So'nggi yangiliklar: MIIT ≤8nm qoplama aniqligi bilan mahalliy DUV litografiya mashinalarini targ'ib qiladi

So'nggi oylarda Sanoat va axborot texnologiyalari vazirligi (MIIT) "Birinchi (to'plam) asosiy texnik jihozlarni (2024 yil nashri) targ'ib qilish va qo'llash bo'yicha yo'riqnoma" ni chiqardi. Bu 28nm dan yuqori tugunlar uchun etuk chip ishlab chiqarishni to'liq jarayonli mahalliylashtirishga yo'l ochadi!

28nm texnologiyasi ilg'or bo'lmasa-da, u pastdan o'rtagacha va o'rtadan yuqori darajagacha bo'lgan chiplar o'rtasidagi ajratuvchi chiziq sifatida muhim ahamiyatga ega. Ilg'or protsessorlar, grafik protsessorlar va AI chiplaridan tashqari, ko'pchilik sanoat chiplari 28 nm yoki undan yuqori texnologiyalarga tayanadi.

Ish printsipi: chuqur ultrabinafsha litografiyadagi yutuqlar

KrF (Krypton Fluoride) va ArF (Argon Fluoride) litografiya mashinalari chuqur ultrabinafsha (DUV) litografiyasi toifasiga kiradi. Ikkalasi ham optik tizimlar orqali kremniy gofretning fotorezist qatlamiga proektsiyalangan o'ziga xos yorug'lik to'lqin uzunliklaridan foydalanib, murakkab sxema naqshlarini uzatadi.

KrF litografiya mashinalari: 248 nm to'lqin uzunligi yorug'lik manbasidan foydalaning, 110 nm dan past o'lchamlarga erishing, turli integral mikrosxemalar ishlab chiqarish jarayonlari uchun mos keladi.

ArF litografiya mashinalari: 193 nm to'lqin uzunlikdagi yorug'lik manbasidan foydalaning, bu 65 nm dan past texnologik texnologiyalar uchun yuqori aniqlikni taklif qiladi, bu esa nozik sxemalarni yaratishga imkon beradi.

Texnologik ahamiyati: sanoatni yangilash va o'z-o'ziga ishonish

Ushbu litografiya mashinalarining rivojlanishi yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishni rivojlantirish va sanoat avtonomiyasiga erishishda muhim bosqichdir.:

Texnik yutuqlar: KrF va ArF litografiya mashinalarining muvaffaqiyatli yaratilishi yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun mustahkam texnik yordamni ta'minlovchi yuqori darajadagi litografiya texnologiyasida sezilarli yutuqlarni ta'kidlaydi.

Sanoatni yangilash: Yuqori aniqlikdagi litografiya mashinalari butun yarimo'tkazgich qiymat zanjiri bo'ylab innovatsiyalarni boshqaradigan yanada murakkab va yuqori samarali integral mikrosxemalar ishlab chiqarishga imkon beradi.

Iqtisodiy va milliy xavfsizlik: Xorijiy texnologiyaga qaramlikni kamaytirish orqali ushbu mashinalar mahalliy yarimo'tkazgich sanoatining o'zini o'zi ta'minlashini mustahkamlaydi, iqtisodiy va sanoat xavfsizligini mustahkamlaydi.

Suv sovutgich : Litografiya mashinasining barqaror ishlashi uchun kalit

Litografiya jarayonining sifati va hosildorligini ta'minlash uchun haroratni aniq nazorat qilish juda muhimdir. Suv sovutgichlari sovutish tizimlarining asosiy komponentlari sifatida muhim rol o'ynaydi:

Sovutish talablari: Litografiya mashinalari ta'sir qilish vaqtida harorat o'zgarishiga juda sezgir bo'lib, yuqori aniqlik va barqaror haroratni nazorat qilishni ta'minlaydigan suv sovutgichlarini talab qiladi.

Chillerlarning funktsiyalari: Sovutish suvini aylanma orqali sovutgichlar ish paytida hosil bo'ladigan issiqlikni samarali ravishda tarqatib yuboradi, lazer uskunasini optimal harorat oralig'ida saqlaydi va litografiya jarayonida aniqlik va ishonchlilikni ta'minlaydi.

TEYU Chiller Litografiya mashinalari uchun professional sovutish yechimlarini taklif qiladi

TEYU CWUP seriyali ultra tez lazerli sovutgichlar litografiya mashinalari uchun aniq va barqaror haroratni nazorat qilishni ta'minlaydi. The CWUP-20ANP sovutgich modeli ning harorat barqarorligiga erishadi ±0.08°C, aniq ishlab chiqarish uchun yuqori samarali sovutishni ta'minlaydi.

Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishning aniq dunyosida litografiya mashinalari mikrosxema naqshlarini uzatish uchun asosiy qurilmalardir. Texnologiyaning rivojlanishi bilan kripton floridli litografiya mashinasi va argon ftoridli litografiya mashinasi mukammal ishlashi bilan sanoatni rivojlantirishga yordam beradigan muhim kuchga aylandi.