Последни новини: MIIT промотира местни DUV литографски машини с точност на наслагване ≤8nm

През последните месеци Министерството на промишлеността и информационните технологии (MIIT) издаде „Насоки за насърчаване и прилагане на първокласно основно техническо оборудване (издание 2024 г.)“. Това проправя пътя за пълна локализация на процеса на производство на зрели чипове за възли над 28nm!

Въпреки че 28nm технологията не е авангардна, тя има съществено значение като разделителна линия между чиповете от нисък до среден и среден до висок клас. Освен усъвършенстваните процесори, графични процесори и чипове с изкуствен интелект, повечето индустриални чипове разчитат на 28nm или по-високи технологии.

Принцип на работа: Напредък в дълбоко ултравиолетовата литография

Литографските машини KrF (криптонов флуорид) и ArF (аргон флуорид) попадат в категорията на литографията с дълбок ултравиолетов (DUV) диапазон. И двете използват специфични дължини на вълните на светлината, проектирани през оптични системи върху фоторезистния слой на силициева пластина, пренасяйки сложни схеми.

Литографски машини KrF: Използват източник на светлина с дължина на вълната 248 nm, постигайки разделителна способност под 110 nm, подходящи за различни процеси на производство на интегрални схеми.

ArF литографски машини: Използват светлинен източник с дължина на вълната 193 nm, предлагайки по-висока резолюция за технологии за обработка под 65 nm, което позволява производството на по-фини схеми.

Технологично значение: Модернизация на индустрията и самостоятелност

Разработването на тези литографски машини бележи важен етап в развитието на производството на полупроводници и постигането на индустриална автономност:

Технически пробиви: Успешното създаване на литографски машини KrF и ArF подчертава значителен напредък във висок клас литографски технологии, осигурявайки стабилна техническа поддръжка за производството на полупроводници.

Модернизация на индустрията: Високопрецизните литографски машини позволяват производството на по-сложни и високопроизводителни интегрални схеми, стимулирайки иновациите в цялата верига за създаване на стойност в полупроводниците.

Икономическа и национална сигурност: Чрез намаляване на зависимостта от чуждестранни технологии, тези машини укрепват самодостатъчността на местната полупроводникова индустрия, като по този начин укрепват икономическата и индустриалната сигурност.

Воден охладител : Ключът към стабилната работа на литографската машина

Прецизният контрол на температурата е от съществено значение за осигуряване на качеството и добива на литографския процес. Водните охладители, като основни компоненти на охладителните системи, играят жизненоважна роля:

Изисквания за охлаждане: Литографските машини са изключително чувствителни към температурните колебания по време на експозиция, което налага използването на водни охладители, които осигуряват високо точен и стабилен контрол на температурата.

Функции на охладителите: Чрез циркулация на охлаждаща вода, охладителите ефективно разсейват топлината, генерирана по време на работа, поддържайки лазерното оборудване в оптимален температурен диапазон и осигурявайки точност и надеждност в процеса на литография.

TEYU Chiller предлага професионални решения за охлаждане на литографски машини

Ултрабързите лазерни охладители от серията TEYU CWUP могат да осигурят прецизен и стабилен контрол на температурата за литографски машини. Моделът охладител CWUP-20ANP постига температурна стабилност от ±0,08°C, осигурявайки високоефективно охлаждане за прецизно производство.

В прецизния свят на производството на полупроводници, литографските машини са основните устройства за прехвърляне на шаблони на микросхеми. С напредъка на технологиите, литографските машини с криптон-флуорид и аргон-флуорид се превърнаха във важна сила за насърчаване на развитието на индустрията с отличните си характеристики.