Хабарҳои фаврӣ: MIIT мошинҳои литографияи ватании DUV-ро бо дақиқии қабати ≤8nm пешбарӣ мекунад

Дар моҳҳои охир, Вазорати саноат ва технологияҳои иттилоотӣ (MIIT) "Дастур оид ба пешбурд ва татбиқи таҷҳизоти аввалини (маҷмӯи) техникии (Нашри 2024)" -ро нашр кард. Ин роҳро барои локализатсияи пурраи истеҳсоли чипҳои баркамол барои гиреҳҳои болотар аз 28 нм мекушояд!

Гарчанде ки технологияи 28nm муосир нест, он ҳамчун хати тақсим байни микросхемаҳои паст то миёна ва миёна то баланд аҳамияти муҳим дорад. Ба ғайр аз CPU-ҳои пешрафта, GPU-ҳо ва чипҳои AI, аксари микросхемаҳои дараҷаи саноатӣ ба технологияҳои 28 нм ё баландтар такя мекунанд.

Принсипи кор: Пешрафтҳо дар литографияи амиқи ултрабунафш

Мошинҳои литографияи KrF (Krypton Fluoride) ва ArF (Argon Fluoride) ба категорияи литографияи амиқ ултрабунафш (DUV) дохил мешаванд. Ҳарду дарозии мавҷҳои мушаххаси рӯшноиро истифода мебаранд, ки тавассути системаҳои оптикӣ ба қабати фоторезистии пласти кремний тарҳрезӣ шудаанд ва намунаҳои схемаҳои мураккабро интиқол медиҳанд.

Мошинҳои литографии KrF: Манбаи нури дарозии мавҷи 248 нмро истифода баред, ки қарорҳои поёнтар аз 110 нмро ба даст оред, ки барои равандҳои гуногуни истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ мувофиқанд.

Мошинҳои литографии ArF: Манбаи нури дарозии мавҷи 193 нмро истифода баред, ки ҳалли баландтарро барои технологияҳои равандҳои зер-65 нм пешниҳод мекунад ва имкон медиҳад, ки схемаҳои хубтар сохта шавад.

Ахамияти технологи: такмил додани саноат ва худтаъминкунй

Инкишофи ин мошинҳои литографӣ дар пешрафти истеҳсоли нимноқилҳо ва ноил шудан ба автономияи саноатӣ марҳалаи бузург аст.:

Муваффақиятҳои техникӣ: Эҷоди бомуваффақияти мошинҳои литографияи KrF ва ArF пешрафти назаррасро дар технологияи баландсифати литография нишон медиҳад, ки дастгирии устувори техникии истеҳсоли нимноқилҳоро таъмин мекунад.

Навсозии саноат: Мошинҳои литографияи дақиқи баланд имкон медиҳанд, ки микросхемаҳои интегралӣ мураккабтар ва баландсифат истеҳсол карда шаванд, ки инноватсияро дар тамоми занҷири арзиши нимноқилҳо пеш баранд.

Амнияти иқтисодӣ ва миллӣ: Бо коҳиш додани вобастагӣ аз технологияи хориҷӣ, ин мошинҳо худтаъминкунии саноати нимноқилҳои ватаниро мустаҳкам намуда, амнияти иқтисодӣ ва саноатиро мустаҳкам мекунанд.

Хунуккунандаи об : Калиди иҷрои устувори мошини литография

Назорати дақиқи ҳарорат барои таъмини сифат ва ҳосили раванди литография муҳим аст. Чиллерҳои об, ҳамчун ҷузъҳои асосии системаҳои хунуккунӣ, нақши муҳим доранд:

Талабот барои хунуккунӣ: Мошинҳои литографӣ ба тағирёбии ҳарорат дар вақти таъсир хеле ҳассосанд ва ба хунуккунакҳои об ниёз доранд, ки назорати хеле дақиқ ва устувори ҳароратро таъмин мекунанд.

Функсияҳои хунуккунакҳо: Бо гардиши оби хунуккунӣ, хунуккунакҳо гармии ҳангоми кор тавлидшударо ба таври муассир пароканда мекунанд, таҷҳизоти лазериро дар доираи ҳарорати оптималӣ нигоҳ медоранд ва дақиқӣ ва эътимоднокии раванди литографияро таъмин мекунанд.

TEYU Chiller ҳалли касбии хунуккуниро барои мошинҳои литография пешниҳод мекунад

Силсилаи TEYU CWUP хунуккунакҳои лазерии ултратезӣ метавонанд назорати дақиқ ва устувори ҳароратро барои мошинҳои литография таъмин кунанд. Дар модели хунуккунанда CWUP-20ANP устувории ҳароратро ба даст меорад ±0.08°C, расонидани сардшавии хеле самаранок барои истеҳсоли дақиқ.

Дар ҷаҳони дақиқи истеҳсоли нимноқилҳо, мошинҳои литографӣ дастгоҳҳои асосӣ барои интиқоли намунаҳои микросхема мебошанд. Бо пешрафти технология, мошини литографияи криптони фториди ва мошини литографияи аргон фторид ба як қувваи муҳим барои мусоидат ба рушди саноат бо иҷрои аълои худ табдил ёфт.