ಬ್ರೇಕಿಂಗ್ ನ್ಯೂಸ್: MIIT ≤8nm ಓವರ್‌ಲೇ ನಿಖರತೆಯೊಂದಿಗೆ ದೇಶೀಯ DUV ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳನ್ನು ಉತ್ತೇಜಿಸುತ್ತದೆ.

ಇತ್ತೀಚಿನ ತಿಂಗಳುಗಳಲ್ಲಿ, ಕೈಗಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಮಾಹಿತಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಸಚಿವಾಲಯ (MIIT) "ಮೊದಲ (ಸೆಟ್) ಪ್ರಮುಖ ತಾಂತ್ರಿಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಪ್ರಚಾರ ಮತ್ತು ಅನ್ವಯಕ್ಕಾಗಿ ಮಾರ್ಗಸೂಚಿಗಳನ್ನು (2024 ಆವೃತ್ತಿ)" ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಿದೆ. ಇದು 28nm ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ನೋಡ್‌ಗಳಿಗೆ ಪ್ರಬುದ್ಧ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪೂರ್ಣ-ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಳೀಕರಣಕ್ಕೆ ದಾರಿ ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ!

28nm ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕವಲ್ಲದಿದ್ದರೂ, ಕಡಿಮೆ-ಮಧ್ಯಮ-ಅಂತ್ಯ ಮತ್ತು ಮಧ್ಯಮ-ಉನ್ನತ-ಅಂತ್ಯ ಚಿಪ್‌ಗಳ ನಡುವಿನ ವಿಭಜಿಸುವ ರೇಖೆಯಾಗಿ ಇದು ಗಮನಾರ್ಹ ಪ್ರಾಮುಖ್ಯತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಮುಂದುವರಿದ CPU ಗಳು, GPU ಗಳು ಮತ್ತು AI ಚಿಪ್‌ಗಳನ್ನು ಹೊರತುಪಡಿಸಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಕೈಗಾರಿಕಾ ದರ್ಜೆಯ ಚಿಪ್‌ಗಳು 28nm ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿವೆ.

ಕಾರ್ಯ ತತ್ವ: ಆಳವಾದ ನೇರಳಾತೀತ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯಲ್ಲಿನ ಪ್ರಗತಿಗಳು.

KrF (ಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್) ಮತ್ತು ArF (ಆರ್ಗಾನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್) ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು ಆಳವಾದ ನೇರಳಾತೀತ (DUV) ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ವರ್ಗಕ್ಕೆ ಸೇರುತ್ತವೆ. ಎರಡೂ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಮೂಲಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಪದರದ ಮೇಲೆ ಪ್ರಕ್ಷೇಪಿಸಲಾದ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಬೆಳಕಿನ ತರಂಗಾಂತರಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ, ಸಂಕೀರ್ಣ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ವರ್ಗಾಯಿಸುತ್ತವೆ.

KrF ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು: 248nm ತರಂಗಾಂತರದ ಬೆಳಕಿನ ಮೂಲವನ್ನು ಬಳಸಿ, 110nm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಸಾಧಿಸಿ, ವಿವಿಧ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಆರ್ಎಫ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು: 193 ಎನ್ಎಂ ತರಂಗಾಂತರದ ಬೆಳಕಿನ ಮೂಲವನ್ನು ಬಳಸಿ, 65 ಎನ್ಎಂ ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ನೀಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾದ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.

ತಾಂತ್ರಿಕ ಮಹತ್ವ: ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳ ಉನ್ನತೀಕರಣ ಮತ್ತು ಸ್ವಾವಲಂಬನೆ

ಈ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಮುಂದುವರೆಸುವಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಸ್ವಾಯತ್ತತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುವಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಮೈಲಿಗಲ್ಲನ್ನು ಗುರುತಿಸುತ್ತದೆ:

ತಾಂತ್ರಿಕ ಪ್ರಗತಿಗಳು: ಕೆಆರ್‌ಎಫ್ ಮತ್ತು ಆರ್‌ಎಫ್ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ಯಶಸ್ವಿ ರಚನೆಯು ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿನ ಗಮನಾರ್ಹ ಪ್ರಗತಿಯನ್ನು ಎತ್ತಿ ತೋರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಬಲವಾದ ತಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

ಉದ್ಯಮದ ನವೀಕರಣ: ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಸಂಕೀರ್ಣ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಮೌಲ್ಯ ಸರಪಳಿಯಲ್ಲಿ ನಾವೀನ್ಯತೆಯನ್ನು ಚಾಲನೆ ಮಾಡುತ್ತವೆ.

ಆರ್ಥಿಕ ಮತ್ತು ರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಭದ್ರತೆ: ವಿದೇಶಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಮೇಲಿನ ಅವಲಂಬನೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ಈ ಯಂತ್ರಗಳು ದೇಶೀಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮದ ಸ್ವಾವಲಂಬನೆಯನ್ನು ಬಲಪಡಿಸುತ್ತವೆ, ಆರ್ಥಿಕ ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಭದ್ರತೆಯನ್ನು ಬಲಪಡಿಸುತ್ತವೆ.

ವಾಟರ್ ಚಿಲ್ಲರ್ : ಸ್ಥಿರವಾದ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗೆ ಕೀಲಿಕೈ

ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿಖರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಅತ್ಯಗತ್ಯ. ತಂಪಾಗಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶಗಳಾಗಿ ವಾಟರ್ ಚಿಲ್ಲರ್‌ಗಳು ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವಹಿಸುತ್ತವೆ:

ತಂಪಾಗಿಸುವ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು: ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು ಒಡ್ಡುವಿಕೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯಂತ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರವಾದ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುವ ನೀರಿನ ಚಿಲ್ಲರ್‌ಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ.

ಚಿಲ್ಲರ್‌ಗಳ ಕಾರ್ಯಗಳು: ತಂಪಾಗಿಸುವ ನೀರನ್ನು ಪರಿಚಲನೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ಚಿಲ್ಲರ್‌ಗಳು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಶಾಖವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಹೊರಹಾಕುತ್ತವೆ, ಲೇಸರ್ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಸೂಕ್ತ ತಾಪಮಾನದ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತವೆ.

TEYU ಚಿಲ್ಲರ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ವೃತ್ತಿಪರ ಕೂಲಿಂಗ್ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ

TEYU CWUP ಸರಣಿಯ ಅಲ್ಟ್ರಾಫಾಸ್ಟ್ ಲೇಸರ್ ಚಿಲ್ಲರ್‌ಗಳು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ನಿಖರ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು. ಚಿಲ್ಲರ್ ಮಾದರಿ CWUP-20ANP ±0.08°C ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ, ನಿಖರವಾದ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ನಿಖರವಾದ ಜಗತ್ತಿನಲ್ಲಿ, ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು ಮೈಕ್ರೋ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮಾದರಿಗಳ ವರ್ಗಾವಣೆಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನಗಳಾಗಿವೆ. ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಪ್ರಗತಿಯೊಂದಿಗೆ, ಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಆರ್ಗಾನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು ತಮ್ಮ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯೊಂದಿಗೆ ಉದ್ಯಮದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಉತ್ತೇಜಿಸಲು ಪ್ರಮುಖ ಶಕ್ತಿಯಾಗಿ ಮಾರ್ಪಟ್ಟಿವೆ.