Հրատապ լուր. MIIT-ը խթանում է ≤8 նմ ծածկույթի ճշգրտությամբ տեղական DUV լիտոգրաֆիկ մեքենաները

Վերջին ամիսներին Արդյունաբերության և տեղեկատվական տեխնոլոգիաների նախարարությունը (MIIT) հրապարակել է «Առաջին (հավաքածու) հիմնական տեխնիկական սարքավորումների խթանման և կիրառման ուղեցույցները (2024 թվականի հրատարակություն)»: Սա հիմք է հանդիսանում 28 նմ-ից բարձր հանգույցների համար հասուն չիպերի արտադրության լիարժեք տեղայնացման համար:

Չնայած 28 նմ տեխնոլոգիան առաջադեմ չէ, այն մեծ նշանակություն ունի որպես բաժանարար գիծ ցածրից մինչև միջին և միջինից մինչև բարձրակարգ չիպերի միջև: Բացի առաջադեմ պրոցեսորներից, գրաֆիկական պրոցեսորներից և արհեստական ​​բանականության չիպերից, արդյունաբերական կարգի չիպերի մեծ մասը հիմնված է 28 նմ կամ ավելի բարձր տեխնոլոգիաների վրա:

Աշխատանքային սկզբունք. խորը ուլտրամանուշակագույն լիտոգրաֆիայի առաջընթացներ

KrF (կրիպտոնի ֆտորիդ) և ArF (արգոնի ֆտորիդ) լիտոգրաֆիայի մեքենաները դասվում են խորը ուլտրամանուշակագույն (DUV) լիտոգրաֆիայի շարքին: Երկուսն էլ օգտագործում են լույսի ալիքի երկարություններ, որոնք օպտիկական համակարգերի միջոցով պրոյեկտվում են սիլիցիումային թիթեղի լուսառեզիստային շերտի վրա՝ փոխանցելով բարդ միացման սխեմաներ:

KrF լիտոգրաֆիկ մեքենաներ. Օգտագործում են 248 նմ ալիքի երկարության լույսի աղբյուր, որը հասնում է 110 նմ-ից ցածր լուծաչափերի, հարմար է տարբեր ինտեգրալ սխեմաների արտադրության գործընթացների համար։

ArF լիտոգրաֆիկ մեքենաներ. Օգտագործում են 193 նմ ալիքի երկարության լույսի աղբյուր, որն ապահովում է ավելի բարձր լուծաչափ 65 նմ-ից ցածր տեխնոլոգիական գործընթացների համար՝ հնարավորություն տալով ստեղծել ավելի նուրբ սխեմաներ։

Տեխնոլոգիական նշանակություն. Արդյունաբերության արդիականացում և ինքնաբավություն

Այս լիտոգրաֆիկ մեքենաների մշակումը կարևորագույն հանգրվան է կիսահաղորդչային արտադրության զարգացման և արդյունաբերական ինքնավարության հասնելու գործում։

Տեխնիկական առաջընթացներ. KrF և ArF լիտոգրաֆիկ մեքենաների հաջող ստեղծումը ընդգծում է բարձրակարգ լիտոգրաֆիկ տեխնոլոգիայի զգալի առաջընթացը՝ ապահովելով կիսահաղորդչային արտադրության համար ամուր տեխնիկական աջակցություն։

Արդյունաբերության արդիականացում. Բարձր ճշգրտության լիտոգրաֆիկ մեքենաները հնարավորություն են տալիս արտադրել ավելի բարդ և բարձր արդյունավետությամբ ինտեգրալ սխեմաներ՝ խթանելով նորարարությունը կիսահաղորդչային ամբողջ արժեքային շղթայում։

Տնտեսական և ազգային անվտանգություն. Նվազեցնելով կախվածությունը օտարերկրյա տեխնոլոգիաներից, այս մեքենաները ամրապնդում են տեղական կիսահաղորդչային արդյունաբերության ինքնաբավությունը՝ ամրապնդելով տնտեսական և արդյունաբերական անվտանգությունը։

Ջրի սառեցնող սարք . լիտոգրաֆիկ մեքենայի կայուն աշխատանքի բանալին

Լիտոգրաֆիայի գործընթացի որակը և արդյունավետությունը ապահովելու համար կարևոր է ջերմաստիճանի ճշգրիտ կարգավորումը: Ջրային սառեցուցիչները, որպես սառեցման համակարգերի հիմնական բաղադրիչներ, կարևոր դեր են խաղում.

Սառեցման պահանջներ. Լիտոգրաֆիկ մեքենաները չափազանց զգայուն են ջերմաստիճանի տատանումների նկատմամբ ազդեցության ընթացքում, ինչը պահանջում է ջրի սառեցնող սարքեր, որոնք ապահովում են բարձր ճշգրտությամբ և կայուն ջերմաստիճանի կարգավորում:

Սառեցնող սարքերի գործառույթները. Սառեցնող ջուրը շրջանառելով՝ սառեցնող սարքերը արդյունավետորեն ցրում են շահագործման ընթացքում առաջացած ջերմությունը՝ պահպանելով լազերային սարքավորումները օպտիմալ ջերմաստիճանի սահմաններում և ապահովելով լիտոգրաֆիայի գործընթացի ճշգրտությունն ու հուսալիությունը։

TEYU սառեցնող սարքերը առաջարկում են լիտոգրաֆիկ մեքենաների համար պրոֆեսիոնալ սառեցման լուծումներ

TEYU CWUP շարքի գերարագ լազերային սառեցուցիչները կարող են ապահովել լիտոգրաֆիկ մեքենաների ճշգրիտ և կայուն ջերմաստիճանի կարգավորում: CWUP-20ANP մոդելի սառեցուցիչը հասնում է ±0.08°C ջերմաստիճանի կայունության, ապահովելով բարձր արդյունավետ սառեցում ճշգրիտ արտադրության համար:

Կիսահաղորդիչների արտադրության ճշգրիտ աշխարհում լիտոգրաֆիկ մեքենաները միկրոսխեմաների նախշերի փոխանցման հիմնական սարքերն են: Տեխնոլոգիայի զարգացման հետ մեկտեղ կրիպտոնի ֆտորիդային լիտոգրաֆիկ մեքենաները և արգոնի ֆտորիդային լիտոգրաֆիկ մեքենաները դարձել են կարևոր ուժ՝ իրենց գերազանց կատարողականությամբ խթանելով արդյունաբերության զարգացումը: