Dènye nouvèl: MIIT ap fè pwomosyon pou machin litografi DUV domestik ki gen yon presizyon sipèpozisyon ≤8nm.

Nan dènye mwa yo, Ministè Endistri ak Teknoloji Enfòmasyon (MIIT) te pibliye "Gid pou Pwomosyon ak Aplikasyon Premye (Ansanm) Ekipman Teknik Enpòtan (Edisyon 2024)". Sa a louvri chemen pou lokalizasyon konplè pwosesis fabrikasyon chip matirite pou nœd ki pi wo pase 28nm!

Malgre ke teknoloji 28nm nan pa dènye kri, li gen yon enpòtans siyifikatif kòm liy divizyon ant chip ki pa chè ak mwayen ak mwayen ak wo nivo. Apa de CPU avanse, GPU, ak chip IA, pifò chip endistriyèl yo baze sou teknoloji 28nm oswa pi wo.

Prensip Fonksyònman: Avansman nan Litografi Iltravyolèt Pwofon

Machin litografi KrF (Kripton Fluoride) ak ArF (Agon Fluoride) yo tonbe anba kategori litografi Deep Ultraviolet (DUV). Toulede itilize longèdonn limyè espesifik ki projeté atravè sistèm optik sou kouch fotorezist yon waf silikon, pou transfere modèl sikwi konplèks.

Machin Litografi KrF: Sèvi ak yon sous limyè longèdonn 248nm, rive nan rezolisyon anba 110nm, apwopriye pou divès pwosesis fabrikasyon sikwi entegre.

Machin Litografi ArF: Itilize yon sous limyè longèdonn 193nm, ki ofri yon rezolisyon ki pi wo pou teknoloji pwosesis sub-65nm, sa ki pèmèt fabrikasyon sikui ki pi rafine.

Enpòtans Teknolojik: Amelyorasyon Endistri ak Oto-sifizans

Devlopman machin litografi sa yo make yon gwo etap enpòtan nan pwogrè fabrikasyon semikondiktè ak nan reyalize otonomi endistriyèl:

Avansman teknik: Kreyasyon siksè machin litografi KrF ak ArF yo mete aksan sou pwogrè siyifikatif nan teknoloji litografi wo nivo, bay yon sipò teknik solid pou fabrikasyon semikondiktè.

Amelyorasyon Endistri a: Machin litografi ki gen gwo presizyon pèmèt pwodiksyon sikui entegre ki pi konplèks ak pèfòmans ki wo, sa ki kondwi inovasyon nan tout chèn valè semikondiktè a.

Sekirite Ekonomik ak Nasyonal: Lè yo diminye depandans sou teknoloji etranje, machin sa yo ranfòse otosifizans endistri semikondiktè domestik la, sa ki ranfòse sekirite ekonomik ak endistriyèl.

Refwadisè Dlo : Kle pou Pèfòmans Machin Litografi ki Stab

Kontwòl tanperati presi esansyèl pou asire kalite ak rannman pwosesis litografi a. Refwadisè dlo yo, kòm eleman esansyèl nan sistèm refwadisman yo, jwe yon wòl vital:

Bezwen Refwadisman: Machin litografi yo trè sansib a varyasyon tanperati pandan ekspozisyon, sa ki mande pou refwadisè dlo ki bay yon kontwòl tanperati trè egzat ak ki estab.

Fonksyon Refwadisè yo: Lè yo sikile dlo refwadisman an, refwadisè yo efektivman disipe chalè ki pwodui pandan operasyon an, kenbe ekipman lazè nan yon seri tanperati optimal epi asire presizyon ak fyab nan pwosesis litografi a.

Refwadisman TEYU yo ofri solisyon refwadisman pwofesyonèl pou machin litografi yo.

Refwadisè lazè ultra rapid seri TEYU CWUP yo ka bay yon kontwòl tanperati presi ak ki estab pou machin litografi yo. Modèl refwadisè CWUP-20ANP a rive nan yon estabilite tanperati ±0.08°C, sa ki bay yon refwadisman trè efikas pou fabrikasyon presizyon.

Nan mond presi fabrikasyon semi-kondiktè a, machin litografi yo se aparèy prensipal pou transfè modèl mikrosikwi yo. Avèk avansman teknoloji a, machin litografi fliyò kripton ak machin litografi fliyò agon vin tounen yon fòs enpòtan pou ankouraje devlopman endistri a grasa pèfòmans ekselan yo.