חדשות מתפרצות: MIIT מקדמת מכונות ליתוגרפיה DUV מקומיות עם דיוק שכבת כיסוי של ≤8 ננומטר

בחודשים האחרונים פרסם משרד התעשייה וטכנולוגיית המידע (MIIT) את "הנחיות לקידום ויישום של ציוד טכני עיקרי ראשון (מהדורת 2024)". זה סולל את הדרך ללוקליזציה מלאה של ייצור שבבים בוגרים עבור צמתים מעל 28 ננומטר!

למרות שטכנולוגיית 28 ננומטר אינה חדישה, היא בעלת חשיבות משמעותית כקו המפריד בין שבבים מהקצה התחתון עד הבינוני לבין שבבים מהקצה הבינוני-גבוה. מלבד מעבדים מתקדמים, כרטיסי מסך ושבבי בינה מלאכותית, רוב השבבים ברמה תעשייתית מסתמכים על טכנולוגיות של 28 ננומטר ומעלה.

עקרון עבודה: התקדמות בליתוגרפיה אולטרה סגולה עמוקה

מכונות ליתוגרפיה KrF (קריפטון פלואוריד) ו-ArF (ארגון פלואוריד) נופלות תחת הקטגוריה של ליתוגרפיה אולטרה סגולה עמוקה (DUV). שניהם משתמשים באורכי גל ספציפיים של אור המוקרנים דרך מערכות אופטיות על שכבת הפוטורזיסט של פרוסת סיליקון, ומעבירים דפוסי מעגלים מורכבים.

מכונות ליתוגרפיה KrF: השתמשו במקור אור באורך גל של 248 ננומטר, המשיג רזולוציות מתחת ל-110 ננומטר, המתאים לתהליכי ייצור שונים של מעגלים משולבים.

מכונות ליתוגרפיה ArF: השתמשו במקור אור באורך גל של 193 ננומטר, המציע רזולוציה גבוהה יותר עבור טכנולוגיות תהליך מתחת ל-65 ננומטר, ומאפשר ייצור של מעגלים עדינים יותר.

משמעות טכנולוגית: שדרוג התעשייה והסתמכות עצמית

פיתוחן של מכונות ליתוגרפיה אלו מסמן אבן דרך משמעותית בקידום ייצור מוליכים למחצה ובהשגת אוטונומיה תעשייתית.:

פריצות דרך טכניות: היצירה המוצלחת של מכונות ליתוגרפיה KrF ו-ArF מדגישה התקדמות משמעותית בטכנולוגיית ליתוגרפיה מתקדמת, ומספקת תמיכה טכנית חזקה לייצור מוליכים למחצה.

שדרוג התעשייה: מכונות ליתוגרפיה מדויקות מאפשרות ייצור של מעגלים משולבים מורכבים ובעלי ביצועים גבוהים יותר, ומניעות חדשנות בכל שרשרת הערך של מוליכים למחצה.

ביטחון כלכלי ולאומי: על ידי הפחתת התלות בטכנולוגיה זרה, מכונות אלו מחזקות את העצמאות של תעשיית המוליכים למחצה המקומית, ובכך מחזקות את הביטחון הכלכלי והתעשייתי.

צ'ילר מים המפתח לביצועים יציבים של מכונת ליתוגרפיה

בקרת טמפרטורה מדויקת חיונית להבטחת האיכות והתפוקה של תהליך הליתוגרפיה. מצנני מים, כמרכיבים מרכזיים של מערכות קירור, ממלאים תפקיד חיוני:

דרישות קירור: מכונות ליתוגרפיה רגישות ביותר לתנודות טמפרטורה במהלך החשיפה, מה שמצריך מצנני מים המספקים בקרת טמפרטורה מדויקת ויציבה ביותר.

פונקציות של צ'ילרים: על ידי סירקולציה של מי קירור, צ'ילרים מפזרים ביעילות את החום הנוצר במהלך הפעולה, שומרים על ציוד לייזר בטווח טמפרטורות אופטימלי ומבטיחים דיוק ואמינות בתהליך הליתוגרפיה.

צ'ילר TEYU מציע פתרונות קירור מקצועיים למכונות ליתוגרפיה

צ'ילרי לייזר אולטרה-מהירים מסדרת TEYU CWUP יכולים לספק בקרת טמפרטורה מדויקת ויציבה עבור מכונות ליתוגרפיה. ה צ'ילר דגם CWUP-20ANP משיג יציבות טמפרטורה של ±0.08°C, המספק קירור יעיל ביותר לייצור מדויק.

בעולם המדויק של ייצור מוליכים למחצה, מכונות ליתוגרפיה הן המכשירים המרכזיים להעברת דפוסי מיקרו-מעגלים. עם התקדמות הטכנולוגיה, מכונת ליתוגרפיה קריפטון פלואוריד ומכונות ליתוגרפיה ארגון פלואוריד הפכו לכוח חשוב לקידום פיתוח התעשייה בזכות ביצועיהן המצוינים.