Հրատապ լուր. MIIT-ը խթանում է ≤8 նմ ծածկույթի ճշգրտությամբ տեղական DUV լիտոգրաֆիկ մեքենաները

Վերջին ամիսներին Արդյունաբերության և տեղեկատվական տեխնոլոգիաների նախարարությունը (MIIT) հրապարակել է «Առաջին (հավաքածու) հիմնական տեխնիկական սարքավորումների խթանման և կիրառման ուղեցույցները (2024 թվականի հրատարակություն)»: Սա հիմք է հանդիսանում 28 նմ-ից բարձր հանգույցների համար հասուն չիպերի արտադրության լիարժեք տեղայնացման համար։

Չնայած 28 նմ տեխնոլոգիան առաջադեմ չէ, այն մեծ նշանակություն ունի որպես բաժանարար գիծ ցածրից մինչև միջին և միջինից բարձր դասի չիպերի միջև։ Բացի առաջադեմ պրոցեսորներից, գրաֆիկական պրոցեսորներից և արհեստական բանականության չիպերից, արդյունաբերական կարգի չիպերի մեծ մասը հիմնված է 28 նմ կամ ավելի բարձր տեխնոլոգիաների վրա։

Աշխատանքային սկզբունք. խորը ուլտրամանուշակագույն լիտոգրաֆիայի առաջընթացներ

KrF (կրիպտոնի ֆտորիդ) և ArF (արգոնի ֆտորիդ) լիտոգրաֆիայի մեքենաները դասվում են խորը ուլտրամանուշակագույն (DUV) լիտոգրաֆիայի կատեգորիայի մեջ: Երկուսն էլ օգտագործում են որոշակի լույսի ալիքի երկարություններ, որոնք օպտիկական համակարգերի միջոցով պրոյեկտվում են սիլիցիումային վեֆերի լուսառեզիստային շերտի վրա՝ փոխանցելով բարդ միացման սխեմաների պատկերներ։

KrF լիտոգրաֆիկ մեքենաներ: Օգտագործեք 248 նմ ալիքի երկարությամբ լույսի աղբյուր, որը կարող է ապահովել 110 նմ-ից ցածր լուծաչափ, որը հարմար է տարբեր ինտեգրալ սխեմաների արտադրության գործընթացների համար։

ArF լիտոգրաֆիկ մեքենաներ: Օգտագործեք 193 նմ ալիքի երկարության լույսի աղբյուր, որն ապահովում է ավելի բարձր լուծաչափ 65 նմ-ից ցածր տեխնոլոգիական գործընթացների համար՝ հնարավորություն տալով ստեղծել ավելի նուրբ սխեմաներ։

Տեխնոլոգիական նշանակություն. Արդյունաբերության արդիականացում և ինքնաբավություն

Այս լիտոգրաֆիկ մեքենաների մշակումը կարևորագույն հանգրվան է կիսահաղորդչային արտադրության զարգացման և արդյունաբերական ինքնավարության հասնելու գործում։:

Տեխնիկական առաջընթացներ: KrF և ArF լիտոգրաֆիկ մեքենաների հաջող ստեղծումը ընդգծում է բարձրակարգ լիտոգրաֆիկ տեխնոլոգիայի ոլորտում զգալի առաջընթացը՝ ապահովելով կիսահաղորդչային արտադրության համար ամուր տեխնիկական աջակցություն։

Արդյունաբերության արդիականացում: Բարձր ճշգրտությամբ լիտոգրաֆիկ մեքենաները հնարավորություն են տալիս արտադրել ավելի բարդ և բարձր արդյունավետությամբ ինտեգրալ սխեմաներ՝ խթանելով նորարարությունը կիսահաղորդչային ամբողջ արժեքային շղթայում։

Տնտեսական և ազգային անվտանգություն. Նվազեցնելով կախվածությունը օտարերկրյա տեխնոլոգիաներից, այս մեքենաները ամրապնդում են տեղական կիսահաղորդչային արդյունաբերության ինքնաբավությունը՝ ամրապնդելով տնտեսական և արդյունաբերական անվտանգությունը։

Ջրի սառեցնող սարք Լիտոգրաֆիկ մեքենայի կայուն աշխատանքի բանալին

Լիտոգրաֆիայի գործընթացի որակը և արդյունավետությունը ապահովելու համար անհրաժեշտ է ջերմաստիճանի ճշգրիտ կառավարումը։ Ջրի սառեցուցիչները, որպես սառեցման համակարգերի հիմնական բաղադրիչներ, կարևոր դեր են խաղում:

Սառեցման պահանջներ: Լիտոգրաֆիկ մեքենաները չափազանց զգայուն են ջերմաստիճանի տատանումների նկատմամբ ազդեցության ընթացքում, ինչը պահանջում է ջրի սառեցուցիչներ, որոնք ապահովում են բարձր ճշգրտությամբ և կայուն ջերմաստիճանի կարգավորում:

Սառնարանների գործառույթները: Սառեցնող ջուրը շրջանառելով՝ չիլլերները արդյունավետորեն ցրում են շահագործման ընթացքում առաջացած ջերմությունը՝ պահպանելով լազերային սարքավորումները օպտիմալ ջերմաստիճանի սահմաններում և ապահովելով լիտոգրաֆիայի գործընթացի ճշգրտությունն ու հուսալիությունը։

TEYU սառեցնող սարքերը առաջարկում են լիտոգրաֆիկ մեքենաների համար պրոֆեսիոնալ սառեցման լուծումներ

TEYU CWUP շարքի գերարագ լազերային սառեցուցիչները կարող են ապահովել լիտոգրաֆիկ մեքենաների ճշգրիտ և կայուն ջերմաստիճանի կարգավորում։ The սառեցնող սարքի մոդել CWUP-20ANP ապահովում է ջերմաստիճանի կայունություն ±0.08°C, որն ապահովում է բարձր արդյունավետ սառեցում ճշգրիտ արտադրության համար։

Կիսահաղորդիչների արտադրության ճշգրիտ աշխարհում լիտոգրաֆիկ մեքենաները միկրոսխեմաների նախշերի փոխանցման հիմնական սարքերն են։ Տեխնոլոգիայի զարգացման հետ մեկտեղ, կրիպտոնի ֆտորիդային լիտոգրաֆիկ մեքենան և արգոնի ֆտորիդային լիտոգրաֆիկ մեքենան դարձել են կարևոր ուժ՝ իրենց գերազանց կատարողականությամբ խթանելով արդյունաբերության զարգացումը։