भाषा

ब्रेकिंग न्यूज: एमआयआयटी ≤8nm ओव्हरले अचूकतेसह घरगुती डीयूव्ही लिथोग्राफी मशीन्सना प्रोत्साहन देते

एमआयआयटीच्या २०२४ च्या मार्गदर्शक तत्त्वांमध्ये २८ एनएम+ चिप उत्पादनासाठी पूर्ण-प्रक्रिया स्थानिकीकरणाला प्रोत्साहन दिले जाते, जो एक महत्त्वाचा तांत्रिक टप्पा आहे. प्रमुख प्रगतींमध्ये KrF आणि ArF लिथोग्राफी मशीन्सचा समावेश आहे, ज्यामुळे उच्च-परिशुद्धता सर्किट्स सक्षम होतात आणि उद्योग स्वावलंबन वाढते. या प्रक्रियांसाठी अचूक तापमान नियंत्रण अत्यंत महत्त्वाचे आहे, TEYU CWUP वॉटर चिलर सेमीकंडक्टर उत्पादनात स्थिर कामगिरी सुनिश्चित करतात.

2024-12-20

अलिकडच्या काही महिन्यांत, उद्योग आणि माहिती तंत्रज्ञान मंत्रालयाने (MIIT) "प्रथम (सेट) प्रमुख तांत्रिक उपकरणांच्या प्रचार आणि वापरासाठी मार्गदर्शक तत्त्वे (२०२४ आवृत्ती)" जारी केली. यामुळे २८ नॅनोमीटरपेक्षा जास्त नोड्ससाठी प्रौढ चिप उत्पादनाच्या पूर्ण-प्रक्रिया स्थानिकीकरणाचा मार्ग मोकळा होतो!

जरी २८nm तंत्रज्ञान अत्याधुनिक नसले तरी, कमी ते मध्यम आणि मध्यम ते उच्च दर्जाच्या चिप्समधील विभाजन रेषा म्हणून ते महत्त्वपूर्ण महत्त्व देते. प्रगत सीपीयू, जीपीयू आणि एआय चिप्स व्यतिरिक्त, बहुतेक औद्योगिक-दर्जाच्या चिप्स २८ एनएम किंवा त्याहून अधिक तंत्रज्ञानावर अवलंबून असतात.

MIIT Promotes Domestic DUV Lithography Machines with ≤8nm Overlay Accuracy

कार्य तत्व: डीप अल्ट्राव्हायोलेट लिथोग्राफीमधील प्रगती

KrF (क्रिप्टन फ्लोराइड) आणि ArF (आर्गॉन फ्लोराइड) लिथोग्राफी मशीन डीप अल्ट्राव्हायोलेट (DUV) लिथोग्राफीच्या श्रेणीत येतात. दोघेही सिलिकॉन वेफरच्या फोटोरेझिस्ट थरावर ऑप्टिकल सिस्टीमद्वारे प्रक्षेपित केलेल्या विशिष्ट प्रकाश तरंगलांबींचा वापर करतात, ज्यामुळे गुंतागुंतीचे सर्किट पॅटर्न हस्तांतरित होतात.

केआरएफ लिथोग्राफी मशीन्स: विविध एकात्मिक सर्किट उत्पादन प्रक्रियांसाठी योग्य, ११० एनएमपेक्षा कमी रिझोल्यूशन मिळवणारा २४८ एनएम तरंगलांबी प्रकाश स्रोत वापरा.

एआरएफ लिथोग्राफी मशीन्स: १९३nm तरंगलांबी प्रकाश स्रोत वापरा, जो ६५nm पेक्षा कमी प्रक्रिया तंत्रज्ञानासाठी उच्च रिझोल्यूशन देतो, ज्यामुळे बारीक सर्किट्स तयार करणे शक्य होते.

तांत्रिक महत्त्व: उद्योग अपग्रेड आणि स्वावलंबीता

या लिथोग्राफी मशीन्सचा विकास हा सेमीकंडक्टर उत्पादनात प्रगती करण्यासाठी आणि औद्योगिक स्वायत्तता प्राप्त करण्यासाठी एक महत्त्वाचा टप्पा आहे.:

तांत्रिक प्रगती: KrF आणि ArF लिथोग्राफी मशीन्सची यशस्वी निर्मिती उच्च दर्जाच्या लिथोग्राफी तंत्रज्ञानातील लक्षणीय प्रगती अधोरेखित करते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी मजबूत तांत्रिक आधार मिळतो.

उद्योग अपग्रेड: उच्च-परिशुद्धता लिथोग्राफी मशीन्स अधिक जटिल आणि उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या एकात्मिक सर्किट्सचे उत्पादन सक्षम करतात, ज्यामुळे संपूर्ण सेमीकंडक्टर मूल्य साखळीत नावीन्य येते.

आर्थिक आणि राष्ट्रीय सुरक्षा: परदेशी तंत्रज्ञानावरील अवलंबित्व कमी करून, ही यंत्रे देशांतर्गत अर्धवाहक उद्योगाची स्वयंपूर्णता मजबूत करतात, आर्थिक आणि औद्योगिक सुरक्षा मजबूत करतात.

वॉटर चिलर : स्थिर लिथोग्राफी मशीन कामगिरीची गुरुकिल्ली

लिथोग्राफी प्रक्रियेची गुणवत्ता आणि उत्पादन सुनिश्चित करण्यासाठी अचूक तापमान नियंत्रण आवश्यक आहे. कूलिंग सिस्टमचे मुख्य घटक म्हणून वॉटर चिलर महत्त्वाची भूमिका बजावतात.:

थंड करण्याची आवश्यकता: लिथोग्राफी मशीन्स एक्सपोजर दरम्यान तापमानातील चढउतारांबद्दल अत्यंत संवेदनशील असतात, त्यामुळे अत्यंत अचूक आणि स्थिर तापमान नियंत्रण प्रदान करणारे वॉटर चिलर आवश्यक असतात.

चिलरची कार्ये: थंड पाण्याचे प्रसारण करून, चिलर ऑपरेशन दरम्यान निर्माण होणारी उष्णता प्रभावीपणे नष्ट करतात, लेसर उपकरणे इष्टतम तापमान श्रेणीत ठेवतात आणि लिथोग्राफी प्रक्रियेत अचूकता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करतात.

TEYU चिलर लिथोग्राफी मशीनसाठी व्यावसायिक कूलिंग सोल्यूशन्स ऑफर करते

TEYU CWUP मालिका अल्ट्राफास्ट लेसर चिलर लिथोग्राफी मशीनसाठी अचूक आणि स्थिर तापमान नियंत्रण प्रदान करू शकतात. द चिलर मॉडेल CWUP-20ANP तापमान स्थिरता प्राप्त करते ±0.08°सी, अचूक उत्पादनासाठी अत्यंत कार्यक्षम शीतकरण प्रदान करते.

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या अचूक जगात, लिथोग्राफी मशीन्स ही मायक्रोसर्किट पॅटर्नच्या हस्तांतरणासाठी मुख्य उपकरणे आहेत. तंत्रज्ञानाच्या प्रगतीसह, क्रिप्टन फ्लोराइड लिथोग्राफी मशीन आणि आर्गॉन फ्लोराइड लिथोग्राफी मशीन त्यांच्या उत्कृष्ट कामगिरीने उद्योगाच्या विकासाला चालना देण्यासाठी एक महत्त्वाची शक्ती बनली आहेत.

मागील

फोल्डेबल स्मार्टफोन उत्पादनात लेसर तंत्रज्ञानाचा वापर

शेतीमध्ये लेसर तंत्रज्ञानाची भूमिका: कार्यक्षमता आणि शाश्वतता वाढवणे

पुढे