Lajm i fundit: MIIT promovon makinat vendase të litografisë DUV me saktësi mbivendosjeje ≤8nm

Në muajt e fundit, Ministria e Industrisë dhe Teknologjisë së Informacionit (MIIT) lëshoi ​​"Udhëzimet për Promovimin dhe Zbatimin e Pajisjeve të Para (Setit) Kryesore Teknike (Botimi 2024)". Kjo hap rrugën për lokalizimin e plotë të procesit të prodhimit të çipave të pjekur për nyjet mbi 28nm!

Edhe pse teknologjia 28nm nuk është e përparuar, ajo ka rëndësi të madhe si vijë ndarëse midis çipave të nivelit të ulët dhe të mesëm dhe të lartë. Përveç CPU-ve, GPU-ve dhe çipave të inteligjencës artificiale të përparuara, shumica e çipave të nivelit industrial mbështeten në teknologji 28nm ose më të larta.

Parimi i Punës: Përparimet në Litografinë Ultraviolet të Thellë

Makineritë e litografisë KrF (Fluorur Kriptoni) dhe ArF (Fluorur Argoni) bëjnë pjesë në kategorinë e litografisë me rreze ultraviolete të thella (DUV). Të dyja përdorin gjatësi vale specifike të dritës të projektuara përmes sistemeve optike mbi shtresën fotorezistente të një pllake silikoni, duke transferuar modele të ndërlikuara qarqesh.

Makineritë e Litografisë KrF: Përdorin një burim drite me gjatësi vale 248nm, duke arritur rezolucione nën 110nm, të përshtatshme për procese të ndryshme të prodhimit të qarqeve të integruara.

Makineritë e Litografisë ArF: Përdorin një burim drite me gjatësi vale 193 nm, duke ofruar rezolucion më të lartë për teknologjitë e procesit nën 65 nm, duke mundësuar prodhimin e qarqeve më të imëta.

Rëndësia Teknologjike: Përmirësimi i Industrisë dhe Vetëbesimi

Zhvillimi i këtyre makinave të litografisë shënon një moment të rëndësishëm në avancimin e prodhimit të gjysmëpërçuesve dhe arritjen e autonomisë industriale:

Përparime Teknike: Krijimi i suksesshëm i makinave të litografisë KrF dhe ArF nxjerr në pah përparimin e ndjeshëm në teknologjinë e litografisë së nivelit të lartë, duke ofruar mbështetje të fuqishme teknike për prodhimin e gjysmëpërçuesve.

Përmirësimi i Industrisë: Makineritë e litografisë me precizion të lartë mundësojnë prodhimin e qarqeve të integruara më komplekse dhe me performancë të lartë, duke nxitur inovacionin në të gjithë zinxhirin e vlerës së gjysmëpërçuesve.

Siguria Ekonomike dhe Kombëtare: Duke zvogëluar varësinë nga teknologjia e huaj, këto makina forcojnë vetëmjaftueshmërinë e industrisë vendase të gjysmëpërçuesve, duke forcuar sigurinë ekonomike dhe industriale.

Ftohësi i ujit : Çelësi për performancë të qëndrueshme të makinës së litografisë

Kontrolli i saktë i temperaturës është thelbësor për të siguruar cilësinë dhe rendimentin e procesit të litografisë. Ftohësit e ujit, si komponentë kryesorë të sistemeve të ftohjes, luajnë një rol jetësor:

Kërkesat për Ftohje: Makineritë e litografisë janë jashtëzakonisht të ndjeshme ndaj luhatjeve të temperaturës gjatë ekspozimit, duke bërë të nevojshme ftohës uji që ofrojnë kontroll shumë të saktë dhe të qëndrueshëm të temperaturës.

Funksionet e ftohësve: Duke qarkulluar ujin ftohës, ftohësit shpërndajnë në mënyrë efektive nxehtësinë e gjeneruar gjatë funksionimit, duke i mbajtur pajisjet lazer brenda një diapazoni optimal të temperaturës dhe duke siguruar saktësi dhe besueshmëri në procesin e litografisë.

TEYU Chiller ofron zgjidhje profesionale ftohëse për makinat e litografisë

Ftohësit me lazer ultra të shpejtë të serisë TEYU CWUP mund të ofrojnë kontroll të saktë dhe të qëndrueshëm të temperaturës për makinat e litografisë. Modeli i ftohësit CWUP-20ANP arrin stabilitet të temperaturës prej ±0.08°C, duke ofruar ftohje shumë efikase për prodhim preciz.

Në botën e saktë të prodhimit të gjysmëpërçuesve, makinat e litografisë janë pajisjet kryesore për transferimin e modeleve të mikroqarqeve. Me përparimin e teknologjisë, makina e litografisë me fluor kriptoni dhe makina e litografisë me fluor argoni janë bërë një forcë e rëndësishme për të nxitur zhvillimin e industrisë me performancën e tyre të shkëlqyer.