Najnovije vijesti: MIIT promovira domaće DUV litografske strojeve s točnošću prekrivanja ≤8 nm

Posljednjih mjeseci, Ministarstvo industrije i informacijske tehnologije (MIIT) izdalo je "Smjernice za promicanje i primjenu prve (seta) glavne tehničke opreme (izdanje 2024.)". To otvara put za potpunu lokalizaciju proizvodnje zrelih čipova za čvorove iznad 28 nm!

Iako 28nm tehnologija nije vrhunska, ima značajnu važnost kao granica između čipova niske i srednje klase te čipova srednje i visoke klase. Osim naprednih CPU-a, GPU-a i AI čipova, većina industrijskih čipova oslanja se na 28nm ili više tehnologije.

Princip rada: Napredak u dubokoj ultraljubičastoj litografiji

KrF (kripton fluorid) i ArF (argon fluorid) litografski strojevi spadaju u kategoriju litografije dubokog ultraljubičastog (DUV) zračenja. Oba koriste specifične valne duljine svjetlosti projicirane kroz optičke sustave na sloj fotorezista silicijske pločice, prenoseći složene uzorke strujnih krugova.

KrF litografski strojevi: Koriste izvor svjetlosti valne duljine 248 nm, postižući rezolucije ispod 110 nm, pogodne za različite procese proizvodnje integriranih krugova.

ArF litografski strojevi: Koriste izvor svjetlosti valne duljine od 193 nm, nudeći veću rezoluciju za procesne tehnologije ispod 65 nm, omogućujući izradu finijih sklopova.

Tehnološki značaj: Modernizacija industrije i samodostatnost

Razvoj ovih litografskih strojeva označava važnu prekretnicu u unapređenju proizvodnje poluvodiča i postizanju industrijske autonomije:

Tehnički prodori: Uspješno stvaranje KrF i ArF litografskih strojeva ističe značajan napredak u vrhunskoj litografskoj tehnologiji, pružajući snažnu tehničku podršku za proizvodnju poluvodiča.

Nadogradnja industrije: Visokoprecizni litografski strojevi omogućuju proizvodnju složenijih i visokoučinkovitih integriranih krugova, potičući inovacije u cijelom lancu vrijednosti poluvodiča.

Ekonomska i nacionalna sigurnost: Smanjenjem ovisnosti o stranoj tehnologiji, ovi strojevi jačaju samodostatnost domaće industrije poluvodiča, jačajući ekonomsku i industrijsku sigurnost.

Hladnjak vode : Ključ stabilnih performansi litografskog stroja

Precizna kontrola temperature ključna je za osiguranje kvalitete i prinosa litografskog procesa. Hladnjaci vode, kao ključne komponente rashladnih sustava, igraju vitalnu ulogu:

Zahtjevi za hlađenje: Litografski strojevi izuzetno su osjetljivi na temperaturne fluktuacije tijekom ekspozicije, što zahtijeva vodene hladnjake koji pružaju vrlo preciznu i stabilnu kontrolu temperature.

Funkcije hladnjaka: Cirkulacijom rashladne vode, hladnjaci učinkovito odvode toplinu nastalu tijekom rada, održavajući lasersku opremu unutar optimalnog temperaturnog raspona i osiguravajući točnost i pouzdanost u procesu litografije.

TEYU Chiller nudi profesionalna rješenja za hlađenje litografskih strojeva

Ultrabrzi laserski hladnjaci serije TEYU CWUP mogu osigurati preciznu i stabilnu kontrolu temperature za litografske strojeve. Model hladnjaka CWUP-20ANP postiže temperaturnu stabilnost od ±0,08 °C, pružajući visoko učinkovito hlađenje za preciznu proizvodnju.

U preciznom svijetu proizvodnje poluvodiča, litografski strojevi su ključni uređaji za prijenos uzoraka mikrokrugova. S napretkom tehnologije, litografski strojevi s kripton fluoridom i litografski strojevi s argon fluoridom postali su važna snaga za promicanje razvoja industrije sa svojim izvrsnim performansama.