Știri de ultimă oră: MIIT promovează mașini de litografie DUV autohtone cu o precizie de suprapunere ≤8nm

În ultimele luni, Ministerul Industriei și Tehnologiei Informației (MIIT) a emis „Liniile directoare pentru promovarea și aplicarea primului (set) echipament tehnic major (ediția 2024)”. Acestea deschid calea pentru localizarea completă a procesului de fabricație a cipurilor mature pentru noduri de peste 28nm!

Deși tehnologia de 28nm nu este de ultimă generație, ea are o importanță semnificativă ca linie de demarcație între cipurile de gamă inferioară spre medie și medie spre superioară. Pe lângă procesoarele avansate, GPU-urile și cipurile AI, majoritatea cipurilor de calitate industrială se bazează pe tehnologii de 28nm sau superioare.

Principiul de funcționare: Progrese în litografia ultravioletă profundă

Mașinile de litografie KrF (fluorură de kripton) și ArF (fluorură de argon) se încadrează în categoria litografiei ultraviolete profunde (DUV). Ambele utilizează lungimi de undă specifice ale luminii proiectate prin sisteme optice pe stratul de fotorezist al unei plachete de siliciu, transferând modele complexe de circuite.

Mașini de litografie KrF: utilizează o sursă de lumină cu lungimea de undă de 248 nm, atingând rezoluții sub 110 nm, potrivite pentru diverse procese de fabricație a circuitelor integrate.

Mașini de litografie ArF: utilizează o sursă de lumină cu lungimea de undă de 193 nm, oferind o rezoluție mai mare pentru tehnologiile de proces sub 65 nm, permițând fabricarea unor circuite mai fine.

Semnificația tehnologică: modernizarea industriei și autosuficiența

Dezvoltarea acestor mașini de litografie marchează o piatră de hotar majoră în avansarea producției de semiconductori și atingerea autonomiei industriale:

Descoperiri tehnice: Crearea cu succes a mașinilor de litografie KrF și ArF evidențiază progresele semnificative în tehnologia litografiei de înaltă performanță, oferind un suport tehnic robust pentru fabricarea semiconductorilor.

Modernizare industrială: Mașinile de litografie de înaltă precizie permit producerea de circuite integrate mai complexe și de înaltă performanță, stimulând inovația pe întregul lanț valoric al semiconductorilor.

Securitate economică și națională: Prin reducerea dependenței de tehnologia străină, aceste mașini consolidează autosuficiența industriei interne de semiconductori, consolidând securitatea economică și industrială.

Răcitor de apă : cheia performanței stabile a mașinii de litografie

Controlul precis al temperaturii este esențial pentru asigurarea calității și randamentului procesului de litografie. Răcitoarele de apă, componente de bază ale sistemelor de răcire, joacă un rol vital:

Cerințe de răcire: Mașinile de litografie sunt extrem de sensibile la fluctuațiile de temperatură în timpul expunerii, necesitând răcitoare de apă care să ofere un control al temperaturii extrem de precis și stabil.

Funcțiile chillerelor: Prin circularea apei de răcire, chillerele disipă eficient căldura generată în timpul funcționării, menținând echipamentul laser într-un interval de temperatură optim și asigurând precizia și fiabilitatea procesului de litografie.

Răcitorul TEYU oferă soluții profesionale de răcire pentru mașinile de litografie

Chillerele laser ultrarapide din seria TEYU CWUP pot oferi un control precis și stabil al temperaturii pentru mașinile de litografie. Modelul de chiller CWUP-20ANP atinge o stabilitate a temperaturii de ±0,08°C, oferind o răcire extrem de eficientă pentru fabricația de precizie.

În lumea specifică a fabricării semiconductorilor, mașinile de litografie sunt dispozitivele de bază pentru transferul modelelor de microcircuite. Odată cu avansarea tehnologiei, mașinile de litografie cu fluorură de kripton și mașinile de litografie cu fluorură de argon au devenit o forță importantă pentru promovarea dezvoltării industriei, datorită performanțelor lor excelente.