Karščiausios naujienos: MIIT reklamuoja buitinius DUV litografijos aparatus, kurių perdengimo tikslumas yra ≤8 nm

Pastaraisiais mėnesiais Pramonės ir informacinių technologijų ministerija (MIIT) išleido „Pirmosios (rinkinio) pagrindinės techninės įrangos skatinimo ir taikymo gaires (2024 m. leidimas)“. Tai atveria kelią visapusiškam brandžių lustų gamybos lokalizavimui mazgams, kurių storis didesnis nei 28 nm!

Nors 28 nm technologija nėra pažangiausia, ji yra labai svarbi kaip skiriamoji linija tarp žemos ir vidutinės bei vidutinės ir aukštos klasės lustų. Be pažangių procesorių, vaizdo plokščių ir dirbtinio intelekto lustų, dauguma pramoninės klasės lustų remiasi 28 nm ar aukštesnėmis technologijomis.

Veikimo principas: giliosios ultravioletinės litografijos pažanga

KrF (kriptono fluorido) ir ArF (argono fluorido) litografijos aparatai priskiriami giliosios ultravioletinės (DUV) litografijos kategorijai. Abiejose naudojamos specifinio ilgio šviesos, projektuojamos optinėmis sistemomis ant silicio plokštelės fotorezisto sluoksnio, ir perkeliamos sudėtingos grandinės struktūros.

KrF litografijos aparatai: Naudoja 248 nm bangos ilgio šviesos šaltinį, pasiekiantį mažesnę nei 110 nm skiriamąją gebą, tinkamą įvairiems integrinių grandynų gamybos procesams.

ArF litografijos įrenginiai: naudoja 193 nm bangos ilgio šviesos šaltinį, užtikrinantį didesnę skiriamąją gebą, skirtą žemesnės nei 65 nm bangos ilgio procesų technologijoms, leidžiančioms gaminti smulkesnes grandines.

Technologinė reikšmė: pramonės atnaujinimas ir savarankiškumas

Šių litografijos mašinų sukūrimas žymi svarbų etapą puslaidininkių gamybos tobulinimo ir pramonės autonomijos siekimo srityje:

Techniniai proveržiai: Sėkmingas KrF ir ArF litografijos mašinų sukūrimas rodo didelę pažangą aukščiausios klasės litografijos technologijų srityje, suteikiant tvirtą techninę paramą puslaidininkių gamybai.

Pramonės atnaujinimas: didelio tikslumo litografijos mašinos leidžia gaminti sudėtingesnes ir našesnes integrines grandines, skatinant inovacijas visoje puslaidininkių vertės grandinėje.

Ekonominis ir nacionalinis saugumas: sumažindamos priklausomybę nuo užsienio technologijų, šios mašinos stiprina šalies puslaidininkių pramonės savarankiškumą, didindamos ekonominį ir pramoninį saugumą.

Vandens aušintuvas : stabilaus litografijos aparato veikimo raktas

Tikslus temperatūros valdymas yra būtinas norint užtikrinti litografijos proceso kokybę ir našumą. Vandens aušintuvai, kaip pagrindiniai aušinimo sistemų komponentai, atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį:

Aušinimo reikalavimai: Litografijos aparatai yra itin jautrūs temperatūros svyravimams ekspozicijos metu, todėl reikalingi vandens aušintuvai, užtikrinantys labai tikslų ir stabilų temperatūros valdymą.

Aušintuvų funkcijos: Cirkuliuodami aušinimo vandenį, aušintuvai efektyviai išsklaido veikimo metu susidarančią šilumą, palaikydami lazerinės įrangos optimalią temperatūrą ir užtikrindami litografijos proceso tikslumą bei patikimumą.

„TEYU Chiller“ siūlo profesionalius litografijos mašinų aušinimo sprendimus

„TEYU CWUP“ serijos itin greiti lazeriniai aušintuvai gali užtikrinti tikslų ir stabilų litografijos mašinų temperatūros valdymą. CWUP-20ANP modelio aušintuvas pasiekia ±0,08 °C temperatūros stabilumą, todėl užtikrinamas itin efektyvus aušinimas tiksliajai gamybai.

Tikslioje puslaidininkių gamybos srityje litografijos mašinos yra pagrindiniai įrenginiai mikroschemų raštams perduoti. Tobulėjant technologijoms, kriptono fluorido litografijos mašina ir argono fluorido litografijos mašina tapo svarbia jėga, skatinančia pramonės plėtrą, pasižyminčia puikiais našumais.