خبر فوری: MIIT دستگاه‌های لیتوگرافی DUV داخلی با دقت پوشش ≤8 نانومتر را تبلیغ می‌کند

در ماه‌های اخیر، وزارت صنعت و فناوری اطلاعات (MIIT) «دستورالعمل‌های ترویج و کاربرد اولین (مجموعه) تجهیزات فنی اصلی (نسخه 2024)» را منتشر کرد. این امر راه را برای بومی‌سازی کامل فرآیند تولید تراشه‌های بالغ برای گره‌های بالاتر از 28 نانومتر هموار می‌کند!

اگرچه فناوری ۲۸ نانومتری پیشرفته نیست، اما به عنوان مرز بین تراشه‌های ارزان تا میان‌رده و میان‌رده تا بالارده از اهمیت بالایی برخوردار است. گذشته از پردازنده‌های مرکزی پیشرفته، پردازنده‌های گرافیکی و تراشه‌های هوش مصنوعی، اکثر تراشه‌های صنعتی به فناوری‌های ۲۸ نانومتری یا بالاتر متکی هستند.

اصول کار: پیشرفت‌ها در لیتوگرافی فرابنفش عمیق

دستگاه‌های لیتوگرافی KrF (کریپتون فلوراید) و ArF (آرگون فلوراید) در دسته لیتوگرافی فرابنفش عمیق (DUV) قرار می‌گیرند. هر دو از طول موج‌های نوری خاصی که از طریق سیستم‌های نوری بر روی لایه فوتورزیست یک ویفر سیلیکونی تابانده می‌شوند، استفاده می‌کنند و الگوهای مداری پیچیده را منتقل می‌کنند.

دستگاه‌های لیتوگرافی KrF: از منبع نوری با طول موج ۲۴۸ نانومتر استفاده می‌کنند و به وضوح زیر ۱۱۰ نانومتر دست می‌یابند که برای فرآیندهای مختلف تولید مدار مجتمع مناسب است.

دستگاه‌های لیتوگرافی ArF: از منبع نوری با طول موج ۱۹۳ نانومتر استفاده می‌کنند که وضوح بالاتری را برای فناوری‌های فرآیند زیر ۶۵ نانومتر ارائه می‌دهد و امکان ساخت مدارهای ظریف‌تر را فراهم می‌کند.

اهمیت تکنولوژیکی: ارتقاء صنعت و خوداتکایی

توسعه این دستگاه‌های لیتوگرافی، نقطه عطفی بزرگ در پیشرفت تولید نیمه‌هادی‌ها و دستیابی به استقلال صنعتی است:

پیشرفت‌های فنی: ساخت موفقیت‌آمیز ماشین‌های لیتوگرافی KrF و ArF پیشرفت قابل توجهی را در فناوری لیتوگرافی پیشرفته برجسته می‌کند و پشتیبانی فنی قوی برای تولید نیمه‌هادی‌ها فراهم می‌کند.

ارتقاء صنعت: دستگاه‌های لیتوگرافی با دقت بالا، تولید مدارهای مجتمع پیچیده‌تر و با کارایی بالا را امکان‌پذیر می‌کنند و نوآوری را در کل زنجیره ارزش نیمه‌هادی‌ها هدایت می‌کنند.

امنیت اقتصادی و ملی: این ماشین‌ها با کاهش وابستگی به فناوری خارجی، خودکفایی صنعت نیمه‌هادی داخلی را تقویت کرده و امنیت اقتصادی و صنعتی را تقویت می‌کنند.

چیلر آبی : کلید عملکرد پایدار دستگاه لیتوگرافی

کنترل دقیق دما برای تضمین کیفیت و بازده فرآیند لیتوگرافی ضروری است. چیلرهای آبی، به عنوان اجزای اصلی سیستم‌های خنک‌کننده، نقش حیاتی در موارد زیر ایفا می‌کنند:

الزامات خنک‌کننده: دستگاه‌های لیتوگرافی به نوسانات دما در طول نوردهی بسیار حساس هستند و به چیلرهای آبی نیاز دارند که کنترل دمای بسیار دقیق و پایداری را ارائه دهند.

عملکرد چیلرها: چیلرها با گردش آب خنک‌کننده، گرمای تولید شده در حین کار را به طور مؤثر دفع می‌کنند و تجهیزات لیزر را در محدوده دمایی بهینه نگه می‌دارند و دقت و قابلیت اطمینان در فرآیند لیتوگرافی را تضمین می‌کنند.

چیلر TEYU راهکارهای خنک‌کننده حرفه‌ای برای دستگاه‌های لیتوگرافی ارائه می‌دهد

چیلرهای لیزر فوق سریع سری TEYU CWUP می‌توانند کنترل دمای دقیق و پایداری را برای دستگاه‌های لیتوگرافی فراهم کنند. چیلر مدل CWUP-20ANP به پایداری دمایی ±0.08 درجه سانتیگراد دست می‌یابد و خنک‌سازی بسیار کارآمدی را برای تولید دقیق ارائه می‌دهد.

در دنیای دقیق تولید نیمه‌هادی‌ها، دستگاه‌های لیتوگرافی دستگاه‌های اصلی برای انتقال الگوهای ریزمدار هستند. با پیشرفت فناوری، دستگاه لیتوگرافی کریپتون فلوراید و دستگاه لیتوگرافی آرگون فلوراید با عملکرد عالی خود به نیروی مهمی برای ارتقای توسعه صنعت تبدیل شده‌اند.