Najnovejše novice: MIIT promovira domače litografske stroje DUV z natančnostjo prekrivanja ≤8 nm

Ministrstvo za industrijo in informacijsko tehnologijo (MIIT) je v zadnjih mesecih izdalo »Smernice za spodbujanje in uporabo prve (niza) večje tehnične opreme (izdaja 2024)«. To utira pot za lokalizacijo celotnega procesa proizvodnje zrelih čipov za vozlišča nad 28 nm!

Čeprav 28-nm tehnologija ni vrhunska, ima velik pomen kot ločnica med čipi nižjega in srednjega cenovnega razreda ter čipi srednjega in visokega cenovnega razreda. Poleg naprednih procesorjev, grafičnih procesorjev in čipov umetne inteligence večina industrijskih čipov uporablja 28-nm ali novejše tehnologije.

Načelo delovanja: Napredek v globoki ultravijolični litografiji

Litografski stroji KrF (kriptonski fluorid) in ArF (argonov fluorid) spadajo v kategorijo litografije globokega ultravijoličnega sevanja (DUV). Oba uporabljata specifične valovne dolžine svetlobe, ki se projicirajo skozi optične sisteme na fotorezistno plast silicijeve rezine in prenašajo zapletene vzorce vezij.

Litografski stroji KrF: Uporabljajo svetlobni vir z valovno dolžino 248 nm, ki dosega ločljivost pod 110 nm, primeren za različne procese izdelave integriranih vezij.

Litografski stroji ArF: Uporabljajo svetlobni vir z valovno dolžino 193 nm, ki ponuja višjo ločljivost za procesne tehnologije pod 65 nm, kar omogoča izdelavo finejših vezij.

Tehnološki pomen: Nadgradnja industrije in samozadostnost

Razvoj teh litografskih strojev pomeni pomemben mejnik pri napredku proizvodnje polprevodnikov in doseganju industrijske avtonomije:

Tehnični preboji: Uspešna izdelava litografskih strojev KrF in ArF poudarja pomemben napredek v vrhunski litografski tehnologiji in zagotavlja robustno tehnično podporo za proizvodnjo polprevodnikov.

Nadgradnja industrije: Visoko natančni litografski stroji omogočajo proizvodnjo kompleksnejših in visokozmogljivih integriranih vezij, kar spodbuja inovacije v celotni vrednostni verigi polprevodnikov.

Ekonomska in nacionalna varnost: Z zmanjšanjem odvisnosti od tuje tehnologije ti stroji krepijo samozadostnost domače polprevodniške industrije ter s tem krepijo ekonomsko in industrijsko varnost.

Vodni hladilnik : ključ do stabilnega delovanja litografskega stroja

Natančen nadzor temperature je bistvenega pomena za zagotavljanje kakovosti in izkoristka litografskega procesa. Vodni hladilniki kot ključne komponente hladilnih sistemov igrajo ključno vlogo:

Zahteve za hlajenje: Litografski stroji so izjemno občutljivi na temperaturna nihanja med osvetlitvijo, zato so potrebni vodni hladilniki, ki zagotavljajo zelo natančen in stabilen nadzor temperature.

Funkcije hladilnikov: S kroženjem hladilne vode hladilniki učinkovito odvajajo toploto, ki nastane med delovanjem, s čimer vzdržujejo lasersko opremo v optimalnem temperaturnem območju in zagotavljajo natančnost in zanesljivost v procesu litografije.

Hladilni stroji TEYU ponujajo profesionalne hladilne rešitve za litografske stroje

Ultra hitri laserski hladilniki serije TEYU CWUP lahko zagotavljajo natančen in stabilen nadzor temperature za litografske stroje. Model hladilnika CWUP-20ANP dosega temperaturno stabilnost ±0,08 °C, kar zagotavlja visoko učinkovito hlajenje za natančno proizvodnjo.

V natančnem svetu proizvodnje polprevodnikov so litografski stroji osrednje naprave za prenos vzorcev mikrovezij. Z napredkom tehnologije so litografski stroji s kriptonskim fluoridom in litografski stroji z argonovim fluoridom s svojo odlično zmogljivostjo postali pomembna gonilna sila za spodbujanje razvoja industrije.