يېقىنقى ئايلاردا ، سانائەت ۋە ئۇچۇرلاشتۇرۇش مىنىستىرلىكى (MIIT) «بىرىنچى (يۈرۈشلۈك) ئاساسلىق تېخنىكىلىق ئۈسكۈنىلەرنى ئىلگىرى سۈرۈش ۋە قوللىنىش قوللانمىسى» (2024-يىل نەشرى) نى ئېلان قىلدى. بۇ 28nm دىن يۇقىرى تۈگۈنلەرگە پىشقان ئۆزەك ياساشنىڭ تولۇق جەريان يەرلىكلەشتۈرۈلۈشىگە يول ئاچىدۇ!
گەرچە 28nm تېخنىكىسى ئالدىنقى قاتاردا بولمىسىمۇ ، ئەمما تۆۋەندىن ئوتتۇرىدىن ئوتتۇرا ۋە يۇقىرى دەرىجىدىكى ئۆزەكنى ئايرىش لىنىيىسى سۈپىتىدە مۇھىم ئەھمىيەتكە ئىگە. ئىلغار مەركىزى بىر تەرەپ قىلغۇچ ، GPU ۋە سۈنئىي ئەقىل ئۆزىكىدىن باشقا ، كۆپىنچە سانائەت دەرىجىلىك ئۆزەكلەر 28nm ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى تېخنىكىلارغا تايىنىدۇ.
![MIIT Promotes Domestic DUV Lithography Machines with ≤8nm Overlay Accuracy]()
خىزمەت پىرىنسىپى: چوڭقۇر ئۇلترا بىنەپشە نۇرلۇق ئىلگىرلەش
KrF (Krypton Fluoride) ۋە ArF (Argon Fluoride) تاش مەتبەئە ماشىنىسى چوڭقۇر ئۇلترا بىنەپشە (DUV) تاش مەتبەئە تۈرىگە كىرىدۇ. ھەر ئىككىسى ئوپتىكىلىق سىستېما ئارقىلىق مۆلچەرلەنگەن ئالاھىدە نۇر دولقۇنىنىڭ ئۇزۇنلۇقىدىن پايدىلىنىپ ، كرېمنىي ۋافېرنىڭ فوتوئورېست قەۋىتىگە يۆتكىلىپ ، مۇرەككەپ توك يولى ئەندىزىسىنى يۆتكىدى.
KrF Lithography Machines:
248nm دولقۇن ئۇزۇنلۇقىدىكى نۇر مەنبەسىنى ئىشلىتىڭ ، ئېنىقلىق دەرىجىسى 110nm دىن تۆۋەن ، ھەرخىل توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىغا ماس كېلىدۇ.
ArF Lithography Machines:
193nm دولقۇن ئۇزۇنلۇقىدىكى نۇر مەنبەسىنى ئىشلىتىڭ ، 65nm دىن تۆۋەن بولغان جەريان تېخنىكىلىرىغا تېخىمۇ يۇقىرى ئېنىقلىق بىلەن تەمىنلەپ ، تېخىمۇ ياخشى توك يولى ھاسىل قىلالايسىز.
تېخنىكىلىق ئەھمىيىتى: كەسىپنى يېڭىلاش ۋە ئۆزىگە تايىنىش
بۇ تاش مەتبەئە ماشىنىلىرىنىڭ تەرەققىياتى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنى ئىلگىرى سۈرۈش ۋە سانائەت ئاپتونومىيىسىنى قولغا كەلتۈرۈشتىكى مۇھىم ئابىدە.:
تېخنىكىلىق بۆسۈش:
KrF ۋە ArF تاش مەتبەئە ماشىنىلىرىنىڭ مۇۋەپپەقىيەتلىك يارىتىلىشى ئالىي دەرىجىلىك تاش مەتبەئە تېخنىكىسىنىڭ كۆرۈنەرلىك ئىلگىرىلىشىنى گەۋدىلەندۈرۈپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنى كۈچلۈك تېخنىكا بىلەن تەمىنلەيدۇ.
كەسىپ يېڭىلاش:
يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تاش مەتبەئە ماشىنىسى تېخىمۇ مۇرەككەپ ۋە يۇقىرى ئىقتىدارلىق توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىشقا شارائىت ھازىرلاپ ، پۈتكۈل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قىممەت زەنجىرىدە يېڭىلىق يارىتىدۇ.
ئىقتىسادىي ۋە دۆلەت بىخەتەرلىكى: چەتئەل تېخنىكىسىغا تايىنىشنى ئازايتىش ئارقىلىق ، بۇ ماشىنىلار دۆلەت ئىچىدىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ ئۆز-ئۆزىگە تايىنىش ئىقتىدارىنى كۈچەيتىپ ، ئىقتىسادىي ۋە سانائەت بىخەتەرلىكىنى كۈچەيتىدۇ.
Water Chiller
: مۇقىم تاش مەتبەئە ماشىنىسىنىڭ ئىقتىدارىنىڭ ئاچقۇچى
توغرا تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىش تاش مەتبەئە جەريانىنىڭ سۈپىتى ۋە ھوسۇلىغا كاپالەتلىك قىلىشتا ئىنتايىن مۇھىم. سۇ سوۋۇتقۇچ سوۋۇتۇش سىستېمىسىنىڭ يادرولۇق تەركىبىي قىسمى بولۇش سۈپىتى بىلەن ئىنتايىن مۇھىم رول ئوينايدۇ:
سوۋۇتۇش تەلىپى:
تاش مەتبەئە ماشىنىلىرى ئاشكارلىنىش جەريانىدا تېمپېراتۇرىنىڭ داۋالغۇشىغا ئىنتايىن سەزگۈر بولۇپ ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە مۇقىم تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىدىغان سۇ سوۋۇتقۇچقا ئېھتىياجلىق.
Chillers نىڭ ئىقتىدارلىرى:
سوۋۇتۇش سۈيىنى ئايلىنىش ئارقىلىق توڭلاتقۇ مەشغۇلات جەريانىدا ھاسىل بولغان ئىسسىقلىقنى ئۈنۈملۈك تارقىتىدۇ ، لازېر ئۈسكۈنىلىرىنى ئەڭ ياخشى تېمپېراتۇرا دائىرىسىدە ساقلاپ ، تاش مەتبەئە جەريانىدىكى توغرىلىق ۋە ئىشەنچلىك بولۇشقا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
![Ultrafast laser chiller CWUP-20ANP with 0.08℃ stability]()
TEYU Chiller لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىغا كەسپىي سوۋۇتۇش ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ
TEYU CWUP يۈرۈشلۈك ئۇلترا بىنەپشە نۇرلۇق لازېر توڭلاتقۇ ماشىنىلارنى توغرا ۋە مۇقىم تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلالايدۇ. The
توڭلاتقۇ مودېلى CWUP-20ANP
تېمپېراتۇرا مۇقىملىقىنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ ±0.08°C ، ئېنىق ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن يۇقىرى ئۈنۈملۈك سوۋۇتۇش.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ ئېنىق دۇنياسىدا ، تاش مەتبەئە ماشىنىسى مىكرو توك يولى ئەندىزىسىنى يۆتكەشنىڭ يادرولۇق ئۈسكۈنىسى. تېخنىكىنىڭ تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، كرىپتون فتورلۇق تاش مەتبەئە ماشىنىسى ۋە ئارگون فتورلۇق تاش مەتبەئە ماشىنىسى ئەلا ئىپادىسى بىلەن كەسىپنىڭ تەرەققىياتىنى ئىلگىرى سۈرىدىغان مۇھىم كۈچكە ئايلاندى.