أخبار عاجلة: وزارة الصناعة وتكنولوجيا المعلومات تُروّج لآلات الطباعة الحجرية DUV المحلية بدقة تراكب ≤8 نانومتر

في الأشهر الأخيرة، أصدرت وزارة الصناعة وتكنولوجيا المعلومات "المبادئ التوجيهية لترويج وتطبيق المعدات التقنية الرئيسية الأولى (إصدار 2024)". يمهد هذا الطريق لتوطين العملية الكاملة لتصنيع الرقائق الناضجة للعقد التي يزيد حجمها عن 28 نانومتر!

على الرغم من أن تقنية 28 نانومتر ليست متطورة، إلا أنها تتمتع بأهمية كبيرة باعتبارها الخط الفاصل بين الرقائق المنخفضة والمتوسطة والرقائق المتوسطة إلى العالية. وبعيدًا عن وحدات المعالجة المركزية المتقدمة ووحدات معالجة الرسومات وشرائح الذكاء الاصطناعي، تعتمد معظم الشرائح الصناعية على تقنيات 28 نانومتر أو أعلى.

مبدأ العمل: التطورات في الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية العميقة

تندرج آلات الطباعة باستخدام فلوريد الكريبتون (KrF) وفلوريد الأرجون (ArF) ضمن فئة الطباعة باستخدام الأشعة فوق البنفسجية العميقة (DUV). يستخدم كلاهما أطوال موجية محددة للضوء يتم إسقاطها من خلال أنظمة بصرية على طبقة المقاومة للضوء في رقاقة السيليكون، مما يؤدي إلى نقل أنماط الدوائر المعقدة.

آلات الطباعة الحجرية KrF: استخدم مصدر ضوء بطول موجي 248 نانومتر، لتحقيق دقة أقل من 110 نانومتر، وهو مناسب لمختلف عمليات تصنيع الدوائر المتكاملة.

آلات الطباعة الحجرية ArF: استخدم مصدر ضوء بطول موجي 193 نانومتر، مما يوفر دقة أعلى لتقنيات المعالجة التي تقل عن 65 نانومتر، مما يتيح تصنيع دوائر أدق.

الأهمية التكنولوجية: ترقية الصناعة والاعتماد على الذات

يمثل تطوير آلات الطباعة الحجرية هذه إنجازًا رئيسيًا في تطوير تصنيع أشباه الموصلات وتحقيق الاستقلال الصناعي:

الاختراقات التقنية: يسلط النجاح في إنشاء آلات الطباعة الحجرية KrF وArF الضوء على التقدم الكبير في تكنولوجيا الطباعة الحجرية المتطورة، مما يوفر دعماً فنياً قوياً لتصنيع أشباه الموصلات.

ترقية الصناعة: تتيح آلات الطباعة الحجرية عالية الدقة إنتاج دوائر متكاملة أكثر تعقيدًا وعالية الأداء، مما يؤدي إلى دفع الابتكار عبر سلسلة قيمة أشباه الموصلات بأكملها.

الأمن الاقتصادي والقومي: من خلال تقليل الاعتماد على التكنولوجيا الأجنبية، تعمل هذه الآلات على تعزيز الاكتفاء الذاتي لصناعة أشباه الموصلات المحلية، مما يعزز الأمن الاقتصادي والصناعي.

مبرد مياه :مفتاح الأداء المستقر لآلة الطباعة الحجرية

يعد التحكم الدقيق في درجة الحرارة أمرًا ضروريًا لضمان جودة وإنتاجية عملية الطباعة الحجرية. تلعب مبردات المياه، باعتبارها مكونات أساسية لأنظمة التبريد، دورًا حيويًا:

متطلبات التبريد: تتميز آلات الطباعة الحجرية بحساسيتها الشديدة لتقلبات درجات الحرارة أثناء التعرض، مما يستلزم وجود مبردات مياه توفر التحكم في درجة الحرارة بدقة عالية وثبات.

وظائف المبردات: من خلال توزيع مياه التبريد، تعمل المبردات على تبديد الحرارة الناتجة أثناء التشغيل بشكل فعال، مما يحافظ على معدات الليزر ضمن نطاق درجة الحرارة الأمثل ويضمن الدقة والموثوقية في عملية الطباعة الحجرية.

تقدم شركة TEYU Chiller حلول تبريد احترافية لآلات الطباعة الحجرية

يمكن لمبردات الليزر فائقة السرعة من سلسلة TEYU CWUP توفير التحكم الدقيق والمستقر في درجة الحرارة لآلات الطباعة الحجرية. ال مبرد طراز CWUP-20ANP يحقق استقرار درجة الحرارة ±0.08°ج- توفير تبريد عالي الكفاءة للتصنيع الدقيق.

في عالم تصنيع أشباه الموصلات الدقيق، تعد آلات الطباعة الحجرية الأجهزة الأساسية لنقل أنماط الدوائر الدقيقة. مع تقدم التكنولوجيا، أصبحت آلة الطباعة الحجرية بفلوريد الكريبتون وآلة الطباعة الحجرية بفلوريد الأرجون قوة مهمة لتعزيز تطوير الصناعة بأدائها الممتاز.