Breaking News: Gipasiugda sa MIIT ang Domestic DUV Lithography Machines nga adunay ≤8nm Overlay Accuracy

Sa bag-ohay nga mga bulan, ang Ministry of Industry ug Information Technology (MIIT) nag-isyu sa "Mga Giya alang sa Promosyon ug Paggamit sa Una (Set) Major Technical Equipment (2024 Edition)". Naghatag kini og dalan alang sa bug-os nga proseso nga lokalisasyon sa hamtong nga paghimo sa chip alang sa mga node nga labaw sa 28nm!

Bisan kung ang 28nm nga teknolohiya dili cutting-edge, kini adunay mahinungdanong importansya ingon nga nagbahin nga linya tali sa ubos-ngadto-tunga-tunga ug tunga-tunga sa high-end nga mga chips. Gawas sa mga advanced nga CPU, GPU, ug AI chips, kadaghanan sa mga industrial-grade chips nagsalig sa 28nm o mas taas nga mga teknolohiya.

Prinsipyo sa Pagtrabaho: Mga Pag-uswag sa Deep Ultraviolet Lithography

KrF (Krypton Fluoride) ug ArF (Argon Fluoride) lithography machines naa sa ilawom sa kategorya nga Deep Ultraviolet (DUV) lithography. Ang duha naggamit sa piho nga mga wavelength sa kahayag nga giplano pinaagi sa optical system ngadto sa photoresist layer sa usa ka silicon wafer, nga nagbalhin sa makuti nga mga pattern sa sirkito.

Mga Makina sa Lithography sa KrF: Paggamit ug 248nm wavelength nga tinubdan sa kahayag, pagkab-ot sa mga resolusyon ubos sa 110nm, nga angay alang sa nagkalain-laing proseso sa paghimo sa integrated circuit.

Mga Makina sa Lithography sa ArF: Paggamit ug 193nm wavelength nga tinubdan sa kahayag, nga nagtanyag sa mas taas nga resolusyon para sa sub-65nm nga mga teknolohiya sa proseso, nga makapahimo sa paghimo sa mas maayong mga sirkito.

Teknolohikal nga Kamahinungdanon: Pag-upgrade sa Industriya ug Pagsalig sa Kaugalingon

Ang pag-uswag sa kini nga mga makina sa lithography nagtimaan usa ka hinungdanon nga milestone sa pag-uswag sa paghimo sa semiconductor ug pagkab-ot sa awtonomiya sa industriya.:

Teknikal nga mga Kauswagan: Ang malampuson nga paghimo sa KrF ug ArF lithography machines nagpasiugda sa mahinungdanong pag-uswag sa high-end nga lithography nga teknolohiya, nga naghatag og lig-on nga teknikal nga suporta alang sa semiconductor manufacturing.

Pag-upgrade sa Industriya: Ang high-precision lithography machines makahimo sa paghimo sa mas komplikado ug high-performance integrated circuits, nga nagduso sa kabag-ohan sa tibuok semiconductor value chain.

Pang-ekonomiya ug Nasyonal nga Seguridad: Pinaagi sa pagkunhod sa pagsalig sa langyaw nga teknolohiya, kini nga mga makina nagpalig-on sa pagka-sa-kaugalingon sa industriya sa semiconductor, nagpalig-on sa seguridad sa ekonomiya ug industriya.

Tubig Chiller : Ang Yawe sa Lig-on nga Lithography Machine Performance

Ang tukma nga pagkontrol sa temperatura hinungdanon alang sa pagsiguro sa kalidad ug abot sa proseso sa lithography. Ang mga water chiller, isip mga kinauyokan nga sangkap sa mga sistema sa pagpabugnaw, adunay hinungdanon nga papel:

Mga Kinahanglanon sa Pagpabugnaw: Ang mga makina sa litograpiya sensitibo kaayo sa pag-usab-usab sa temperatura sa panahon sa pagkaladlad, nga nanginahanglan ug mga water chiller nga naghatag ug tukma ug lig-on nga pagkontrol sa temperatura.

Mga Katungdanan sa mga Chiller: Pinaagi sa pag-circulate sa makapabugnaw nga tubig, ang mga chiller epektibo nga nagwagtang sa kainit nga namugna sa panahon sa operasyon, pagmintinar sa mga kagamitan sa laser sulod sa usa ka kamalaumon nga range sa temperatura ug pagsiguro sa katukma ug kasaligan sa proseso sa lithography.

Ang TEYU Chiller Nagtanyag ug Propesyonal nga Mga Solusyon sa Pagpabugnaw para sa Mga Makina sa Lithography

TEYU CWUP series ultrafast laser chillers makahatag og tukma ug stable nga pagkontrol sa temperatura alang sa mga makina sa lithography. Ang chiller nga modelo CWUP-20ANP makab-ot ang kalig-on sa temperatura sa ±0.08°C, naghatud sa labi ka episyente nga pagpabugnaw alang sa katukma sa paghimo.

Sa tukma nga kalibutan sa paghimo sa semiconductor, ang mga makina sa lithography mao ang panguna nga mga aparato alang sa pagbalhin sa mga pattern sa microcircuit. Uban sa pag-uswag sa teknolohiya, ang krypton fluoride lithography machine ug argon fluoride lithography machine nahimong usa ka importante nga pwersa sa pagpalambo sa kalamboan sa industriya uban sa ilang maayo kaayo nga performance.