Tala Fou: MIIT fa'alauiloa masini DUV Lithography i totonu o le fale ma le ≤8nm Overlay Accuracy

I masina talu ai nei, na tuʻuina atu ai e le Matagaluega o Alamanuia ma Faʻamatalaga Tekonolosi (MIIT) le "Taʻiala mo le Faʻalauiloaina ma le Faʻaaogaina o Mea Muamua (Set) Major Technical Equipment (2024 Edition)". O le mea lea e maua ai le ala mo le fa'agasolo atoa o le fa'aogaina o le gaosiga o chip matutua mo nodes i luga atu o le 28nm!

E ui lava o le 28nm tekinolosi e le o se mea faʻapitoa, e taua tele e pei o le vaeluaga o laina i le va o tupe meataalo maualalo i le ogatotonu ma le ogatotonu i le maualuga. E ese mai i CPU sili atu, GPU, ma AI meataalo, o le tele o meataalo faʻapisinisi e faʻalagolago ile 28nm poʻo tekinolosi maualuga.

Galuega Fa'avae: Fa'alautelega ile Deep Ultraviolet Lithography

KrF (Krypton Fluoride) ma ArF (Argon Fluoride) masini lithography e pa'ū i lalo ole vaega ole Deep Ultraviolet (DUV) lithography. O lo'o fa'aogaina uma e la'ua umi galu mama fa'apitoa e fa'atatauina i faiga fa'apitoa i luga o le ata fa'ata'ita'i o se fa'ama'i sikoni, fa'afeiloa'i atu fa'asologa o ta'amilosaga lavelave.

KrF Lithography Machines: Fa'aaogā le 248nm wavelength light source, ausia fa'aiuga i lalo ole 110nm, talafeagai mo fa'agasologa o gaosiga fa'atasi.

ArF Lithography Machines: Fa'aaogā le 193nm galu umi fa'apogai malamalama, tu'uina atu maualuga iugafono mo sub-65nm fa'agasologa tekonolosi, fa'aagaaga ai le fa'atupuina o ta'aloga sili atu.

Taua Fa'atekonolosi: Fa'aleleia o Alamanuia ma le Fa'alagolago o le Tagata ia te ia lava

O le atinaʻeina o nei masini lithography e faʻailogaina ai se mea taua tele i le faʻalauteleina o le gaosiga o semiconductor ma le ausiaina o le tutoʻatasi o pisinisi.:

Fa'amatalaga Fa'atekinisi: O le fa'atupuina manuia ole KrF ma le ArF lithography machines ua fa'ailoa mai ai le alualu i luma tele i tekonolosi fa'ata'ita'iga maualuga, ma maua ai le lagolago fa'atekinisi malosi mo le gaosiga o semiconductor.

Alamanuia Fa'aleleia: O masini lithography maualuga maualuga e mafai ai ona gaosia le sili atu ona lavelave ma maualuga-faʻatinoga faʻapipiʻi faʻatasi, faʻauluina mea fou i luga o le filifili tau semiconductor atoa.

Tamaoaiga ma le Saogalemu a le Atunuu: E ala i le faaitiitia o le faalagolago i tekinolosi mai fafo, o nei masini e faamalosia ai le tutoatasi o pisinisi semiconductor i totonu o le atunuu, faamalosia le tamaoaiga ma le saogalemu o alamanuia.

Vai Chiller : Le Ki i le Fa'atinoina o le Masini Lithography mautu

E mana'omia le pulea sa'o o le vevela mo le fa'amautinoaina o le lelei ma le fua o le fa'agasologa o le lithography. O vai malulu, e avea ma vaega autu o faiga malulu, e iai sona sao taua:

Manaoga Fa'alili: O masini lithography e matua maaleale i fesuiaiga o le vevela i le taimi e faʻaalia ai, e manaʻomia ai vai malulu e maua ai le sao atoatoa ma le mautu o le vevela.

Galuega a Chillers: E ala i le fa'asalalauina o le vai malulu, e fa'amalo lelei ai le vevela e maua i le taimi o le fa'agaioiga, fa'atumauina masini laser i totonu o le maualuga o le vevela ma fa'amautinoa le sa'o ma le fa'amaoni i le fa'agasologa o le lithography.

TEYU Chiller Ofo Fofo Fa'amalieina Fa'apolofesa mo Masini Lithography

TEYU CWUP fa'asologa ultrafast laser chillers e mafai ona maua sa'o ma mautu pulea vevela mo masini lithography. O le fa'ata'ita'iga chiller CWUP-20ANP ausia le mautu o le vevela o ±0.08°C, tu'uina atu le malulu sili ona lelei mo le gaosiga sa'o.

I le lalolagi tonu o le gaosiga o semiconductor, o masini lithography o masini autu ia mo le fesiitaiga o mamanu microcircuit. Faatasi ai ma le alualu i luma o tekinolosi, krypton fluoride lithography masini ma argon fluoride lithography masini ua avea ma malosiaga taua e faʻaleleia le atinaʻeina o le alamanuia ma a latou faʻatinoga sili ona lelei.