भाषा

ब्रेकिङ न्यूज: MIIT ले ≤8nm ओभरले शुद्धता भएका घरेलु DUV लिथोग्राफी मेसिनहरूलाई प्रवर्द्धन गर्दछ

MIIT को २०२४ दिशानिर्देशहरूले २८nm+ चिप निर्माणको लागि पूर्ण-प्रक्रिया स्थानीयकरणलाई प्रवर्द्धन गर्दछ, जुन एक महत्त्वपूर्ण प्राविधिक कोसेढुङ्गा हो। प्रमुख प्रगतिहरूमा KrF र ArF लिथोग्राफी मेसिनहरू समावेश छन्, जसले उच्च-परिशुद्धता सर्किटहरू सक्षम पार्छ र उद्योगको आत्मनिर्भरता बढाउँछ। यी प्रक्रियाहरूको लागि सटीक तापक्रम नियन्त्रण महत्त्वपूर्ण छ, TEYU CWUP वाटर चिलरहरूले अर्धचालक निर्माणमा स्थिर कार्यसम्पादन सुनिश्चित गर्दछ।

2024-12-20

हालैका महिनाहरूमा, उद्योग तथा सूचना प्रविधि मन्त्रालय (MIIT) ले "पहिलो (सेट) प्रमुख प्राविधिक उपकरणको प्रवर्द्धन र प्रयोगको लागि दिशानिर्देशहरू (२०२४ संस्करण)" जारी गरेको छ। यसले २८nm भन्दा माथिका नोडहरूको लागि परिपक्व चिप निर्माणको पूर्ण-प्रक्रिया स्थानीयकरणको लागि मार्ग प्रशस्त गर्दछ!

२८ एनएम प्रविधि अत्याधुनिक नभए पनि, यसले कम-देखि-मध्य-अन्त र मध्य-देखि-उच्च-अन्त चिपहरू बीच विभाजन रेखाको रूपमा महत्त्वपूर्ण महत्त्व राख्छ। उन्नत CPU, GPU र AI चिप्स बाहेक, धेरैजसो औद्योगिक-ग्रेड चिपहरू २८nm वा उच्च प्रविधिहरूमा निर्भर हुन्छन्।

MIIT Promotes Domestic DUV Lithography Machines with ≤8nm Overlay Accuracy

कार्य सिद्धान्त: गहिरो पराबैंगनी लिथोग्राफीमा प्रगति

KrF (क्रिप्टन फ्लोराइड) र ArF (आर्गन फ्लोराइड) लिथोग्राफी मेसिनहरू डीप अल्ट्राभायोलेट (DUV) लिथोग्राफीको श्रेणीमा पर्छन्। दुबैले सिलिकन वेफरको फोटोरेसिस्ट तहमा अप्टिकल प्रणालीहरू मार्फत प्रक्षेपित विशिष्ट प्रकाश तरंगदैर्ध्यहरू प्रयोग गर्छन्, जटिल सर्किट ढाँचाहरू स्थानान्तरण गर्छन्।

KrF लिथोग्राफी मेसिनहरू: विभिन्न एकीकृत सर्किट निर्माण प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त, ११०nm भन्दा कम रिजोल्युसन प्राप्त गर्ने २४८nm तरंगदैर्ध्य प्रकाश स्रोत प्रयोग गर्नुहोस्।

एआरएफ लिथोग्राफी मेसिनहरू: १९३ एनएम तरंगदैर्ध्य प्रकाश स्रोत प्रयोग गर्नुहोस्, जसले उप-६५ एनएम प्रक्रिया प्रविधिहरूको लागि उच्च रिजोल्युसन प्रदान गर्दछ, जसले गर्दा राम्रो सर्किटहरूको निर्माण सक्षम हुन्छ।

प्राविधिक महत्व: उद्योग स्तरोन्नति र आत्मनिर्भरता

यी लिथोग्राफी मेसिनहरूको विकासले अर्धचालक उत्पादनलाई अगाडि बढाउन र औद्योगिक स्वायत्तता प्राप्त गर्न एक प्रमुख कोसेढुङ्गा चिन्ह लगाउँछ।:

प्राविधिक सफलताहरू: KrF र ArF लिथोग्राफी मेसिनहरूको सफल सिर्जनाले उच्च-अन्त लिथोग्राफी प्रविधिमा उल्लेखनीय प्रगतिलाई प्रकाश पार्छ, जसले अर्धचालक निर्माणको लागि बलियो प्राविधिक सहयोग प्रदान गर्दछ।

उद्योग स्तरोन्नति: उच्च-परिशुद्धता लिथोग्राफी मेसिनहरूले सम्पूर्ण अर्धचालक मूल्य श्रृंखलामा नवीनतालाई बढावा दिँदै थप जटिल र उच्च-प्रदर्शन एकीकृत सर्किटहरूको उत्पादनलाई सक्षम बनाउँछन्।

आर्थिक र राष्ट्रिय सुरक्षा: विदेशी प्रविधिमा निर्भरता घटाएर, यी मेसिनहरूले घरेलु अर्धचालक उद्योगको आत्मनिर्भरतालाई बलियो बनाउँछन्, आर्थिक र औद्योगिक सुरक्षालाई बलियो बनाउँछन्।

पानी चिलर : स्थिर लिथोग्राफी मेसिन प्रदर्शनको कुञ्जी

लिथोग्राफी प्रक्रियाको गुणस्तर र उपज सुनिश्चित गर्न सटीक तापक्रम नियन्त्रण आवश्यक छ। शीतलन प्रणालीको मुख्य घटकको रूपमा पानी चिलरहरूले महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छन्:

चिसो आवश्यकताहरू: लिथोग्राफी मेसिनहरू एक्सपोजरको समयमा तापक्रमको उतारचढावप्रति अत्यन्तै संवेदनशील हुन्छन्, जसले गर्दा अत्यधिक सटीक र स्थिर तापक्रम नियन्त्रण प्रदान गर्ने पानी चिलरहरू आवश्यक पर्दछ।

चिलरका कार्यहरू: चिसो पानी परिसंचरण गरेर, चिलरहरूले सञ्चालनको क्रममा उत्पन्न हुने तापलाई प्रभावकारी रूपमा नष्ट गर्छन्, लेजर उपकरणहरूलाई इष्टतम तापक्रम दायरा भित्र राख्छन् र लिथोग्राफी प्रक्रियामा शुद्धता र विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्छन्।

TEYU चिलरले लिथोग्राफी मेसिनहरूको लागि व्यावसायिक शीतलन समाधानहरू प्रदान गर्दछ

TEYU CWUP शृङ्खलाका अल्ट्राफास्ट लेजर चिलरहरूले लिथोग्राफी मेसिनहरूको लागि सटीक र स्थिर तापक्रम नियन्त्रण प्रदान गर्न सक्छन्। द चिलर मोडेल CWUP-20ANP को तापक्रम स्थिरता प्राप्त गर्दछ ±0.08°C, सटीक उत्पादनको लागि अत्यधिक कुशल शीतलन प्रदान गर्दै।

अर्धचालक निर्माणको सटीक संसारमा, लिथोग्राफी मेसिनहरू माइक्रोसर्किट ढाँचाहरूको स्थानान्तरणको लागि मुख्य उपकरणहरू हुन्। प्रविधिको विकाससँगै, क्रिप्टन फ्लोराइड लिथोग्राफी मेसिन र आर्गन फ्लोराइड लिथोग्राफी मेसिन आफ्नो उत्कृष्ट प्रदर्शनको साथ उद्योगको विकासलाई प्रवर्द्धन गर्न महत्त्वपूर्ण शक्ति बनेका छन्।

अनुभरो

फोल्डेबल स्मार्टफोन निर्माणमा लेजर प्रविधिको प्रयोग

कृषिमा लेजर प्रविधिको भूमिका: दक्षता र दिगोपन बढाउने

अर्को