Azken orduko albistea: MIITek ≤8nm-ko gainjartze zehaztasunarekin etxeko DUV litografia makinak sustatzen ditu

Azken hilabeteotan, Industria eta Informazio Teknologia Ministerioak (MIIT) "Lehenengo (multzo) ekipamendu tekniko nagusien sustapen eta aplikaziorako jarraibideak (2024ko edizioa)" argitaratu ditu. Horrek bidea zabaltzen du 28nm-tik gorako nodoetarako txip helduen fabrikazioaren lokalizazio prozesu osoarentzat!

28nm-ko teknologia ez den arren punta-puntakoa, garrantzi handia du behe-erdi mailako eta erdi-goi mailako txipen arteko muga gisa. CPU, GPU eta IA txip aurreratuez gain, industria-mailako txip gehienek 28nm-ko edo teknologia altuagoetan oinarritzen dira.

Funtzionamendu Printzipioa: Litografia Ultramore Sakonean Aurrerapenak

KrF (kripton fluoruroa) eta ArF (argon fluoruroa) litografia makinak ultramore sakoneko (DUV) litografiaren kategorian sartzen dira. Bietako batek sistema optikoen bidez siliziozko oblea baten fotoerresistentzia geruzara proiektatzen diren argi-uhin-luzera espezifikoak erabiltzen ditu, zirkuitu-eredu korapilatsuak transferituz.

KrF Litografia Makinak: 248nm-ko uhin-luzera duen argi-iturri bat erabiltzen dute, 110nm-tik beherako bereizmenak lortuz, zirkuitu integratuetarako hainbat fabrikazio-prozesutarako egokiak.

ArF Litografia Makinak: 193nm-ko uhin-luzera duen argi-iturri bat erabiltzen dute, 65nm-tik beherako prozesu-teknologietarako bereizmen handiagoa eskainiz, zirkuitu finagoak fabrikatzea ahalbidetuz.

Garrantzi teknologikoa: Industriaren hobekuntza eta autosufizientzia

Litografia-makina hauen garapenak mugarri garrantzitsua markatzen du erdieroaleen fabrikazioa aurrera eramateko eta industria-autonomia lortzeko:

Aurrerapen teknikoak: KrF eta ArF litografia makinen sorrerak goi-mailako litografia teknologian izandako aurrerapen nabarmena nabarmentzen du, erdieroaleen fabrikaziorako laguntza tekniko sendoa eskainiz.

Industriaren hobekuntza: litografia-makinek zirkuitu integratu konplexuagoak eta errendimendu handikoagoak ekoiztea ahalbidetzen dute, erdieroaleen balio-kate osoan berrikuntza bultzatuz.

Segurtasun Ekonomikoa eta Nazionala: Atzerriko teknologiarekiko mendekotasuna murriztuz, makina hauek etxeko erdieroaleen industriaren autosufizientzia indartzen dute, segurtasun ekonomikoa eta industriala indartuz.

Ur-hozkailua : litografia-makinaren errendimendu egonkorrerako gakoa

Litografia prozesuaren kalitatea eta errendimendua bermatzeko, tenperaturaren kontrol zehatza ezinbestekoa da. Hozte-sistemen osagai nagusiak direnez, ur-hozkailuek funtsezko zeregina dute:

Hozte-baldintzak: Litografia-makinak oso sentikorrak dira esposizioan zehar tenperatura-gorabeherekiko, eta, beraz, tenperatura-kontrol oso zehatza eta egonkorra eskaintzen duten ur-hozkailuak behar dira.

Hozgailuen funtzioak: Hozte-ura zirkulatuz, hozgailuek funtzionamenduan sortutako beroa eraginkortasunez xahutzen dute, laser-ekipoa tenperatura-tarte optimo batean mantenduz eta litografia-prozesuan zehaztasuna eta fidagarritasuna bermatuz.

TEYU hozkailuek litografia makinetarako hozte-irtenbide profesionalak eskaintzen dituzte

TEYU CWUP serieko laser hozgailu ultra-azkarrek tenperatura-kontrol zehatza eta egonkorra eman dezakete litografia-makinetarako. CWUP-20ANP modeloko hozgailuak ±0,08 °C-ko tenperatura-egonkortasuna lortzen du, doitasun-fabrikaziorako hozte oso eraginkorra eskainiz.

Erdieroaleen fabrikazioaren mundu zehatzean, litografia makinak dira mikrozirkuituen ereduak transferitzeko gailu nagusiak. Teknologiaren aurrerapenarekin, kripton fluorurozko litografia makinak eta argon fluorurozko litografia makinak industriaren garapena sustatzeko indar garrantzitsu bihurtu dira, beren errendimendu bikainari esker.