Najnovije vijesti: MIIT promovira domaće DUV litografske strojeve s točnošću prekrivanja ≤8 nm

Posljednjih mjeseci, Ministarstvo industrije i informacionih tehnologija (MIIT) izdalo je "Smjernice za promociju i primjenu prve (seta) glavne tehničke opreme (izdanje 2024.)". Ovo otvara put za potpunu lokalizaciju proizvodnje zrelih čipova za čvorove iznad 28nm!

Iako 28nm tehnologija nije vrhunska, ona ima značajan značaj kao granica između čipova niže i srednje klase, od onih srednje i visoke klase. Osim naprednih CPU-a, GPU-a i AI čipova, većina industrijskih čipova oslanja se na 28nm ili novije tehnologije.

Princip rada: Napredak u dubokoj ultraljubičastoj litografiji

KrF (Krypton Fluoride) i ArF (Argon Fluoride) litografske mašine spadaju u kategoriju DUV (Deep Ultraviolet) litografije. Obje koriste specifične svjetlosne talasne dužine projektovane kroz optičke sisteme na fotorezistni sloj silicijumske pločice, prenoseći složene uzorke kola.

KrF litografske mašine: Koriste izvor svjetlosti valne duljine od 248 nm, postižući rezolucije ispod 110 nm, pogodne za različite procese proizvodnje integriranih krugova.

ArF litografske mašine: Koriste izvor svjetlosti valne dužine od 193 nm, nudeći veću rezoluciju za procesne tehnologije ispod 65 nm, omogućavajući izradu finijih kola.

Tehnološki značaj: Unapređenje industrije i samostalnost

Razvoj ovih litografskih mašina označava važnu prekretnicu u unapređenju proizvodnje poluprovodnika i postizanju industrijske autonomije:

Tehnički prodori: Uspješno stvaranje KrF i ArF litografskih mašina ističe značajan napredak u vrhunskoj litografskoj tehnologiji, pružajući snažnu tehničku podršku za proizvodnju poluprovodnika.

Unapređenje industrije: Visokoprecizne litografske mašine omogućavaju proizvodnju složenijih i visokoperformansnih integrisanih kola, pokrećući inovacije u cijelom lancu vrijednosti poluprovodnika.

Ekonomska i nacionalna sigurnost: Smanjenjem ovisnosti o stranoj tehnologiji, ove mašine jačaju samodovoljnost domaće industrije poluprovodnika, jačajući ekonomsku i industrijsku sigurnost.

Hladnjak vode : Ključ stabilnih performansi litografske mašine

Precizna kontrola temperature je ključna za osiguranje kvaliteta i prinosa litografskog procesa. Hladnjaci vode, kao ključne komponente sistema za hlađenje, igraju vitalnu ulogu:

Zahtjevi za hlađenje: Litografske mašine su izuzetno osjetljive na temperaturne fluktuacije tokom ekspozicije, što zahtijeva vodene hladnjake koji pružaju visoko preciznu i stabilnu kontrolu temperature.

Funkcije hladnjaka: Cirkulacijom rashladne vode, hladnjak je efikasan odvod toplote koja se stvara tokom rada, održavajući lasersku opremu unutar optimalnog temperaturnog raspona i osiguravajući tačnost i pouzdanost u procesu litografije.

TEYU Chiller nudi profesionalna rješenja za hlađenje litografskih mašina

TEYU CWUP serija ultrabrzih laserskih hladnjaka može osigurati preciznu i stabilnu kontrolu temperature za litografske mašine. Model hladnjaka CWUP-20ANP postiže temperaturnu stabilnost od ±0,08°C, pružajući visoko efikasno hlađenje za preciznu proizvodnju.

U preciznom svijetu proizvodnje poluprovodnika, litografske mašine su osnovni uređaji za prenos uzoraka mikročipova. S napretkom tehnologije, litografske mašine za kripton fluorid i litografske mašine za argon fluorid postale su važna snaga za promociju razvoja industrije sa svojim odličnim performansama.