Brekkend nijs: MIIT befoarderet húshâldlike DUV-litografymasines mei ≤8nm overlay-krektens

Yn 'e ôfrûne moannen hat it Ministearje fan Yndustry en Ynformaasjetechnology (MIIT) de "Rjochtlinen foar de Promoasje en Tapassing fan Earste (Set) Grutte Technyske Apparatuer (2024-edysje)" útjûn. Dit makket de wei frij foar in folsleine proseslokalisaasje fan folwoeksen chipproduksje foar knooppunten boppe 28nm!

Hoewol 28nm-technology net baanbrekkend is, is it fan grut belang as de skiedsline tusken chips fan 'e lege oant middenklasse en chips fan 'e midden oant hege klasse. Neist avansearre CPU's, GPU's en AI-chips binne de measte chips fan yndustriële kwaliteit ôfhinklik fan 28nm of hegere technologyen.

Wurkprinsipe: Foarútgong yn djippe ultraviolette litografy

KrF (Krypton Fluoride) en ArF (Argon Fluoride) litografymasines falle ûnder de kategory Djippe Ultraviolet (DUV) litografy. Beide brûke spesifike ljochtgolflingten dy't troch optyske systemen projeksjearre wurde op 'e fotoresistlaach fan in silisiumwafer, wêrtroch't yngewikkelde circuitpatroanen oerdroegen wurde.

KrF-litografymasines: Brûk in ljochtboarne mei in golflingte fan 248 nm, dy't resolúsjes ûnder 110 nm berikt, geskikt foar ferskate produksjeprosessen foar yntegreare sirkwy's.

ArF-litografymasines: Brûk in ljochtboarne mei in golflingte fan 193 nm, dy't in hegere resolúsje biedt foar prosestechnologyen ûnder 65 nm, wêrtroch't finer circuits makke wurde kinne.

Technologyske betsjutting: Yndustryupgrade en selsstannigens

De ûntwikkeling fan dizze litografymasines markearret in wichtige mylpeal yn it foarútgong fan 'e produksje fan healgeleiders en it berikken fan yndustriële autonomy:

Technyske trochbraken: De suksesfolle skepping fan KrF- en ArF-litografymasines markearret wichtige foarútgong yn high-end litografytechnology, en biedt robuuste technyske stipe foar healgeleiderproduksje.

Yndustryupgrade: Hege-presyzje litografymasines meitsje de produksje fan kompleksere en hege-prestaasjes yntegreare circuits mooglik, wat ynnovaasje yn 'e heule healgeleiderweardeketen oandriuwt.

Ekonomyske en Nasjonale Feiligens: Troch de ôfhinklikens fan bûtenlânske technology te ferminderjen, fersterkje dizze masines de selsstannigens fan 'e binnenlânske healgeleideryndustry, wêrtroch't de ekonomyske en yndustriële feiligens ferbettere wurdt.

Wetterkoeler : De kaai ta stabile prestaasjes fan litografymasines

Krekte temperatuerkontrôle is essensjeel foar it garandearjen fan 'e kwaliteit en opbringst fan it litografyproses. Wetterkoelers, as kearnkomponinten fan koelsystemen, spylje in wichtige rol:

Koelingseasken: Litografymasines binne ekstreem gefoelich foar temperatuerfluktuaasjes tidens bleatstelling, wêrtroch't wetterkoelers nedich binne dy't heul krekte en stabile temperatuerkontrôle leverje.

Funksjes fan koelers: Troch koelwetter te sirkulearjen, ferspriede koelers effektyf de waarmte dy't ûntstiet tidens operaasje, wêrtroch't laserapparatuer binnen in optimaal temperatuerberik bliuwt en krektens en betrouberens yn it litografyproses garandearre wurdt.

TEYU Chiller biedt profesjonele koeloplossingen foar litografymasines

De ultrasnelle laserkoelers fan 'e TEYU CWUP-searje kinne presys en stabile temperatuerkontrôle leverje foar litografymasines. It koelermodel CWUP-20ANP berikt in temperatuerstabiliteit fan ± 0,08 °C, wêrtroch't heul effisjinte koeling foar presyzjeproduksje wurdt levere.

Yn 'e krekte wrâld fan healgeleiderproduksje binne litografymasines de kearnapparaten foar de oerdracht fan mikrocircuitpatroanen. Mei de foarútgong fan technology binne kryptonfluoride-litografymasines en argonfluoride-litografymasines in wichtige krêft wurden om de ûntwikkeling fan 'e yndustry te befoarderjen mei har poerbêste prestaasjes.