ቋንቋ

ሰበር ዜና፡ MIIT የሀገር ውስጥ DUV ሊቶግራፊ ማሽኖችን በ≤8nm ተደራቢ ትክክለኛነት ያስተዋውቃል

የMIIT's 2024 መመሪያዎች ለ28nm+ ቺፕ ማምረቻ የሙሉ ሂደት አካባቢያዊነትን ያበረታታሉ፣ ይህም ወሳኝ የቴክኖሎጂ ምዕራፍ። ቁልፍ እድገቶች KrF እና ArF የሊቶግራፊ ማሽኖችን ያካትታሉ፣ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸውን ወረዳዎች ማንቃት እና የኢንዱስትሪ በራስ መተማመንን ያሳድጋል። ለእነዚህ ሂደቶች ትክክለኛ የሙቀት ቁጥጥር አስፈላጊ ነው፣ ከ TEYU CWUP የውሃ ማቀዝቀዣዎች ጋር በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የተረጋጋ አፈፃፀምን ያረጋግጣል።

2024-12-20

በቅርብ ወራት ውስጥ የኢንዱስትሪ እና የኢንፎርሜሽን ቴክኖሎጂ ሚኒስቴር (MIIT) "የመጀመሪያ (የመጀመሪያ) ዋና ዋና ቴክኒካል መሳሪያዎች (2024 እትም)" ማስተዋወቅ እና አተገባበር መመሪያዎችን አውጥቷል. ይህ ከ 28nm በላይ ለሆኑ አንጓዎች የጎለመሱ ቺፕ ማምረቻ ሙሉ ሂደትን ወደ አከባቢነት መንገዱን ይከፍታል!

ምንም እንኳን የ 28nm ቴክኖሎጂ እጅግ በጣም ጥሩ ባይሆንም ከዝቅተኛ እስከ መካከለኛ-መጨረሻ እና ከመካከለኛ እስከ ከፍተኛ-ጫፍ ቺፕስ መካከል ያለው የመለያያ መስመር ትልቅ ጠቀሜታ አለው። ከላቁ ሲፒዩዎች፣ ጂፒዩዎች እና AI ቺፖች በተጨማሪ አብዛኛዎቹ የኢንዱስትሪ ደረጃ ቺፕስ በ28nm ወይም ከዚያ በላይ በሆኑ ቴክኖሎጂዎች ላይ ይመሰረታል።

MIIT Promotes Domestic DUV Lithography Machines with ≤8nm Overlay Accuracy

የስራ መርህ፡ በጥልቅ አልትራቫዮሌት ሊቶግራፊ ውስጥ ያሉ እድገቶች

KrF (Krypton Fluoride) እና አርኤፍ (አርጎን ፍሎራይድ) ሊቶግራፊ ማሽኖች በዲፕ አልትራቫዮሌት (DUV) ሊቶግራፊ ምድብ ስር ይወድቃሉ። ሁለቱም በኦፕቲካል ሲስተሞች የታቀዱ የተወሰኑ የብርሃን የሞገድ ርዝመቶችን በሲሊኮን ዋይፈር ፎቶ ተከላካይ ንብርብር ላይ ይጠቀማሉ፣ ውስብስብ የወረዳ ንድፎችን ያስተላልፋሉ።

KrF ሊቶግራፊ ማሽኖች: ለተለያዩ የተቀናጁ የወረዳ ማምረቻ ሂደቶች ተስማሚ የሆነ ከ110nm በታች ጥራቶችን በማሳካት 248nm የሞገድ ርዝመት ያለው የብርሃን ምንጭ ይጠቀሙ።

ArF ሊቶግራፊ ማሽኖች: 193nm የሞገድ ርዝመት ያለው የብርሃን ምንጭ ተጠቀም፣ ለ 65nm ንኡስ ሒደት ቴክኖሎጂዎች ከፍተኛ ጥራት በማቅረብ፣ ጥሩ ወረዳዎችን ለመሥራት ያስችላል።

የቴክኖሎጂ ጠቀሜታ: የኢንዱስትሪ ማሻሻል እና በራስ መተማመን

የሴሚኮንዳክተር ማምረቻዎችን በማሳደግ እና የኢንዱስትሪ ራስን በራስ የማስተዳደርን ሂደት በማሳካት የእነዚህ የሊቶግራፊ ማሽኖች እድገት ትልቅ ምዕራፍ ነው ።:

ቴክኒካዊ ግኝቶች: የKrF እና ArF የሊቶግራፊ ማሽኖች በተሳካ ሁኔታ መፈጠር በከፍተኛ ደረጃ የሊቶግራፊ ቴክኖሎጂ ከፍተኛ መሻሻልን ያሳያል፣ ይህም ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጠንካራ የቴክኒክ ድጋፍ ይሰጣል።

የኢንዱስትሪ ማሻሻያ: ከፍተኛ ትክክለኛ የሊቶግራፊ ማሽኖች በሴሚኮንዳክተር እሴት ሰንሰለት ላይ ፈጠራን በመምራት የበለጠ ውስብስብ እና ከፍተኛ አፈፃፀም የተቀናጁ ወረዳዎችን ለማምረት ያስችላሉ።

ኢኮኖሚያዊ እና ብሄራዊ ደህንነት፡- የውጭ ቴክኖሎጂ ጥገኝነትን በመቀነስ፣ እነዚህ ማሽኖች የሀገር ውስጥ ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪን ራስን መቻልን ያጠናክራሉ፣ ኢኮኖሚያዊ እና የኢንዱስትሪ ደህንነትን ያጠናክራሉ።

የውሃ ማቀዝቀዣ የተረጋጋ የሊቶግራፊ ማሽን አፈፃፀም ቁልፍ

የሊቶግራፊ ሂደትን ጥራት እና ምርትን ለማረጋገጥ ትክክለኛ የሙቀት ቁጥጥር አስፈላጊ ነው. የውሃ ማቀዝቀዣዎች, እንደ ማቀዝቀዣ ስርዓቶች ዋና አካል, ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ:

የማቀዝቀዣ መስፈርቶች: የሊቶግራፊ ማሽኖች በተጋለጡበት ወቅት የሙቀት መጠን መለዋወጥ እጅግ በጣም ስሜታዊ ናቸው, የውሃ ማቀዝቀዣዎች በጣም ትክክለኛ እና የተረጋጋ የሙቀት ቁጥጥርን ያስገድዳሉ.

የ Chillers ተግባራት: ቀዝቃዛ ውሃን በማሰራጨት, ቅዝቃዜዎች በሚሠራበት ጊዜ የሚፈጠረውን ሙቀትን በተሳካ ሁኔታ ያጠፋሉ, የሌዘር መሳሪያዎችን በጥሩ የሙቀት መጠን ውስጥ በመጠበቅ እና በሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ ትክክለኛነት እና አስተማማኝነት ማረጋገጥ.

TEYU Chiller ለሊቶግራፊ ማሽኖች ሙያዊ የማቀዝቀዝ መፍትሄዎችን ይሰጣል

TEYU CWUP ተከታታይ አልትራፋስት ሌዘር ቺለርስ ለሊቶግራፊ ማሽኖች ትክክለኛ እና የተረጋጋ የሙቀት መቆጣጠሪያን ሊያቀርብ ይችላል። የ የቻይለር ሞዴል CWUP-20ANP የሙቀት መረጋጋትን ያገኛል ±0.08°ሐ፣ ለትክክለኛ ማምረቻ በጣም ቀልጣፋ የማቀዝቀዝ አቅርቦት።

በትክክለኛ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ዓለም ውስጥ የሊቶግራፊ ማሽኖች የማይክሮ ሰርክዩት ንድፎችን ለማስተላለፍ ዋና መሳሪያዎች ናቸው. በቴክኖሎጂ እድገት ፣ krypton ፍሎራይድ ሊቶግራፊ ማሽን እና አርጎን ፍሎራይድ ሊቶግራፊ ማሽን በኢንዱስትሪ ልማት የላቀ አፈፃፀም ለማስተዋወቅ ጠቃሚ ኃይል ሆነዋል።

ቅድመ.

በሚታጠፍ የስማርትፎን ማምረቻ ውስጥ የሌዘር ቴክኖሎጂ አተገባበር

የሌዘር ቴክኖሎጂ በግብርና ውስጥ ያለው ሚና፡ ቅልጥፍናን እና ዘላቂነትን ማሳደግ

ቀጥሎም