Ultime nutizie: U MIIT prumove macchine di litografia DUV domestiche cù una precisione di sovrapposizione ≤8nm

In l'ultimi mesi, u Ministeru di l'Industria è di e Tecnulugie di l'Infurmazione (MIIT) hà publicatu e "Linee Guida per a Prumuzione è l'Applicazione di e Prime (Set) Attrezzature Tecniche Maggiori (Edizione 2024)". Questu apre a strada à a lucalizazione cumpleta di u prucessu di fabricazione di chip maturi per i nodi sopra i 28 nm!

Ancu s'è a tecnulugia di 28 nm ùn hè micca d'avanguardia, hà una impurtanza significativa cum'è a linea di divisione trà i chip di fascia bassa-media è di fascia media-alta. À parte i CPU avanzati, e GPU è i chip AI, a maiò parte di i chip di qualità industriale si basanu nantu à tecnulugie di 28 nm o superiori.

Principiu di funziunamentu: Avanzamenti in a litografia ultravioletta prufonda

E macchine di litografia KrF (fluoruru di kriptonu) è ArF (fluoruru d'argonu) appartenenu à a categuria di litografia ultravioletta prufonda (DUV). Tramindui utilizanu lunghezze d'onda di luce specifiche prughjettate attraversu sistemi ottici nantu à u stratu di fotoresist di una cialda di siliciu, trasferendu mudelli di circuiti intricati.

Macchine di litografia KrF: Utilizanu una fonte di luce di lunghezza d'onda di 248 nm, ottenendu risoluzioni inferiori à 110 nm, adatte per diversi prucessi di fabricazione di circuiti integrati.

Macchine di litografia ArF: Utilizanu una fonte di luce di lunghezza d'onda di 193 nm, chì offre una risoluzione più alta per e tecnulugie di prucessu sub-65 nm, chì permettenu a fabricazione di circuiti più fini.

Significanza Tecnologica: Migliuramentu di l'Industria è Autosufficienza

U sviluppu di ste macchine di litografia marca una tappa impurtante in u prugressu di a fabricazione di semiconduttori è in u raggiungimentu di l'autonomia industriale:

Avanzate tecniche: A creazione riescita di e macchine di litografia KrF è ArF mette in risaltu i progressi significativi in ​​a tecnulugia di litografia di alta gamma, furnendu un supportu tecnicu robustu per a fabricazione di semiconduttori.

Aghjurnamentu di l'industria: E macchine litugrafiche d'alta precisione permettenu a pruduzzione di circuiti integrati più cumplessi è d'altu rendimentu, stimulendu l'innuvazione in tutta a catena di valore di i semiconduttori.

Sicurezza ecunomica è naziunale: Riducendu a dipendenza da a tecnulugia straniera, queste macchine rinfurzanu l'autosufficienza di l'industria naziunale di semiconduttori, rinfurzendu a sicurezza ecunomica è industriale.

Refrigeratore d'acqua : A chjave per una prestazione stabile di a macchina litografica

Un cuntrollu precisu di a temperatura hè essenziale per assicurà a qualità è u rendimentu di u prucessu di litografia. I refrigeratori d'acqua, cum'è cumpunenti principali di i sistemi di raffreddamentu, ghjocanu un rolu vitale:

Requisiti di raffreddamentu: E macchine di litografia sò estremamente sensibili à e fluttuazioni di temperatura durante l'esposizione, ciò chì richiede refrigeratori d'acqua chì furniscenu un cuntrollu di temperatura assai precisu è stabile.

Funzioni di i refrigeratori: Circulendu l'acqua di raffreddamentu, i refrigeratori dissipanu efficacemente u calore generatu durante u funziunamentu, mantenendu l'equipaggiu laser in un intervallu di temperatura ottimale è assicurendu precisione è affidabilità in u prucessu di litografia.

TEYU Chiller offre suluzioni di raffreddamentu prufessiunali per macchine di litografia

I refrigeratori laser ultraveloci di a serie TEYU CWUP ponu furnisce un cuntrollu di temperatura precisu è stabile per e macchine di litografia. U mudellu di refrigeratore CWUP-20ANP ottiene una stabilità di temperatura di ±0,08 °C, furnendu un raffreddamentu altamente efficiente per a fabricazione di precisione.

In u mondu precisu di a fabricazione di semiconduttori, e macchine di litografia sò i dispositivi principali per u trasferimentu di mudelli di microcircuiti. Cù l'avanzamentu di a tecnulugia, a macchina di litografia à fluoruru di kriptonu è a macchina di litografia à fluoruru d'argonu sò diventate una forza impurtante per prumove u sviluppu di l'industria cù e so eccellenti prestazioni.