بريڪنگ نيوز: MIIT ≤8nm اوورلي جي درستگي سان گهريلو DUV لٿوگرافي مشينن کي فروغ ڏئي ٿو

تازن مهينن ۾، صنعت ۽ انفارميشن ٽيڪنالاجي واري وزارت (MIIT) "پهرين (سيٽ) ميجر ٽيڪنيڪل سامان جي واڌاري ۽ ايپليڪيشن لاءِ هدايتون (2024 ايڊيشن)" جاري ڪيون. هي 28nm کان مٿي نوڊس لاءِ بالغ چپ جي پيداوار جي مڪمل عمل جي مقامي ڪرڻ لاءِ رستو هموار ڪري ٿو!

جيتوڻيڪ 28nm ٽيڪنالاجي جديد نه آهي، پر اها گهٽ کان وچين ۽ وچين کان اعليٰ تائين جي چپس جي وچ ۾ ورهائيندڙ لڪير جي طور تي اهم اهميت رکي ٿي. ترقي يافته سي پي يو، جي پي يو، ۽ اي آءِ چپس کان علاوه، گهڻا صنعتي گريڊ چپس 28nm يا ان کان وڌيڪ ٽيڪنالاجي تي ڀاڙين ٿا.

ڪم ڪرڻ جو اصول: ڊيپ الٽراوائليٽ لٿوگرافي ۾ ترقي

KrF (ڪرپٽن فلورائيڊ) ۽ ArF (آرگن فلورائيڊ) لٿوگرافي مشينون ڊيپ الٽراوائليٽ (DUV) لٿوگرافي جي درجي ۾ اچن ٿيون. ٻئي آپٽيڪل سسٽم ذريعي سلڪون ويفر جي فوٽو ريزسٽ پرت تي پيش ڪيل مخصوص روشني جي طول موج کي استعمال ڪن ٿا، پيچيده سرڪٽ نمونن کي منتقل ڪن ٿا.

KrF لٿوگرافي مشينون: 248nm طول موج جي روشني جو ذريعو استعمال ڪريو، 110nm کان گهٽ ريزوليوشن حاصل ڪريو، مختلف انٽيگريٽڊ سرڪٽ ٺاهڻ جي عملن لاءِ موزون.

آر ايف لٿوگرافي مشينون: 193nm طول موج جي روشني جو ذريعو استعمال ڪريو، جيڪو ذيلي 65nm پروسيس ٽيڪنالاجيز لاءِ اعليٰ ريزوليوشن پيش ڪري ٿو، نفيس سرڪٽس جي ٺاھڻ کي فعال بڻائي ٿو.

ٽيڪنالاجي جي اهميت: صنعت جي اپ گريڊ ۽ خود انحصاري

انهن لٿوگرافي مشينن جي ترقي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار کي اڳتي وڌائڻ ۽ صنعتي خودمختياري حاصل ڪرڻ ۾ هڪ اهم سنگ ميل جي نشاندهي ڪري ٿي.:

ٽيڪنيڪل ڪاميابيون: KrF ۽ ArF لٿوگرافي مشينن جي ڪامياب تخليق اعليٰ درجي جي لٿوگرافي ٽيڪنالاجي ۾ اهم ترقي کي اجاگر ڪري ٿي، جيڪا سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار لاءِ مضبوط ٽيڪنيڪل مدد فراهم ڪري ٿي.

انڊسٽري اپ گريڊ: اعليٰ درستگي واري لٿوگرافي مشينون وڌيڪ پيچيده ۽ اعليٰ ڪارڪردگي واري انٽيگريٽڊ سرڪٽ جي پيداوار کي فعال ڪن ٿيون، پوري سيمي ڪنڊڪٽر ويليو چين ۾ جدت کي هلائينديون آهن.

اقتصادي ۽ قومي سلامتي: پرڏيهي ٽيڪنالاجي تي انحصار گهٽائڻ سان، اهي مشينون ملڪي سيمي ڪنڊڪٽر صنعت جي خودمختاري کي مضبوط ڪن ٿيون، معاشي ۽ صنعتي سلامتي کي مضبوط ڪن ٿيون.

پاڻي چِلر : مستحڪم لٿوگرافي مشين جي ڪارڪردگي جي ڪنجي

لٿوگرافي جي عمل جي معيار ۽ پيداوار کي يقيني بڻائڻ لاءِ صحيح درجه حرارت ڪنٽرول ضروري آهي. پاڻي جا چِلر، کولنگ سسٽم جي بنيادي جزن جي حيثيت سان، هڪ اهم ڪردار ادا ڪن ٿا:

ٿڌي گهرجون: لٿوگرافي مشينون نمائش دوران گرمي پد جي اتار چڙهاؤ لاءِ انتهائي حساس هونديون آهن، جنهن ڪري پاڻي جي چِلر جي ضرورت پوندي آهي جيڪي انتهائي صحيح ۽ مستحڪم گرمي پد ڪنٽرول فراهم ڪن.

چلرز جا ڪم: ٿڌي پاڻي کي گردش ڪندي، چلر آپريشن دوران پيدا ٿيندڙ گرمي کي مؤثر طريقي سان ختم ڪن ٿا، ليزر سامان کي بهترين درجه حرارت جي حد اندر برقرار رکن ٿا ۽ لٿوگرافي جي عمل ۾ درستگي ۽ اعتبار کي يقيني بڻائين ٿا.

TEYU چِلر لٿوگرافي مشينن لاءِ پيشه ورانه کولنگ حل پيش ڪري ٿو

TEYU CWUP سيريز الٽرا فاسٽ ليزر چِلر لٿوگرافي مشينن لاءِ صحيح ۽ مستحڪم درجه حرارت ڪنٽرول مهيا ڪري سگھن ٿا. جي چلر ماڊل CWUP-20ANP جي گرمي پد جي استحڪام حاصل ڪري ٿو ±0.08°سي، درست پيداوار لاءِ انتهائي ڪارآمد کولنگ فراهم ڪري ٿو.

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي صحيح دنيا ۾، لٿوگرافي مشينون مائڪرو سرڪٽ نمونن جي منتقلي لاءِ بنيادي ڊوائيسز آهن. ٽيڪنالاجي جي ترقي سان، ڪرپٽن فلورائيڊ لٿوگرافي مشين ۽ آرگن فلورائيڊ لٿوگرافي مشين پنهنجي شاندار ڪارڪردگي سان صنعت جي ترقي کي فروغ ڏيڻ لاءِ هڪ اهم قوت بڻجي چڪيون آهن.