חדשות מתפרצות: MIIT מקדמת מכונות ליתוגרפיה DUV מקומיות עם דיוק שכבת כיסוי של ≤8 ננומטר

בחודשים האחרונים, פרסם משרד התעשייה וטכנולוגיית המידע (MIIT) את "הנחיות לקידום ויישום של ציוד טכני עיקרי ראשון (מהדורת 2024)". זה סולל את הדרך ללוקליזציה מלאה של ייצור שבבים בוגרים עבור צמתים מעל 28 ננומטר!

למרות שטכנולוגיית 28 ננומטר אינה חדשנית, יש לה חשיבות משמעותית כקו המפריד בין שבבים ברמה נמוכה-בינונית לבין שבבים ברמה בינונית-גבוהה. מלבד מעבדים מתקדמים, כרטיסי מסך ושבבי בינה מלאכותית, רוב השבבים ברמה תעשייתית מסתמכים על טכנולוגיות 28 ננומטר ומעלה.

עקרון עבודה: התקדמות בליתוגרפיה אולטרה סגולה עמוקה

מכונות ליתוגרפיה KrF (קריפטון פלואוריד) ו-ArF (ארגון פלואוריד) נכללות בקטגוריה של ליתוגרפיה של קרינה אולטרה סגולה עמוקה (DUV). שתיהן משתמשות באורכי גל ספציפיים של אור המוקרנים דרך מערכות אופטיות על שכבת הפוטורזיסט של פרוסת סיליקון, ומעבירות דפוסי מעגל מורכבים.

מכונות ליתוגרפיה KrF: משתמשות במקור אור באורך גל של 248 ננומטר, המשיג רזולוציות מתחת ל-110 ננומטר, מתאימות לתהליכי ייצור שונים של מעגלים משולבים.

מכונות ליתוגרפיה ArF: משתמשות במקור אור באורך גל של 193 ננומטר, המציע רזולוציה גבוהה יותר עבור טכנולוגיות תהליך מתחת ל-65 ננומטר, ומאפשרות ייצור של מעגלים עדינים יותר.

משמעות טכנולוגית: שדרוג התעשייה והסתמכות עצמית

פיתוחן של מכונות ליתוגרפיה אלו מסמן אבן דרך משמעותית בקידום ייצור מוליכים למחצה ובהשגת אוטונומיה תעשייתית:

פריצות דרך טכניות: היצירה המוצלחת של מכונות ליתוגרפיה KrF ו-ArF מדגישה התקדמות משמעותית בטכנולוגיית ליתוגרפיה מתקדמת, ומספקת תמיכה טכנית חזקה לייצור מוליכים למחצה.

שדרוג בתעשייה: מכונות ליתוגרפיה מדויקות מאפשרות ייצור של מעגלים משולבים מורכבים ובעלי ביצועים גבוהים יותר, ומניעות חדשנות בכל שרשרת הערך של מוליכים למחצה.

ביטחון כלכלי ולאומי: על ידי הפחתת התלות בטכנולוגיה זרה, מכונות אלו מחזקות את העצמאות של תעשיית המוליכים למחצה המקומית, ובכך מחזקות את הביטחון הכלכלי והתעשייתי.

מצנן מים : המפתח לביצועים יציבים של מכונת ליתוגרפיה

בקרת טמפרטורה מדויקת חיונית להבטחת האיכות והתפוקה של תהליך הליתוגרפיה. מצנני מים, כמרכיבים מרכזיים של מערכות קירור, ממלאים תפקיד חיוני:

דרישות קירור: מכונות ליתוגרפיה רגישות ביותר לתנודות טמפרטורה במהלך החשיפה, מה שמצריך מצנני מים המספקים בקרת טמפרטורה מדויקת ויציבה ביותר.

תפקידי הצ'ילרים: על ידי סירקולציה של מי קירור, הצ'ילרים מפזרים ביעילות את החום הנוצר במהלך הפעולה, שומרים על ציוד לייזר בטווח טמפרטורות אופטימלי ומבטיחים דיוק ואמינות בתהליך הליתוגרפיה.

צ'ילר TEYU מציע פתרונות קירור מקצועיים למכונות ליתוגרפיה

צ'ילרי לייזר אולטרה-מהירים מסדרת TEYU CWUP יכולים לספק בקרת טמפרטורה מדויקת ויציבה למכונות ליתוגרפיה. הצ'ילר מדגם CWUP-20ANP משיג יציבות טמפרטורה של ±0.08°C, ומספק קירור יעיל ביותר לייצור מדויק.

בעולם המדויק של ייצור מוליכים למחצה, מכונות ליתוגרפיה הן המכשירים המרכזיים להעברת דפוסי מיקרו-מעגלים. עם התקדמות הטכנולוגיה, מכונות ליתוגרפיה עם קריפטון פלואוריד ומכונות ליתוגרפיה עם ארגון פלואוריד הפכו לכוח חשוב לקידום פיתוח התעשייה בזכות ביצועיהן המצוינים.