككىسى ئوپتىكىلىق سىستېما ئارقىلىق مۆلچەرلەنگەن ئالاھىدە نۇر دولقۇنىنىڭ ئۇزۇنلۇقىدىن پايدىلىنىپ ، كرېمنىي ۋافېرنىڭ فوتوئورېست قەۋىتىگە يۆتكىلىپ ، مۇرەككەپ توك يولى ئەندىزىسىنى يۆتكىدى.

KrF Lithography ماشىنىلىرى: 248nm دولقۇن ئۇزۇنلۇقىدىكى نۇر مەنبەسىنى ئىشلىتىڭ ، ئېنىقلىق دەرىجىسى 110nm دىن تۆۋەن ، ھەرخىل توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىغا ماس كېلىدۇ.

ArF Lithography ماشىنىلىرى: 193nm دولقۇن ئۇزۇنلۇقىدىكى نۇر مەنبەسىنى ئىشلىتىڭ ، 65nm دىن تۆۋەن بولغان جەريان تېخنىكىلىرىغا تېخىمۇ يۇقىرى ئېنىقلىق بىلەن تەمىنلەپ ، ئىنچىكە توك يولىنىڭ ياسىلىشىنى ئەمەلگە ئاشۇرالايسىز.

تېخنىكىلىق ئەھمىيىتى: كەسىپنى يېڭىلاش ۋە ئۆزىگە تايىنىش

بۇ تاش مەتبەئە ماشىنىلىرىنىڭ تەرەققىياتى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنى ئىلگىرى سۈرۈش ۋە سانائەت ئاپتونومىيىسىنى قولغا كەلتۈرۈشتىكى مۇھىم ئابىدە:

تېخنىكىلىق بۆسۈشلەر: KrF ۋە ArF تاش مەتبەئە ماشىنىلىرىنىڭ مۇۋەپپەقىيەتلىك يارىتىلىشى ئالىي دەرىجىلىك تاش مەتبەئە تېخنىكىسىنىڭ كۆرۈنەرلىك ئىلگىرىلىشىنى گەۋدىلەندۈرۈپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنى كۈچلۈك تېخنىكا بىلەن تەمىنلەيدۇ.

كەسىپ دەرىجىسىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش: يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تاش مەتبەئە ماشىنىسى تېخىمۇ مۇرەككەپ ۋە يۇقىرى ئىقتىدارلىق توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىشقا شارائىت ھازىرلاپ ، پۈتكۈل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قىممەت زەنجىرىدە يېڭىلىق يارىتىدۇ.

ئىقتىسادىي ۋە دۆلەت بىخەتەرلىكى: چەتئەل تېخنىكىسىغا تايىنىشنى ئازايتىش ئارقىلىق ، بۇ ماشىنىلار دۆلەت ئىچىدىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ ئۆز-ئۆزىگە تايىنىش ئىقتىدارىنى كۈچەيتىپ ، ئىقتىسادىي ۋە سانائەت بىخەتەرلىكىنى كۈچەيتىدۇ.

سۇ توڭلاتقۇسى : تۇراقلىق لىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ ئىقتىدارىنىڭ ئاچقۇچى

توغرا تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىش تاش مەتبەئە جەريانىنىڭ سۈپىتى ۋە ھوسۇلىغا كاپالەتلىك قىلىشتا ئىنتايىن مۇھىم. سۇ سوۋۇتقۇچ سوۋۇتۇش سىستېمىسىنىڭ يادرولۇق تەركىبىي قىسمى بولۇش سۈپىتى بىلەن ئىنتايىن مۇھىم رول ئوينايدۇ:

سوۋۇتۇش تەلىپى: تاش مەتبەئە ماشىنىلىرى تەسىر جەريانىدا تېمپېراتۇرىنىڭ داۋالغۇشىغا ئىنتايىن سەزگۈر ، يۇقىرى ئېنىق ۋە مۇقىم بولغان تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىدىغان سۇ سوۋۇتقۇچقا ئېھتىياجلىق.

توڭلاتقۇنىڭ رولى: سوۋۇتۇش سۈيىنى ئايلىنىش ئارقىلىق ، توڭلاتقۇ مەشغۇلات جەريانىدا ھاسىل بولغان ئىسسىقلىقنى ئۈنۈملۈك تارقىتىدۇ ، لازېر ئۈسكۈنىلىرىنى ئەڭ ياخشى تېمپېراتۇرا دائىرىسىدە ساقلاپ ، تاش مەتبەئەنىڭ توغرىلىقى ۋە ئىشەنچلىكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.

TEYU Chiller لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىغا كەسپىي سوۋۇتۇش ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ

TEYU CWUP يۈرۈشلۈك ئۇلترا بىنەپشە نۇرلۇق لازېر توڭلاتقۇلىرى تاش مەتبەئە ماشىنىلىرىنى ئېنىق ۋە مۇقىم تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلالايدۇ. توڭلاتقۇ مودېلى CWUP-20ANP تېمپېراتۇرا ° 0.08 ° C قا يېتىدۇ ، ئىنچىكە ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن يۇقىرى ئۈنۈملۈك سوۋۇتۇش بىلەن تەمىنلەيدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ ئېنىق دۇنياسىدا ، تاش مەتبەئە ماشىنىسى مىكرو توك يولى ئەندىزىسىنى يۆتكەشنىڭ يادرولۇق ئۈسكۈنىسى. تېخنىكىنىڭ تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، كرىپتون فتورلۇق تاش مەتبەئە ماشىنىسى ۋە ئارگون فتورلۇق تاش مەتبەئە ماشىنىسى ئەلا ئىپادىسى بىلەن كەسىپنىڭ تەرەققىياتىنى ئىلگىرى سۈرىدىغان مۇھىم كۈچكە ئايلاندى.