Son aylarda Sənaye və İnformasiya Texnologiyaları Nazirliyi (MIIT) "Birinci (Set) Əsas Texniki Avadanlığın Təşviqi və Tətbiqi üçün Təlimat (2024-cü il nəşri)" nəşr etdi. Bu, 28nm-dən yuxarı qovşaqlar üçün yetkin çip istehsalının tam proses lokallaşdırılmasına yol açır!
28nm texnologiya qabaqcıl olmasa da, aşağıdan orta səviyyəyə və ortadan yüksək səviyyəyə qədər olan çipləri ayıran xətt kimi mühüm əhəmiyyət kəsb edir. Qabaqcıl CPU, GPU və AI çiplərindən başqa, əksər sənaye səviyyəli çiplər 28nm və ya daha yüksək texnologiyalara əsaslanır.
![MIIT Promotes Domestic DUV Lithography Machines with ≤8nm Overlay Accuracy]()
İş prinsipi: Dərin ultrabənövşəyi litoqrafiyada irəliləyişlər
KrF (Krypton Fluoride) və ArF (Argon Fluoride) litoqrafiya maşınları Dərin Ultraviyole (DUV) litoqrafiya kateqoriyasına aiddir. Hər ikisi optik sistemlər vasitəsilə silisium vaflinin fotorezist təbəqəsinə proqnozlaşdırılan xüsusi işıq dalğa uzunluqlarından istifadə edərək mürəkkəb dövrə naxışlarını ötürür.
KrF Litoqrafiya Maşınları:
Müxtəlif inteqral sxem istehsalı prosesləri üçün uyğun olan, 110nm-dən aşağı qətnamələrə nail olan 248nm dalğa uzunluğunda işıq mənbəyindən istifadə edin.
ArF Litoqrafiya Maşınları:
193nm dalğa uzunluğunda işıq mənbəyindən istifadə edin, sub-65nm proses texnologiyaları üçün daha yüksək ayırdetmə təklif edir və daha incə sxemlərin hazırlanmasına imkan verir.
Texnoloji Əhəmiyyət: Sənayenin Təkmilləşdirilməsi və Özünə Güvənmə
Bu litoqrafiya maşınlarının inkişafı yarımkeçirici istehsalının inkişafında və sənaye muxtariyyətinin əldə edilməsində mühüm mərhələni qeyd edir.:
Texniki irəliləyişlər:
KrF və ArF litoqrafiya maşınlarının uğurlu yaradılması yarımkeçiricilərin istehsalı üçün güclü texniki dəstək təmin edən yüksək səviyyəli litoqrafiya texnologiyasında əhəmiyyətli irəliləyişləri vurğulayır.
Sənaye Təkmilləşdirməsi:
Yüksək dəqiqlikli litoqrafiya maşınları daha mürəkkəb və yüksək performanslı inteqral sxemlərin istehsalına imkan verir və bütün yarımkeçirici dəyər zəncirində innovasiyaya təkan verir.
İqtisadi və Milli Təhlükəsizlik: Xarici texnologiyadan asılılığı azaltmaqla, bu maşınlar yerli yarımkeçirici sənayenin özünü təmin etmə qabiliyyətini gücləndirir, iqtisadi və sənaye təhlükəsizliyini gücləndirir.
Su soyuducu
: Stabil Litoqrafiya Maşının Performansının Açarı
Litoqrafiya prosesinin keyfiyyətini və məhsuldarlığını təmin etmək üçün dəqiq temperatur nəzarəti vacibdir. Su soyuducuları soyutma sistemlərinin əsas komponentləri kimi mühüm rol oynayır:
Soyutma tələbləri:
Litoqrafiya maşınları məruz qalma zamanı temperatur dəyişkənliyinə son dərəcə həssasdır və yüksək dəqiqlik və sabit temperatur nəzarətini təmin edən su soyuducularına ehtiyac duyur.
Soyuducuların funksiyaları:
Soyuducu suyun dövriyyəsi ilə soyuducular əməliyyat zamanı yaranan istiliyi effektiv şəkildə dağıtır, lazer avadanlığını optimal temperatur diapazonunda saxlayır və litoqrafiya prosesində dəqiqliyi və etibarlılığı təmin edir.
![Ultrafast laser chiller CWUP-20ANP with 0.08℃ stability]()
TEYU Çiller Litoqrafiya Maşınları üçün Peşəkar Soyutma Həlləri Təklif edir
TEYU CWUP seriyalı ultrasürətli lazer soyuducuları litoqrafiya maşınları üçün dəqiq və sabit temperatur nəzarətini təmin edə bilər. The
soyuducu modeli CWUP-20ANP
temperatur sabitliyinə nail olur ±0.08°C, dəqiq istehsal üçün yüksək səmərəli soyutma təmin edir.
Yarımkeçirici istehsalının dəqiq dünyasında litoqrafiya maşınları mikrosxem nümunələrinin ötürülməsi üçün əsas qurğulardır. Texnologiyanın inkişafı ilə kripton flüorid litoqrafiya maşını və arqon flüorid litoqrafiya maşını əla performansları ilə sənayenin inkişafını təşviq etmək üçün mühüm qüvvəyə çevrilmişdir.