Шуурхай мэдээ: MIIT нь ≤8нм давхаргын нарийвчлал бүхий дотоодын DUV литографийн машинуудыг сурталчилж байна

Сүүлийн саруудад Аж Үйлдвэр, Мэдээллийн Технологийн Яам (ҮХААЯ) "Анхны (иж бүрдэл) гол техникийн тоног төхөөрөмжийг сурталчлах, хэрэглэх заавар (2024 оны хэвлэл)"-ийг гаргасан. Энэ нь 28 нм-ээс дээш зангилааны хувьд боловсорч гүйцсэн чип үйлдвэрлэх процессыг бүрэн нутагшуулах замыг нээж байна!

Хэдийгээр 28 нм технологи нь хамгийн сүүлийн үеийн технологи биш боловч бага ба дунд, дундаас дээд зэрэглэлийн чипүүдийн хооронд хуваагдах шугамын хувьд чухал ач холбогдолтой юм. Дэвшилтэт CPU, GPU болон AI чипүүдээс гадна ихэнх үйлдвэрлэлийн түвшний чипүүд нь 28 нм ба түүнээс дээш технологид тулгуурладаг.

Ажлын зарчим: Гүн хэт ягаан туяаны литографийн дэвшил

KrF (Krypton Fluoride) болон ArF (Argon Fluoride) литографийн машинууд нь гүн хэт ягаан туяаны (DUV) литографийн ангилалд багтдаг. Аль аль нь оптик системээр дамжуулан цахиурын ялтсуудын фоторезист давхарга дээр тодорхой гэрлийн долгионы уртыг ашиглаж, нарийн хэлхээний хэв маягийг дамжуулдаг.

KrF литографийн машин: Төрөл бүрийн нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлийн процесст тохирсон 110 нм-ээс доош нарийвчлалтай 248 нм долгионы урттай гэрлийн эх үүсвэрийг ашиглана уу.

ArF литографийн машин: 193 нм долгионы урттай гэрлийн эх үүсвэрийг ашиглан 65 нм-ээс бага технологийн технологийн хувьд илүү өндөр нарийвчлалыг санал болгож, илүү нарийн хэлхээ үүсгэх боломжтой.

Технологийн ач холбогдол: Аж үйлдвэрийн шинэчлэл, бие даах чадвар

Эдгээр литографийн машинуудын хөгжил нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийг ахиулж, үйлдвэрлэлийн бие даасан байдалд хүрэх томоохон үе шат юм.:

Техникийн нээлтүүд: KrF болон ArF литографийн машиныг амжилттай бүтээсэн нь дээд зэргийн литографийн технологид ихээхэн ахиц дэвшил гарсныг онцолж, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд найдвартай техникийн дэмжлэг үзүүлж байна.

Аж үйлдвэрийн шинэчлэл: Өндөр нарийвчлалтай литографийн машинууд нь илүү нарийн төвөгтэй, өндөр хүчин чадалтай нэгдсэн хэлхээг үйлдвэрлэх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагчийн өртгийн сүлжээг бүхэлд нь инновацийг бий болгодог.

Эдийн засаг, үндэсний аюулгүй байдал: Эдгээр машинууд нь гадаадын технологиос хараат байдлыг бууруулснаар дотоодын хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн бие даасан байдлыг бэхжүүлж, эдийн засаг, үйлдвэрлэлийн аюулгүй байдлыг бэхжүүлдэг.

Ус хөргөгч : Литографийн машины тогтвортой гүйцэтгэлийн түлхүүр

Литографийн үйл явцын чанар, бүтээмжийг хангахын тулд температурыг нарийн хянах нь чухал юм. Усан хөргөгч нь хөргөлтийн системийн үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг болох чухал үүрэг гүйцэтгэдэг:

Хөргөлтийн шаардлага: Литографийн машинууд нь өртөлтийн үед температурын хэлбэлзэлд маш мэдрэмтгий байдаг тул өндөр нарийвчлалтай, тогтвортой температурын хяналтыг хангадаг усны хөргөгчийг шаарддаг.

Чиллерийн функцууд: Хөргөх усыг эргэлтэнд оруулснаар хөргөгч нь ашиглалтын явцад үүссэн дулааныг үр дүнтэй гадагшлуулж, лазер төхөөрөмжийг оновчтой температурын хязгаарт байлгаж, литографийн процессын нарийвчлал, найдвартай байдлыг хангадаг.

TEYU Chiller нь литографийн машинд зориулсан мэргэжлийн хөргөлтийн шийдлийг санал болгож байна

TEYU CWUP цувралын хэт хурдан лазер хөргөгч нь литографийн машинуудын температурыг нарийн, тогтвортой хянах боломжтой. The хөргөлтийн загвар CWUP-20ANP -ийн температурын тогтвортой байдлыг хангадаг ±0.08°C, нарийн үйлдвэрлэлийн өндөр үр ашигтай хөргөлтийг нийлүүлдэг.

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийн ертөнцөд литографийн машинууд нь микро схемийг дамжуулах үндсэн төхөөрөмж юм. Технологийн дэвшлийг дагаад криптон хайлуур жоншны литографийн машин, аргон хайлуур литографийн машин нь маш сайн гүйцэтгэлээрээ салбарын хөгжлийг дэмжих чухал хүч болсон.