دستورالعمل‌های MIIT برای سال ۲۰۲۴، بومی‌سازی کامل فرآیند تولید تراشه‌های ۲۸ نانومتری+ را ترویج می‌دهد که یک نقطه عطف مهم در فناوری محسوب می‌شود. پیشرفت‌های کلیدی شامل ماشین‌های لیتوگرافی KrF و ArF می‌شود که امکان ساخت مدارهای با دقت بالا را فراهم کرده و خوداتکایی صنعت را افزایش می‌دهد. کنترل دقیق دما برای این فرآیندها حیاتی است، و چیلرهای آبی TEYU CWUP عملکرد پایدار را در تولید نیمه‌هادی تضمین می‌کنند.
خبر فوری: MIIT دستگاه‌های لیتوگرافی DUV داخلی با دقت پوشش ≤8 نانومتر را تبلیغ می‌کند
2024-12-20
در ماه‌های اخیر، وزارت صنعت و فناوری اطلاعات (MIIT) «دستورالعمل‌های ارتقاء و کاربرد تجهیزات فنی اصلی (مجموعه) (نسخه 2024)» را منتشر کرد. این امر راه را برای بومی‌سازی کامل فرآیند تولید تراشه‌های بالغ برای گره‌های بالاتر از 28 نانومتر هموار می‌کند!
اگرچه فناوری ۲۸ نانومتری خیلی پیشرفته نیست، اما به عنوان مرز بین تراشه‌های ارزان‌قیمت تا میان‌رده و میان‌رده تا گران‌قیمت، اهمیت زیادی دارد. گذشته از پردازنده‌های مرکزی پیشرفته، پردازنده‌های گرافیکی و تراشه‌های هوش مصنوعی، اکثر تراشه‌های صنعتی به فناوری‌های ۲۸ نانومتری یا بالاتر متکی هستند.
اصول کار: پیشرفت‌ها در لیتوگرافی فرابنفش عمیق
دستگاه‌های لیتوگرافی KrF (کریپتون فلوراید) و ArF (آرگون فلوراید) در دسته لیتوگرافی فرابنفش عمیق (DUV) قرار می‌گیرند. هر دو از طول موج‌های نوری خاصی که از طریق سیستم‌های نوری بر روی لایه فوتورزیست یک ویفر سیلیکونی تابانده می‌شوند، استفاده می‌کنند و الگوهای مداری پیچیده‌ای را منتقل می‌کنند.
دستگاه‌های لیتوگرافی KrF: از منبع نوری با طول موج ۲۴۸ نانومتر استفاده کنید که به وضوح زیر ۱۱۰ نانومتر دست می‌یابد و برای فرآیندهای مختلف تولید مدار مجتمع مناسب است.
دستگاه‌های لیتوگرافی ArF: از منبع نوری با طول موج ۱۹۳ نانومتر استفاده کنید که وضوح بالاتری را برای فناوری‌های فرآیند زیر ۶۵ نانومتر ارائه می‌دهد و امکان ساخت مدارهای ظریف‌تر را فراهم می‌کند.
اهمیت تکنولوژیکی: ارتقاء صنعت و خوداتکایی
توسعه این دستگاه‌های لیتوگرافی، نقطه عطفی در پیشرفت تولید نیمه‌هادی‌ها و دستیابی به استقلال صنعتی است.:
پیشرفت‌های فنی: ساخت موفقیت‌آمیز ماشین‌های لیتوگرافی KrF و ArF پیشرفت قابل توجهی را در فناوری لیتوگرافی پیشرفته برجسته می‌کند و پشتیبانی فنی قوی برای تولید نیمه‌هادی‌ها فراهم می‌کند.
ارتقاء صنعت: دستگاه‌های لیتوگرافی با دقت بالا، تولید مدارهای مجتمع پیچیده‌تر و با کارایی بالا را امکان‌پذیر می‌کنند و نوآوری را در کل زنجیره ارزش نیمه‌هادی هدایت می‌کنند.
امنیت اقتصادی و ملی: این ماشین‌ها با کاهش وابستگی به فناوری خارجی، خودکفایی صنعت نیمه‌هادی داخلی را تقویت کرده و امنیت اقتصادی و صنعتی را تقویت می‌کنند.
چیلر آبی کلید عملکرد پایدار دستگاه لیتوگرافی
کنترل دقیق دما برای اطمینان از کیفیت و بازده فرآیند لیتوگرافی ضروری است. چیلرهای آبی، به عنوان اجزای اصلی سیستم‌های خنک‌کننده، نقش حیاتی دارند.:
الزامات خنک‌کننده: دستگاه‌های لیتوگرافی به نوسانات دما در طول نوردهی بسیار حساس هستند و به چیلرهای آبی نیاز دارند که کنترل دمای بسیار دقیق و پایداری را ارائه دهند.
عملکرد چیلرها: چیلرها با گردش آب خنک‌کننده، گرمای تولید شده در حین کار را به طور مؤثر دفع می‌کنند و تجهیزات لیزر را در محدوده دمایی بهینه نگه می‌دارند و دقت و قابلیت اطمینان در فرآیند لیتوگرافی را تضمین می‌کنند.
چیلر TEYU راهکارهای خنک‌کننده حرفه‌ای برای دستگاه‌های لیتوگرافی ارائه می‌دهد
چیلرهای لیزری فوق سریع سری TEYU CWUP می‌توانند کنترل دمای دقیق و پایداری را برای دستگاه‌های لیتوگرافی فراهم کنند. The چیلر مدل CWUP-20ANP به پایداری دمایی دست می‌یابد ±0.08°C، ارائه خنک‌کننده بسیار کارآمد برای تولید دقیق.
در دنیای دقیق تولید نیمه‌هادی‌ها، دستگاه‌های لیتوگرافی دستگاه‌های اصلی برای انتقال الگوهای ریزمدار هستند. با پیشرفت فناوری، دستگاه لیتوگرافی کریپتون فلوراید و دستگاه لیتوگرافی آرگون فلوراید با عملکرد عالی خود به نیروی مهمی برای ارتقای توسعه صنعت تبدیل شده‌اند.
ReviewsNumber of comments: {{ page.total }}
I want to comment?
{{item.nickname ? (item.nickname.slice(0, 2) + '*****') : item.source === 1 ? 'mall buyer' : '--'}}
{{item.comment_time}}
Review in the {{item.country}}
Reviews
Merchant
{{replyItem.nickname ? (replyItem.nickname.slice(0, 2) + '*****') : replyItem.source === 1 ? 'mall buyer' : '--'}}
{{replyItem.parent_nickname ? (replyItem.parent_nickname.slice(0, 2) + '*****') : '--'}}
{{replyItem.is_merchant_reply === 1 ? replyItem.reply_time : replyItem.comment_time}}
Review in the {{replyItem.country}}
Reviews
No customer reviews
وقتی به ما نیاز دارید، ما اینجا هستیم.
لطفا فرم را تکمیل کنید تا با ما تماس بگیرید، ما خوشحال خواهیم شد که به شما کمک کنیم.
کپی‌رایت © 2025 TEYU S&چیلر |
نقشه سایت
سیاست حفظ حریم خصوصی