يېڭى خەۋەر: MIIT ≤8nm قاپلاش توغرىلىقىغا ئىگە يەرلىك DUV لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىنى تەشۋىق قىلدى

يېقىنقى ئايلاردا، سانائەت ۋە ئۇچۇر تېخنىكىسى مىنىستىرلىكى (MIIT) «بىرىنچى (توپلام) ئاساسلىق تېخنىكىلىق ئۈسكۈنىلەرنى تەشۋىق قىلىش ۋە قوللىنىش يېتەكچىسى (2024 نەشرى)» نى ئېلان قىلدى. بۇ، 28nm دىن يۇقىرى تۈگۈنلەر ئۈچۈن پىشقان چىپ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ تولۇق جەريانلىق يەرلىكلىشىشىگە يول ئاچتى!

28nm تېخنىكىسى ئەڭ ئىلغار بولمىسىمۇ، ئۇ تۆۋەن ۋە ئوتتۇرا دەرىجىلىك ۋە ئوتتۇرا ۋە يۇقىرى دەرىجىلىك چىپلارنى ئايرىش سىزىقى سۈپىتىدە مۇھىم ئەھمىيەتكە ئىگە. ئىلغار CPU، GPU ۋە سۈنئىي ئەقىل چىپلىرىدىن باشقا، كۆپىنچە سانائەت دەرىجىلىك چىپلار 28nm ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى تېخنىكىلارغا تايىنىدۇ.

ئىشلەش پىرىنسىپى: چوڭقۇر ئۇلترابىنەفشە نۇرلۇق لىتوگرافىيە ساھەسىدىكى ئىلگىرىلەشلەر

KrF (كرىپتون فتورىد) ۋە ArF (ئارگون فتورىد) لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى چوڭقۇر ئۇلترابىنەفشە نۇر (DUV) لىتوگرافىيەسى تۈرىگە كىرىدۇ. ھەر ئىككىسى ئوپتىكىلىق سىستېمىلار ئارقىلىق كرېمنىي تاختىسىنىڭ فوتورېزىست قەۋىتىگە چۈشۈرۈلگەن ئالاھىدە نۇر دولقۇن ئۇزۇنلۇقىنى ئىشلىتىپ، مۇرەككەپ توك يولى شەكىللىرىنى يەتكۈزىدۇ.

KrF لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى: 248nm دولقۇن ئۇزۇنلۇقىدىكى نۇر مەنبەسىنى ئىشلىتىڭ، 110nm دىن تۆۋەن ئېنىقلىققا ئېرىشىڭ، ھەر خىل ئىنتېگرال توك يولى ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىغا ماس كېلىدۇ.

ArF لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى: 193nm دولقۇن ئۇزۇنلۇقىدىكى نۇر مەنبەسىنى ئىشلىتىڭ، 65nm دىن تۆۋەن تېخنىكا تېخنىكىلىرى ئۈچۈن يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى نۇر بىلەن تەمىنلەپ، ئىنچىكە توك يوللىرىنى ئىشلەپچىقىرىشقا شارائىت ھازىرلايدۇ.

تېخنىكىلىق ئەھمىيىتى: سانائەتنىڭ يېڭىلىنىشى ۋە ئۆزىگە تايىنىش

بۇ لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىنىڭ تەرەققىياتى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنى ئىلگىرى سۈرۈش ۋە سانائەت ئاپتونومىيىسىگە ئېرىشىشتىكى مۇھىم بىر باسقۇچنى بەلگىلىدى:

تېخنىكىلىق بۆسۈشلەر: KrF ۋە ArF لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىنىڭ مۇۋەپپەقىيەتلىك ياسىلىشى يۇقىرى دەرىجىلىك لىتوگرافىيە تېخنىكىسىدىكى مۇھىم ئىلگىرىلەشلەرنى نامايان قىلىپ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشقا كۈچلۈك تېخنىكىلىق قوللاش بىلەن تەمىنلەيدۇ.

كەسىپنىڭ يېڭىلىنىشى: يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى تېخىمۇ مۇرەككەپ ۋە يۇقىرى ئىقتىدارلىق بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى ئىشلەپچىقىرىشقا شارائىت يارىتىپ، پۈتكۈل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قىممەت زەنجىرىدە يېڭىلىق يارىتىشنى ئىلگىرى سۈرىدۇ.

ئىقتىسادىي ۋە مىللىي بىخەتەرلىك: بۇ ماشىنىلار چەتئەل تېخنىكىسىغا تايىنىشنى ئازايتىش ئارقىلىق، دۆلەت ئىچىدىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ ئۆزىنى-ئۆزى تەمىنلەش ئىقتىدارىنى كۈچەيتىپ، ئىقتىسادىي ۋە سانائەت بىخەتەرلىكىنى كۈچەيتىدۇ.

سۇ سوۋۇتقۇچ : لىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ مۇقىم ئىشلىشىنىڭ ئاچقۇچى

لىتوگرافىيە جەريانىنىڭ سۈپىتى ۋە ئۈنۈمىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن تېمپېراتۇرىنى توغرا كونترول قىلىش ئىنتايىن مۇھىم. سۇ سوۋۇتقۇچلىرى سوۋۇتۇش سىستېمىسىنىڭ ئاساسلىق زاپچاسلىرى سۈپىتىدە مۇھىم رول ئوينايدۇ:

سوۋۇتۇش تەلىپى: لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى تەسىرگە ئۇچرىغاندا تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىگە ئىنتايىن سەزگۈر بولۇپ، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ۋە مۇقىم تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش ئىقتىدارىغا ئىگە سۇ سوۋۇتقۇچلىرىنى ئىشلىتىشنى تەلەپ قىلىدۇ.

سوۋۇتقۇچلارنىڭ ئىقتىدارى: سوۋۇتقۇچلار سوۋۇتۇش سۈيىنى ئايلاندۇرۇش ئارقىلىق، ئىشلىتىش جەريانىدا ھاسىل بولغان ئىسسىقلىقنى ئۈنۈملۈك تارقىتىۋېتىدۇ، لازېر ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئەڭ ياخشى تېمپېراتۇرا دائىرىسىدە تۇرۇشىنى ساقلايدۇ ھەمدە لىتوگرافىيە جەريانىنىڭ توغرىلىقى ۋە ئىشەنچلىكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.

TEYU لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى ئۈچۈن كەسپىي سوۋۇتۇش چارىلىرىنى تەمىنلەيدىغان سوۋۇتقۇچ

TEYU CWUP يۈرۈشلۈك ئۇلترا تېز سۈرئەتلىك لازېرلىق سوۋۇتقۇچلار لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىنىڭ تېمپېراتۇرىسىنى ئېنىق ۋە مۇقىم كونترول قىلالايدۇ. CWUP-20ANP مودېلىدىكى سوۋۇتقۇچ ±0.08°C تېمپېراتۇرا مۇقىملىقىغا ئېرىشىپ، يۇقىرى ئۈنۈملۈك سوۋۇتۇش بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ئېنىق ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن پايدىلىق.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ساھەسىدە، لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى مىكرو توك يولى شەكىللىرىنى يۆتكەشتىكى يادرولۇق ئۈسكۈنىلەر. تېخنىكىنىڭ تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ، كرىپتون فتورلۇق لىتوگرافىيە ماشىنىسى ۋە ئارگون فتورلۇق لىتوگرافىيە ماشىنىسى ئەلا ئىقتىدارى بىلەن كەسىپنىڭ تەرەققىياتىنى ئىلگىرى سۈرىدىغان مۇھىم كۈچكە ئايلاندى.