ברייקינג ניוז: MIIT פראמאטירט דינער DUV ליטאגראפיע מאשינען מיט ≤8nm איבערדעקונג גענויקייט

אין די לעצטע חדשים, האט דאס מיניסטעריום פון אינדוסטריע און אינפארמאציע טעכנולוגיע (MIIT) ארויסגעגעבן די "ריכטליניעס פאר דער העכערונג און אנווענדונג פון ערשטער (סעט) הויפט טעכנישער עקוויפמענט (2024 אויסגאבע)". דאס באפעסטיקט דעם וועג פאר א פול-פראצעס לאקאליזאציע פון ​​דערוואקסענער טשיפּ פאבריקאציע פאר נאָודז העכער 28 נאַנאָמעטער!

כאָטש 28 נאַנאָמעטער טעכנאָלאָגיע איז נישט די לעצטע טעכנאָלאָגיע, האַלט זי אַ באַדײַטנדיקע וויכטיקייט ווי די צעטיילונג צווישן נידעריק-ביז-מיטל-ענד און מיטל-ביז-הויך-ענד טשיפּס. חוץ אַוואַנסירטע CPUs, GPUs, און AI טשיפּס, פאַרלאָזן זיך רובֿ אינדוסטריעל-גראַד טשיפּס אויף 28 נאַנאָמעטער אָדער העכערע טעכנאָלאָגיעס.

ארבעטס פּרינציפּ: פֿאָרשריטן אין טיף אַלטראַוויאָלעט ליטאָגראַפֿיע

KrF (קריפּטאָן פלאָריד) און ArF (אַרגאָן פלאָריד) ליטאָגראַפֿיע מאַשינען פֿאַלן אונטער דער קאַטעגאָריע פֿון טיפֿער אולטראַוויאָלעט (DUV) ליטאָגראַפֿיע. ביידע נוצן ספּעציפֿישע ליכט כוואַליע לענגס פּראָיעקטירט דורך אָפּטישע סיסטעמען אויף דער פֿאָטאָרעזיסט שיכט פֿון אַ סיליקאָן וועיפֿער, טראַנספֿערירנדיק קאָמפּליצירטע קרייַז מוסטערן.

KrF ליטאגראַפֿיע מאשינען: ניצן אַ 248 נם כוואַליע ליכט מקור, דערגרייכנדיק רעזאָלוציעס אונטער 110 נם, פּאַסיק פֿאַר פֿאַרשידענע אינטעגרירטע קרייַז מאַנופאַקטורינג פּראָצעסן.

ArF ליטאָגראַפֿיע מאַשינען: ניצן אַ 193 נם כוואַליע ליכט מקור, וואָס אָפֿערט ​​העכערע רעזאָלוציע פֿאַר סוב-65 נם פּראָצעס טעקנאַלאַדזשיז, וואָס ערמעגליכט די פֿאַבריקאַציע פֿון פֿײַנערע קרייזן.

טעקנאַלאַדזשיקאַל באַדייטונג: אינדוסטריע אַפּגרעיד און זעלבסטשטענדיקייט

די אַנטוויקלונג פון די ליטאָגראַפֿיע מאַשינען מאַרקירט אַ וויכטיקן מיילשטיין אין פֿאָרשריט פֿון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע און דערגרייכן אינדוסטריעלע אויטאָנאָמיע:

טעכנישע דורכברוכן: די דערפאָלגרײַכע שאַפונג פון KrF און ArF ליטאָגראַפֿיע מאַשינען אונטערשטרייכט באַדײַטנדיקן פּראָגרעס אין הויך-ענד ליטאָגראַפֿיע טעכנאָלאָגיע, וואָס גיט שטאַרקע טעכנישע שטיצע פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע.

אינדוסטריע אַפּגרעיד: הויך-פּרעציציע ליטאָגראַפֿיע מאַשינען ערמעגלעכן די פּראָדוקציע פֿון מער קאָמפּליצירטע און הויך-פאָרשטעלונג אינטעגרירטע קרייזן, וואָס טרייבט כידעש איבער דער גאַנצער האַלב-קאָנדוקטאָר ווערט קייט.

עקאָנאָמישע און נאַציאָנאַלע זיכערהייט: דורך רעדוצירן די אָפּהענגיקייט אויף פרעמדע טעכנאָלאָגיע, פארשטארקן די מאַשינען די זעלבסטשטענדיקייט פון דער אינלענדישער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, און פארשטארקן עקאָנאָמישע און אינדוסטריעלע זיכערהייט.

וואַסער קילער : דער שליסל צו סטאַביל ליטאָגראַפֿיע מאַשין פאָרשטעלונג

פּינקטלעכע טעמפּעראַטור קאָנטראָל איז וויכטיק צו זיכער מאַכן די קוואַליטעט און פּראָדוקציע פֿון דעם ליטאָגראַפֿיע פּראָצעס. וואַסער קילערס, ווי הויפּט קאָמפּאָנענטן פֿון קיל סיסטעמען, שפּילן אַ וויכטיקע ראָלע:

קיל-באדינגונגען: ליטאגראַפֿיע מאשינען זענען גאָר שפּירעוודיק צו טעמפּעראַטור פלוקטואַציעס בעת ויסשטעל, וואָס פֿאָדערט וואַסער קילערס וואָס צושטעלן העכסט גענויע און סטאַביל טעמפּעראַטור קאָנטראָל.

פונקציעס פון טשילערס: דורך צירקולירן קיל וואַסער, טשילערס עפעקטיוולי דיסיפּירן היץ דזשענערייטאַד בעשאַס אָפּעראַציע, מיינטיינינג לאַזער ויסריכט ין אַן אָפּטימאַל טעמפּעראַטור קייט און ענשורינג אַקיעראַסי און רילייאַבילאַטי אין די ליטאָגראַפֿיע פּראָצעס.

TEYU טשילער אָפפערט פּראָפעסיאָנעלע קיל לייזונגען פֿאַר ליטאָגראַפֿיע מאַשינען

TEYU CWUP סעריע אולטרא-שנעלע לייזער טשילערס קענען צושטעלן גענויע און סטאַבילע טעמפּעראַטור קאָנטראָל פֿאַר ליטאָגראַפֿיע מאַשינען. דער טשילער מאָדעל CWUP-20ANP דערגרייכט טעמפּעראַטור סטאַביליטעט פון ±0.08°C, וואָס גיט העכסט עפֿעקטיווע קילונג פֿאַר פּרעציזיע מאַנופֿאַקטורינג.

אין דער פּינקטלעכער וועלט פון האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע, זענען ליטאָגראַפֿיע מאַשינען די הויפּט דעווייסעס פֿאַר דער טראַנספֿער פֿון מיקראָסירקויט מוסטערן. מיטן פֿאָרשריט פֿון טעכנאָלאָגיע, זענען קריפּטאָן פֿלואָריד ליטאָגראַפֿיע מאַשינען און אַרגאָן פֿלואָריד ליטאָגראַפֿיע מאַשינען געוואָרן אַ וויכטיקע קראַפֿט צו העכערן די אַנטוויקלונג פֿון דער אינדוסטריע מיט זייער אויסגעצייכנטער פאָרשטעלונג.