Nga Panui Panui: Kei te Whakatairanga MIIT i nga Miihini Lithography DUV Domestic me te ≤8nm Whakakikorua Tika

I nga marama tata nei, i tukuna e te Manatū Ahumahi me te Hangarau Hangarau (MIIT) "Nga Aratohu mo te Whakatairanga me te Whakamahinga Tuatahi (Tautuhi) Taputapu Hangarau Nui (2024 Edition)". Ma tenei ka whai huarahi mo te mahi-tukatuka o te hanga maramara pakeke mo nga pona kei runga ake i te 28nm!

Ahakoa ko te hangarau 28nm ehara i te mea tapahi-mata, he mea nui na te mea ko te raina wehewehe i waenga i nga maramara iti-ki-waenganui me nga maramara waenga-ki-tiketike. I tua atu i nga PTM matatau, nga GPU, me nga maramara AI, ko te nuinga o nga maramara-ahumahi e whakawhirinaki ana ki nga hangarau 28nm teitei ake ranei.

Tikanga Mahi: Nga Whakapaipai i roto i te Horopaki Ultraviolet Hohonu

Ko nga miihini KrF (Krypton Fluoride) me te ArF (Argon Fluoride) ka taka ki raro i te waahanga o te Hoahoahoahoahoahoahoahoa (DUV). Ka whakamahi nga mea e rua i nga roangaru marama motuhake e whakaatuhia ana i roto i nga punaha whatu ki runga i te paparanga photoresist o te angiangi silicon, e whakawhiti ana i nga tauira ara iahiko uaua.

KrF Lithography Miihini: Whakamahia he puna marama 248nm roangaru, te whakatutuki i nga whakataunga i raro iho i te 110nm, e tika ana mo nga momo mahi hanga ara iahiko whakauru.

ArF Lithography Miihini: Whakamahia he puna marama 193nm roangaru, e tuku ana i te taumira teitei ake mo nga hangarau tukanga iti-65nm, e taea ai te hanga i nga waahanga pai ake.

Hiranga Hangarau: Whakapai Ahumahi me te Whakaoranga Whaiaro

Ko te whakawhanaketanga o enei miihini lithography e tohu ana i tetahi tohu nui ki te ahu whakamua i te hanga semiconductor me te whakatutuki i te mana motuhake o te ahumahi:

Nga Waahi Hangarau: Ko te hanga angitu o nga miihini KrF me te ArF e whakaatu ana i te ahunga whakamua nui i roto i te hangarau lithography teitei, e whakarato ana i te tautoko hangarau pakari mo te hanga semiconductor.

Te Whakapai Ahumahi: Ka taea e nga miihini lithography teitei te hanga i nga waahanga whakahiato uaua me te mahi teitei, e akiaki ana i nga mahi auaha puta noa i te mekameka uara semiconductor.

Haumarutanga ohaoha me te Motu: Ma te whakaiti i te ti'aturi ki nga hangarau o tawahi, ka whakakaha enei mihini i te kaha o te umanga semiconductor o te kaainga, me te whakakaha i te haumaru ohaoha me te umanga.

Wai Chiller : Ko te Kī ki te Mahinga Miihini Lithography

He mea nui te whakahaere i te pāmahana tika mo te whakarite i te kounga me te tukunga o te tukanga lithography. Ko nga whakamaarama wai, hei waahanga matua o nga punaha whakamatao, he mahi nui:

Nga Whakaritenga Whakamatao: He tino tairongo nga miihini Lithography ki te rerekee o te pāmahana i te wa e puare ana, e hiahia ana ki te whakamahana wai e whakarato ana i te mana o te pāmahana tino tika me te pumau.

Nga Mahi a nga Kaipupuri: Ma te huri i te wai whakamatao, ka pai te whakamaarama i te wera i puta i te wa e mahi ana, te pupuri i nga taputapu laser i roto i te awhe pāmahana tino pai me te whakarite i te tika me te pono i roto i te tukanga lithography.

TEYU Chiller E tuku Rongoa whakamahana Ngaio mo nga Miihini Lithography

TEYU CWUP raupapa ultrafast chillers laser ka taea te whakarato i te mana whakamahana tika me te pumau mo nga miihini lithography. Ko te tauira chiller CWUP-20ANP ka tutuki te pumau o te pāmahana o ± 0.08°C, e tuku ana i te whakamahana tino pai mo te hanga tika.

I roto i te ao tika o te hanga semiconductor, ko nga miihini lithography nga taputapu matua mo te whakawhiti i nga tauira microcircuit. Na te ahunga whakamua o te hangarau, ko te krypton fluoride lithography machine me te argon fluoride lithography miihini kua noho hei kaha nui ki te whakatairanga i te whanaketanga o te umanga me o raatau mahi pai.