Dènye nouvèl: MIIT ap fè pwomosyon pou machin litografi DUV domestik ki gen yon presizyon sipèpozisyon ≤8nm.

Nan dènye mwa yo, Ministè Endistri ak Teknoloji Enfòmasyon (MIIT) te pibliye "Gid pou Pwomosyon ak Aplikasyon Premye (Ansanm) Gwo Ekipman Teknik (Edisyon 2024)". Sa a louvri chemen pou lokalizasyon konplè pwosesis fabrikasyon chip matirite pou nœd ki pi wo pase 28nm!

Malgre ke teknoloji 28nm nan pa dènye kri, li gen yon enpòtans siyifikatif kòm liy divizyon ant chip ki pa chè ak mwayen ak mwayen-wo nivo. Apa de CPU avanse, GPU, ak chip IA, pifò chip klas endistriyèl yo depann sou teknoloji 28nm oswa pi wo.

Prensip Fonksyònman: Avansman nan Litografi Iltravyolèt Pwofon

Machin litografi KrF (fliyòd kripton) ak ArF (fliyòd agon) yo tonbe anba kategori litografi iltravyolèt pwofon (DUV). Tou de itilize longèdonn limyè espesifik ki projeté atravè sistèm optik sou kouch fotorezist yon wafer Silisyòm, pou transfere modèl sikwi konplike.

Machin Litografi KrF: Sèvi ak yon sous limyè longèdonn 248nm, pou rive nan rezolisyon anba 110nm, apwopriye pou divès pwosesis fabrikasyon sikwi entegre.

Machin Litografi ArF yo: Sèvi ak yon sous limyè ak yon longèdonn 193nm, ki ofri yon rezolisyon ki pi wo pou teknoloji pwosesis sub-65nm, sa ki pèmèt fabrikasyon sikui ki pi rafine.

Enpòtans Teknolojik: Amelyorasyon Endistri ak Oto-sifizans

Devlopman machin litografi sa yo make yon gwo etap enpòtan nan avansman fabrikasyon semikondiktè ak nan reyalize otonomi endistriyèl.:

Avansman teknik: Siksè kreyasyon machin litografi KrF ak ArF yo mete aksan sou pwogrè siyifikatif nan teknoloji litografi dènye kri, epi bay yon sipò teknik solid pou fabrikasyon semi-kondiktè.

Amelyorasyon Endistri: Machin litografi ki gen gwo presizyon pèmèt pwodiksyon sikui entegre ki pi konplèks ak pèfòmans ki wo, sa ki kondwi inovasyon nan tout chèn valè semikondiktè a.

Sekirite Ekonomik ak Nasyonal: Lè yo diminye depandans sou teknoloji etranje, machin sa yo ranfòse otosifizans endistri semikondiktè domestik la, sa ki ranfòse sekirite ekonomik ak endistriyèl.

Refwadisè Dlo Kle pou yon pèfòmans machin litografi ki estab

Kontwòl tanperati presi esansyèl pou asire kalite ak rannman pwosesis litografi a. Refwadisè dlo, kòm eleman debaz nan sistèm refwadisman, jwe yon wòl vital.:

Kondisyon Refwadisman: Machin litografi yo trè sansib a varyasyon tanperati pandan ekspozisyon, sa ki nesesite refwadisè dlo ki bay yon kontwòl tanperati trè egzat ak ki estab.

Fonksyon Refwadisman yo: Lè yo sikile dlo refwadisman an, refwadisè yo efektivman disipe chalè ki pwodui pandan operasyon an, kenbe ekipman lazè a nan yon seri tanperati optimal epi asire presizyon ak fyab nan pwosesis litografi a.

Refwadisman TEYU yo ofri solisyon refwadisman pwofesyonèl pou machin litografi yo.

Refwadisè lazè ultra rapid seri TEYU CWUP yo ka bay yon kontwòl tanperati presi ak ki estab pou machin litografi yo. La modèl refrijerasyon CWUP-20ANP reyalize estabilite tanperati a ±0.08°C, bay yon refwadisman trè efikas pou fabrikasyon presizyon.

Nan mond presi fabrikasyon semi-kondiktè yo, machin litografi yo se aparèy prensipal pou transfè modèl mikrosikwi yo. Avèk avansman teknoloji a, machin litografi fliyò kripton ak machin litografi fliyò agon vin tounen yon fòs enpòtan pou ankouraje devlopman endistri a ak pèfòmans ekselan yo.