Warta Pegatna: MIIT Ngamajukeun Mesin Lithografi DUV Doméstik kalayan Akurasi Overlay ≤8nm

Dina sababaraha bulan ayeuna, Kamentrian Perindustrian sareng Téknologi Inpormasi (MIIT) ngaluarkeun "Pedoman Promosi sareng Aplikasi Peralatan Téknis Utama (Set) Utama (Edisi 2024)". Ieu nyayogikeun jalan pikeun lokalisasi prosés pinuh pikeun manufaktur chip dewasa pikeun titik di luhur 28nm!

Sanaos téknologi 28nm henteu canggih, éta penting pisan salaku garis ngabagi antara chip low-to-mid-end sareng mid-to-high-end. Salian ti CPU canggih, GPU, sareng chip AI, kalolobaan chip kelas industri ngandelkeun téknologi 28nm atanapi langkung luhur.

Prinsip Kerja: Kamajuan dina Lithography Ultraviolet Jero

Mesin litografi KrF (Krypton Fluoride) sareng ArF (Argon Fluoride) kalebet dina kategori litografi Deep Ultraviolet (DUV). Duanana ngagunakeun panjang gelombang cahaya husus projected ngaliwatan sistem optik kana lapisan photoresist wafer silikon, mindahkeun pola sirkuit intricate.

Mesin Lithography KrF: Paké sumber cahaya panjang gelombang 248nm, ngahontal resolusi handap 110nm, cocog pikeun sagala rupa prosés manufaktur circuit terpadu.

Mesin Lithography ArF: Anggo sumber cahaya panjang gelombang 193nm, nawiskeun résolusi anu langkung luhur pikeun téknologi prosés sub-65nm, ngamungkinkeun fabrikasi sirkuit anu langkung saé.

Signifikansi Téknologi: Ningkatkeun Industri sareng Mandiri

Ngembangkeun mesin litografi ieu nandaan tonggak penting dina kamajuan manufaktur semikonduktor sareng ngahontal otonomi industri.:

Terobosan Téknis: Penciptaan mesin litografi KrF sareng ArF anu suksés nunjukkeun kamajuan anu signifikan dina téknologi litografi high-end, nyayogikeun dukungan téknis anu kuat pikeun manufaktur semikonduktor.

Ngaronjatkeun Industri: Mesin litografi presisi luhur ngaktifkeun produksi sirkuit terpadu anu langkung kompleks sareng berkinerja luhur, ngajalankeun inovasi dina sadaya ranté nilai semikonduktor.

Ékonomi jeung Kaamanan Nasional: Ku ngurangan gumantungna kana téhnologi asing, mesin ieu nguatkeun swasembada industri semikonduktor domestik, bolstering kaamanan ékonomi jeung industri.

Cai Chiller : Konci pikeun Kinerja Mesin Lithography Stabil

Kontrol suhu anu tepat penting pisan pikeun mastikeun kualitas sareng ngahasilkeun prosés litografi. Chillers cai, salaku komponén inti sistem cooling, maénkeun peran penting:

Cooling Syarat: Mesin Lithography sensitip pisan kana turun naek suhu nalika paparan, merlukeun chillers cai nu nyadiakeun kadali hawa kacida akurat tur stabil.

Fungsi Chillers: Ku ngiderkeun cai cooling, chillers éféktif dissipate panas dihasilkeun salila operasi, ngajaga parabot laser dina rentang hawa optimal sarta mastikeun akurasi jeung reliabilitas dina prosés lithography.

TEYU Chiller Nawiskeun Solusi Cooling Profesional pikeun Mesin Lithography

TEYU CWUP runtuyan ultrafast chillers laser bisa nyadiakeun kadali hawa tepat tur stabil pikeun mesin lithography. The modél chiller CWUP-20ANP ngahontal stabilitas suhu tina ±0.08°C, delivering cooling kacida efisien keur manufaktur precision.

Di dunya tepat manufaktur semikonduktor, mesin lithography mangrupakeun alat inti pikeun mindahkeun pola microcircuit. Kalayan kamajuan téknologi, mesin litografi fluorida kripton sareng mesin litografi fluorida argon parantos janten kakuatan anu penting pikeun ngamajukeun kamekaran industri kalayan kinerja anu saé.