Најнови вести: MIIT промовира домашни DUV литографски машини со точност на преклопување од ≤8nm

Во последните месеци, Министерството за индустрија и информатичка технологија (MIIT) ги издаде „Упатствата за промоција и примена на првата (комплетна) главна техничка опрема (издание 2024)“. Ова го отвора патот за целосна локализација на производството на зрели чипови за јазли над 28nm!

Иако 28nm технологијата не е најсовремена, таа има значајно значење како граница помеѓу чиповите од ниска до средна класа и од средна до висока класа. Освен напредните процесори, графички процесори и чипови со вештачка интелигенција, повеќето чипови од индустриски квалитет се потпираат на 28nm или повисоки технологии.

Принцип на работа: Напредок во длабоката ултравиолетова литографија

Литографските машини KrF (криптон флуорид) и ArF (аргон флуорид) спаѓаат во категоријата литографија со длабок ултравиолетов спектрум (DUV). И двете користат специфични светлосни бранови должини проектирани преку оптички системи врз фоторезистниот слој на силициумска плочка, пренесувајќи сложени шеми на кола.

KrF литографски машини: Користат извор на светлина со бранова должина од 248nm, постигнувајќи резолуции под 110nm, погодни за различни процеси на производство на интегрирани кола.

ArF литографски машини: Користат извор на светлина со бранова должина од 193 nm, што нуди поголема резолуција за процесни технологии под 65 nm, овозможувајќи изработка на пофини кола.

Технолошко значење: Надградба на индустријата и самостојност

Развојот на овие литографски машини претставува голема пресвртница во унапредувањето на производството на полупроводници и постигнувањето индустриска автономија:

Технички откритија: Успешното создавање на KrF и ArF литографски машини означува значаен напредок во технологијата за литографија од висока класа, обезбедувајќи робусна техничка поддршка за производство на полупроводници.

Надградба на индустријата: Машините за литографија со висока прецизност овозможуваат производство на посложени и високо-перформансни интегрирани кола, поттикнувајќи иновации низ целиот синџир на вредност на полупроводниците.

Економска и национална безбедност: Со намалување на зависноста од странска технологија, овие машини ја зајакнуваат самоодржливоста на домашната полупроводничка индустрија, зајакнувајќи ја економската и индустриската безбедност.

Ладилник за вода : Клучот за стабилни перформанси на литографската машина

Прецизната контрола на температурата е од суштинско значење за обезбедување на квалитетот и приносот од процесот на литографија. Ладилниците за вода, како основни компоненти на системите за ладење, играат витална улога:

Потребни услови за ладење: Литографските машини се исклучително чувствителни на температурни флуктуации за време на изложеноста, што бара ладилници за вода кои обезбедуваат високо прецизна и стабилна контрола на температурата.

Функции на ладилниците: Со циркулација на вода за ладење, ладилниците ефикасно ја распрснуваат топлината генерирана за време на работата, одржувајќи ја ласерската опрема во оптимален температурен опсег и обезбедувајќи точност и сигурност во процесот на литографија.

Ладилниците TEYU нудат професионални решенија за ладење за литографски машини

Ултрабрзите ласерски ладилници од серијата TEYU CWUP можат да обезбедат прецизна и стабилна контрола на температурата за литографски машини. Моделот на ладилник CWUP-20ANP постигнува температурна стабилност од ±0,08°C, обезбедувајќи високо ефикасно ладење за прецизно производство.

Во прецизниот свет на производството на полупроводници, литографските машини се основните уреди за пренос на шеми на микрокола. Со напредокот на технологијата, литографските машини со криптон флуорид и литографските машини со аргон флуорид станаа важна сила за промовирање на развојот на индустријата со нивните одлични перформанси.