Son Dakika: MIIT, ≤8 nm Kaplama Doğruluğuna Sahip Yerli DUV Litografi Makinelerini Tanıtıyor

Sanayi ve Enformasyon Teknolojileri Bakanlığı (MIIT), son aylarda "İlk (Set) Büyük Teknik Ekipmanların Tanıtımı ve Uygulamasına İlişkin Kılavuz (2024 Baskısı)"nı yayınladı. Bu kılavuz, 28 nm üzeri düğümler için olgun çip üretiminin tam süreç yerelleştirilmesinin önünü açıyor!

28 nm teknolojisi en son teknoloji olmasa da, düşük-orta seviye ve orta-üst seviye yongalar arasındaki ayrım çizgisi olarak önemli bir öneme sahiptir. Gelişmiş CPU'lar, GPU'lar ve yapay zeka yongalarının yanı sıra, endüstriyel sınıf yongaların çoğu 28 nm veya daha yüksek teknolojilere dayanmaktadır.

Çalışma Prensibi: Derin Ultraviyole Litografideki Gelişmeler

KrF (Kripton Florür) ve ArF (Argon Florür) litografi makineleri, Derin Ultraviyole (DUV) litografi kategorisine girer. Her ikisi de optik sistemler aracılığıyla bir silikon yonganın fotorezist tabakasına yansıtılan belirli ışık dalga boylarını kullanarak karmaşık devre desenleri aktarır.

KrF Litografi Makineleri: 248 nm dalga boylu ışık kaynağı kullanır, 110 nm'nin altında çözünürlüklere ulaşır, çeşitli entegre devre üretim süreçlerine uygundur.

ArF Litografi Makineleri: 65 nm altı işlem teknolojileri için daha yüksek çözünürlük sunan 193 nm dalga boylu ışık kaynağı kullanır ve daha ince devrelerin üretilmesini sağlar.

Teknolojik Önem: Endüstrinin Yükselmesi ve Öz Yeterlilik

Bu litografi makinelerinin geliştirilmesi, yarı iletken üretiminin ilerlemesi ve endüstriyel özerkliğe ulaşılmasında önemli bir dönüm noktasını temsil ediyor:

Teknik Atılımlar: KrF ve ArF litografi makinelerinin başarılı bir şekilde üretilmesi, yarı iletken üretimine güçlü teknik destek sağlayarak, üst düzey litografi teknolojisinde önemli ilerleme kaydedildiğini göstermektedir.

Sektör Yükseltmesi: Yüksek hassasiyetli litografi makineleri, daha karmaşık ve yüksek performanslı entegre devrelerin üretilmesini sağlayarak, tüm yarı iletken değer zincirinde inovasyonu teşvik ediyor.

Ekonomik ve Ulusal Güvenlik: Yabancı teknolojiye bağımlılığı azaltarak, bu makineler yerli yarı iletken endüstrisinin kendi kendine yeterliliğini güçlendiriyor, ekonomik ve endüstriyel güvenliği destekliyor.

Su Soğutucu : Litografi Makinesinin Kararlı Performansının Anahtarı

Litografi işleminin kalitesini ve verimini sağlamak için hassas sıcaklık kontrolü esastır. Soğutma sistemlerinin temel bileşenleri olan su soğutucuları hayati bir rol oynar:

Soğutma Gereksinimleri: Litografi makineleri, pozlama sırasında sıcaklık dalgalanmalarına karşı son derece hassastır ve bu da son derece hassas ve kararlı sıcaklık kontrolü sağlayan su soğutucularını gerektirir.

Soğutucuların Fonksiyonları: Soğutucular, soğutma suyunu dolaştırarak çalışma sırasında oluşan ısıyı etkili bir şekilde dağıtır, lazer ekipmanının optimum sıcaklık aralığında kalmasını sağlar ve litografi sürecinde doğruluk ve güvenilirliği garanti eder.

TEYU Soğutucu Litografi Makineleri için Profesyonel Soğutma Çözümleri Sunuyor

TEYU CWUP serisi ultra hızlı lazer soğutucular, litografi makineleri için hassas ve istikrarlı bir sıcaklık kontrolü sağlayabilir. soğutucu model CWUP-20ANP , ±0,08°C sıcaklık kararlılığı sağlayarak hassas üretim için yüksek verimli soğutma sağlar.

Yarı iletken üretiminin hassas dünyasında, litografi makineleri mikro devre desenlerinin aktarımı için temel cihazlardır. Teknolojinin ilerlemesiyle birlikte, kripton florür litografi makinesi ve argon florür litografi makinesi, mükemmel performanslarıyla endüstrinin gelişimini destekleyen önemli bir güç haline gelmiştir.