Azken orduko albistea: MIITek ≤8nm-ko gainjartze zehaztasunarekin etxeko DUV litografia makinak sustatzen ditu

Azken hilabeteotan, Industria eta Informazio Teknologia Ministerioak (MIIT) "Lehen (multzo) ekipamendu tekniko nagusien sustapen eta aplikaziorako jarraibideak (2024ko edizioa)" argitaratu ditu. Horrek bidea zabaltzen du 28nm-tik gorako nodoetarako txipa helduen fabrikazioaren prozesu osoko lokalizaziorako!

28nm-ko teknologia ez den arren punta-puntakoa, garrantzi handia du behe-ertain eta erdi-goi mailako txipen arteko bereizketa-lerro gisa. CPU, GPU eta AI txipa aurreratuez gain, industria-mailako txip gehienek 28nm edo handiagoak diren teknologietan oinarritzen dira.

Funtzionamendu Printzipioa: Litografia Ultramore Sakonean Aurrerapenak

KrF (kripton fluoruroa) eta ArF (argon fluoruroa) litografia makinak ultramore sakoneko (DUV) litografia kategorian sartzen dira. Biek siliziozko oblea baten fotoerresistentzia geruzara sistema optikoen bidez proiektatzen diren argi-uhin-luzera espezifikoak erabiltzen dituzte, zirkuitu-eredu korapilatsuak transferituz.

KrF Litografia Makinak: Erabili 248nm-ko uhin-luzera duen argi-iturri bat, 110nm-tik beherako bereizmenak lortuz, zirkuitu integratuetarako hainbat fabrikazio-prozesutarako egokia.

ArF Litografia Makinak: Erabili 193nm-ko uhin-luzera duen argi-iturri bat, 65nm-tik beherako prozesu-teknologietarako bereizmen handiagoa eskainiz, zirkuitu finagoak fabrikatzeko aukera emanez.

Garrantzi teknologikoa: Industriaren hobekuntza eta autosufizientzia

Litografia-makina hauen garapenak mugarri garrantzitsua markatzen du erdieroaleen fabrikazioa aurrera eramateko eta industria-autonomia lortzeko.:

Aurrerapen teknikoak: KrF eta ArF litografia makinen sorrerak goi-mailako litografia teknologian izandako aurrerapen nabarmena nabarmentzen du, erdieroaleen fabrikaziorako laguntza tekniko sendoa eskainiz.

Industriaren Hobekuntza: Zehaztasun handiko litografia-makinek zirkuitu integratu konplexuagoak eta errendimendu handikoagoak ekoiztea ahalbidetzen dute, erdieroaleen balio-kate osoan berrikuntza bultzatuz.

Segurtasun Ekonomikoa eta Nazionala: Atzerriko teknologiarekiko mendekotasuna murriztuz, makina hauek etxeko erdieroaleen industriaren autosufizientzia indartzen dute, segurtasun ekonomikoa eta industriala indartuz.

Ur-hozkailua Litografia-makinaren errendimendu egonkorrerako gakoa

Litografia-prozesuaren kalitatea eta errendimendua bermatzeko, tenperaturaren kontrol zehatza ezinbestekoa da. Ur-hozkailuak, hozte-sistemen osagai nagusiak direnez, funtsezko zeregina dute:

Hozte-eskakizunak: Litografia makinak oso sentikorrak dira esposizioan zehar tenperaturaren gorabeheren aurrean, eta horrek tenperatura kontrol zehatza eta egonkorra eskaintzen duten ur-hozkailuak behar ditu.

Hozkailuen funtzioak: Hozte-ura zirkulatuz, hozkailuek funtzionamenduan sortutako beroa eraginkortasunez xahutzen dute, laser-ekipoak tenperatura-tarte optimo batean mantenduz eta litografia-prozesuan zehaztasuna eta fidagarritasuna bermatuz.

TEYU hozkailuek litografia makinetarako hozte-irtenbide profesionalak eskaintzen dituzte

TEYU CWUP serieko laser hozgailu ultra-azkarrek tenperatura-kontrol zehatza eta egonkorra eman dezakete litografia-makinetarako. The CWUP-20ANP hozkailu modeloa tenperaturaren egonkortasuna lortzen du ±0.08°C, doitasun-fabrikaziorako hozte oso eraginkorra eskainiz.

Erdieroaleen fabrikazioaren mundu zehatzean, litografia makinak dira mikrozirkuitu ereduak transferitzeko gailu nagusiak. Teknologiaren aurrerapenarekin, kripton fluorurozko litografia-makina eta argon fluorurozko litografia-makina industriaren garapena sustatzeko indar garrantzitsu bihurtu dira, beren errendimendu bikainarekin.