Sanayi ve Bilişim Teknolojileri Bakanlığı (MİİT), son aylarda "İlk (Set) Büyük Teknik Ekipmanların Tanıtımı ve Uygulamasına İlişkin Kılavuz (2024 Baskısı)"nı yayınladı. Bu, 28nm'nin üzerindeki düğümler için olgun çip üretiminin tam süreç yerelleştirmesinin önünü açıyor!
28nm teknolojisi çok ileri bir teknoloji olmasa da, düşük-orta seviye ve orta-üst seviye çipler arasındaki sınır çizgisi olarak büyük önem taşıyor. Gelişmiş CPU'lar, GPU'lar ve yapay zeka çiplerinin yanı sıra, endüstriyel sınıf çiplerin çoğu 28 nm veya daha yüksek teknolojilere dayanmaktadır.
![MIIT Promotes Domestic DUV Lithography Machines with ≤8nm Overlay Accuracy]()
Çalışma Prensibi: Derin Ultraviyole Litografideki Gelişmeler
KrF (Kripton Florür) ve ArF (Argon Florür) litografi makineleri Derin Ultraviyole (DUV) litografi kategorisine girmektedir. Her ikisi de optik sistemler aracılığıyla silikon bir yonga üzerindeki fotorezist tabakasına yansıtılan belirli ışık dalga boylarını kullanarak karmaşık devre desenleri aktarır.
KrF Litografi Makineleri:
Çeşitli entegre devre üretim süreçlerine uygun, 110 nm'nin altında çözünürlükler elde eden 248 nm dalga boylu ışık kaynağı kullanın.
ArF Litografi Makineleri:
65 nm altı işlem teknolojileri için daha yüksek çözünürlük sunan 193 nm dalga boylu ışık kaynağı kullanarak daha ince devrelerin üretilmesini sağlar.
Teknolojik Önem: Endüstrinin Yükselmesi ve Öz Yeterlilik
Bu litografi makinelerinin geliştirilmesi, yarı iletken üretiminin ilerlemesi ve endüstriyel özerkliğe ulaşılmasında önemli bir dönüm noktasıdır.:
Teknik Atılımlar:
KrF ve ArF litografi makinelerinin başarılı bir şekilde üretilmesi, yarı iletken üretimine güçlü teknik destek sağlayarak, yüksek kaliteli litografi teknolojisinde önemli ilerleme kaydedildiğini göstermektedir.
Endüstri Yükseltmesi:
Yüksek hassasiyetli litografi makineleri, daha karmaşık ve yüksek performanslı entegre devrelerin üretilmesini sağlayarak, yarı iletken değer zincirinin tamamında inovasyonu teşvik ediyor.
Ekonomik ve Ulusal Güvenlik: Yabancı teknolojiye bağımlılığı azaltarak, bu makineler yerli yarı iletken endüstrisinin kendi kendine yeterliliğini güçlendiriyor, ekonomik ve endüstriyel güvenliği destekliyor.
Su Soğutucu
: İstikrarlı Litografi Makinesi Performansının Anahtarı
Litografi işleminin kalitesini ve verimini garantilemek için hassas sıcaklık kontrolü esastır. Soğutma sistemlerinin temel bileşenleri olan su soğutucuları hayati bir rol oynar:
Soğutma Gereksinimleri:
Litografi makineleri pozlama sırasında sıcaklık dalgalanmalarına karşı son derece hassastır ve bu da son derece hassas ve istikrarlı sıcaklık kontrolü sağlayan su soğutucularını gerekli kılar.
Soğutucuların Fonksiyonları:
Soğutucular, soğutma suyunu dolaştırarak çalışma sırasında oluşan ısıyı etkili bir şekilde dağıtır, lazer ekipmanının optimum sıcaklık aralığında kalmasını sağlar ve litografi sürecinde doğruluk ve güvenilirliği garanti eder.
![Ultrafast laser chiller CWUP-20ANP with 0.08℃ stability]()
TEYU Soğutucu, Litografi Makineleri için Profesyonel Soğutma Çözümleri Sunuyor
TEYU CWUP serisi ultra hızlı lazer soğutucular, litografi makineleri için hassas ve istikrarlı sıcaklık kontrolü sağlayabilir. The
soğutucu modeli CWUP-20ANP
sıcaklık kararlılığını sağlar ±0.08°C, hassas üretim için yüksek verimli soğutma sağlar.
Yarı iletken üretiminin hassas dünyasında, litografi makineleri mikro devre desenlerinin aktarımı için temel cihazlardır. Teknolojinin ilerlemesiyle birlikte kripton florür litografi makinesi ve argon florür litografi makinesi mükemmel performanslarıyla endüstrinin gelişimini destekleyen önemli bir güç haline gelmiştir.