ברייקינג ניוז: MIIT פראמאטירט דינער DUV ליטאגראפיע מאשינען מיט ≤8nm איבערדעקונג גענויקייט

אין די לעצטע חדשים, האט דאס מיניסטעריום פון אינדוסטריע און אינפארמאציע טעכנולוגיע (MIIT) ארויסגעגעבן די "ריכטליניעס פאר דער העכערונג און אנווענדונג פון ערשטער (סעט) הויפט טעכנישער עקוויפּמענט (2024 אויסגאבע)". דאָס באַפֿעסט דעם וועג פֿאַר פֿול-פּראָצעס לאָקאַליזאַציע פֿון דערוואַקסענער טשיפּ מאַנופֿאַקטורינג פֿאַר נאָודז העכער 28 נם!

כאָטש 28 נאַנאָמעטער טעכנאָלאָגיע איז נישט די פֿאָרגעשריטענע טעכנאָלאָגיע, האַלט זי אַ באַדייטנדיקע וויכטיקייט ווי די צעטיילונגס-ליניע צווישן נידעריק-ביז-מיטעל-ענד און מיטל-ביז-הויך-ענד טשיפּס. חוץ פון פארגעשריטענע CPUs, GPUs, און AI טשיפּס, פארלאזן זיך רוב אינדוסטריעלע-קלאס טשיפּס אויף 28nm אדער העכערע טעכנאלאגיעס.

ארבעטס פּרינציפּ: פֿאָרשריטן אין טיף אַלטראַוויאָלעט ליטאָגראַפֿיע

KrF (קריפּטאָן פלאָריד) און ArF (אַרגאָן פלאָריד) ליטאָגראַפֿיע מאַשינען פֿאַלן אונטער דער קאַטעגאָריע פֿון טיף אולטראַוויאָלעט (DUV) ליטאָגראַפֿיע. ביידע נוצן ספעציפישע ליכט כוואַליעלענגס פּראַיעקטירט דורך אָפּטישע סיסטעמען אויף די פאָטאָרעזיסט שיכט פון אַ סיליקאָן וועיפער, טראַנספערינג קאָמפּליצירט קרייַז פּאַטערנז.

קרף ליטאָגראַפֿיע מאַשינען: ניצט אַ 248 נם כוואַליע ליכט מקור, וואָס דערגרייכט רעזאָלוציעס אונטער 110 נם, פּאַסיק פֿאַר פֿאַרשידענע אינטעגרירטע קרייַז מאַנופאַקטורינג פּראָצעסן.

ArF ליטאָגראַפֿיע מאַשינען: ניצן אַ 193 נם כוואַליע ליכט מקור, וואָס אָפפערס העכערע רעזאָלוציע פֿאַר סוב-65 נם פּראָצעס טעקנאַלאַדזשיז, וואָס ערמעגליכט די פאַבריקאַציע פון פיינערע קרייזן.

טעקנאַלאַדזשיקאַל באַדייטונג: אינדוסטריע אַפּגרעיד און זעלבסטשטענדיקייט

די אַנטוויקלונג פון די ליטאָגראַפֿיע מאַשינען מאַרקירט אַ וויכטיקן מיילשטיין אין פֿאָרשריטן האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע און דערגרייכן אינדוסטריעלע אויטאָנאָמיע.:

טעכנישע דורכברוכן: די דערפאָלגרײַכע שאַפונג פון KrF און ArF ליטאָגראַפֿיע מאַשינען אונטערשטרייכט באַדײַטנדיקן פּראָגרעס אין הויך-ענד ליטאָגראַפֿיע טעכנאָלאָגיע, וואָס גיט שטאַרקע טעכנישע שטיצע פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע.

אינדוסטריע אַפּגרעיד: הויך-פּרעציציע ליטאָגראַפֿיע מאַשינען ערמעגלעכן די פּראָדוקציע פֿון מער קאָמפּליצירטע און הויך-פאָרשטעלונג אינטעגרירטע קרייזן, וואָס טרייבט כידעש איבער דער גאַנצער האַלב-קאָנדוקטאָר ווערט קייט.

עקאָנאָמישע און נאַציאָנאַלע זיכערהייט: דורך רעדוצירן די אָפּהענגיקייט אויף פרעמדע טעכנאָלאָגיע, פארשטארקן די מאַשינען די זעלבסטשטענדיקייט פון דער אינלענדישער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, און פארשטארקן עקאָנאָמישע און אינדוסטריעלע זיכערהייט.

וואַסער קילער דער שליסל צו סטאַבילער ליטאָגראַפֿיע מאַשין פאָרשטעלונג

גענויע טעמפּעראַטור קאָנטראָל איז וויכטיק צו ענשור די קוואַליטעט און פּראָדוקציע פון דעם ליטאָגראַפֿיע פּראָצעס. וואַסער קילערס, ווי קערן קאָמפּאָנענטן פון קיל סיסטעמען, שפּילן אַ וויכטיקע ראָלע:

קאָאָלינג רעקווייערמענץ: ליטאָגראַפֿיע מאַשינען זענען גאָר סענסיטיוו צו טעמפּעראַטור פלוקטואַציעס בעת ויסשטעל, וואָס נייטיקט וואַסער קילערס וואָס צושטעלן העכסט גענויע און סטאַביל טעמפּעראַטור קאָנטראָל.

פונקציעס פון טשילערס: דורך צירקולירן קיל וואַסער, טשילערס עפעקטיוולי דיסאַפּירן היץ דזשענערייטאַד בעשאַס אָפּעראַציע, מיינטיינינג לאַזער ויסריכט ין אַן אָפּטימאַל טעמפּעראַטור קייט און ענשורינג אַקיעראַסי און רילייאַבילאַטי אין די ליטאָגראַפֿיע פּראָצעס.

TEYU טשילער אָפפערט פּראָפעסיאָנעלע קיל לייזונגען פֿאַר ליטאָגראַפֿיע מאַשינען

TEYU CWUP סעריע אולטרא-שנעלע לאַזער טשילערס קענען צושטעלן פּינקטלעכע און סטאַביל טעמפּעראַטור קאָנטראָל פֿאַר ליטאָגראַפֿיע מאַשינען. די טשילער מאָדעל CWUP-20ANP דערגרייכט טעמפּעראַטור סטאַביליטעט פון ±0.08°C, וואָס גיט הויך עפעקטיוו קאָאָלינג פֿאַר פּינטלעכקייט מאַנופאַקטורינג.

אין דער גענויער וועלט פון האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע, זענען ליטאָגראַפֿיע מאַשינען די הויפּט דעוויסעס פֿאַר דער אַריבערפירן פון מיקראָסירקויט פּאַטערנז. מיטן פארשריט פון טעכנאָלאָגיע, זענען קריפּטאָן פלאָריד ליטאָגראַפֿיע מאַשין און אַרגאָן פלאָריד ליטאָגראַפֿיע מאַשין געוואָרן אַ וויכטיקע קראַפט צו העכערן די אַנטוויקלונג פון דער אינדוסטריע מיט זייער אויסגעצייכנטער פאָרשטעלונג.