బ్రేకింగ్ న్యూస్: MIIT ≤8nm ఓవర్‌లే ఖచ్చితత్వంతో దేశీయ DUV లితోగ్రఫీ యంత్రాలను ప్రోత్సహిస్తుంది.

ఇటీవలి నెలల్లో, పరిశ్రమ మరియు సమాచార సాంకేతిక మంత్రిత్వ శాఖ (MIIT) "మొదటి (సెట్) ప్రధాన సాంకేతిక పరికరాల ప్రమోషన్ మరియు అప్లికేషన్ కోసం మార్గదర్శకాలు (2024 ఎడిషన్)" జారీ చేసింది. ఇది 28nm కంటే ఎక్కువ నోడ్‌ల కోసం పరిణతి చెందిన చిప్ తయారీ యొక్క పూర్తి-ప్రాసెస్ స్థానికీకరణకు మార్గం సుగమం చేస్తుంది!

28nm టెక్నాలజీ అత్యాధునికమైనది కానప్పటికీ, తక్కువ-నుండి-మధ్య-ముగింపు మరియు మధ్య-నుండి-హై-ఎండ్ చిప్‌ల మధ్య విభజన రేఖగా ఇది గణనీయమైన ప్రాముఖ్యతను కలిగి ఉంది. అధునాతన CPUలు, GPUలు మరియు AI చిప్‌లను పక్కన పెడితే, చాలా పారిశ్రామిక-గ్రేడ్ చిప్‌లు 28nm లేదా అంతకంటే ఎక్కువ సాంకేతికతలపై ఆధారపడతాయి.

పని సూత్రం: డీప్ అతినీలలోహిత లితోగ్రఫీలో పురోగతి

KrF (క్రిప్టాన్ ఫ్లోరైడ్) మరియు ArF (ఆర్గాన్ ఫ్లోరైడ్) లితోగ్రఫీ యంత్రాలు డీప్ అతినీలలోహిత (DUV) లితోగ్రఫీ వర్గంలోకి వస్తాయి. రెండూ ఆప్టికల్ సిస్టమ్స్ ద్వారా ప్రొజెక్ట్ చేయబడిన నిర్దిష్ట కాంతి తరంగదైర్ఘ్యాలను సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క ఫోటోరెసిస్ట్ పొరపైకి ఉపయోగించుకుంటాయి, సంక్లిష్టమైన సర్క్యూట్ నమూనాలను బదిలీ చేస్తాయి.

KrF లితోగ్రఫీ యంత్రాలు: వివిధ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీ ప్రక్రియలకు అనువైన, 110nm కంటే తక్కువ రిజల్యూషన్‌లను సాధించే 248nm తరంగదైర్ఘ్య కాంతి మూలాన్ని ఉపయోగించండి.

ArF లితోగ్రఫీ యంత్రాలు: 193nm తరంగదైర్ఘ్య కాంతి మూలాన్ని ఉపయోగించండి, ఇది 65nm కంటే తక్కువ ప్రాసెస్ టెక్నాలజీలకు అధిక రిజల్యూషన్‌ను అందిస్తుంది, ఇది సూక్ష్మమైన సర్క్యూట్‌ల తయారీని అనుమతిస్తుంది.

సాంకేతిక ప్రాముఖ్యత: పరిశ్రమ అప్‌గ్రేడ్ మరియు స్వావలంబన

ఈ లితోగ్రఫీ యంత్రాల అభివృద్ధి సెమీకండక్టర్ తయారీని ముందుకు తీసుకెళ్లడంలో మరియు పారిశ్రామిక స్వయంప్రతిపత్తిని సాధించడంలో ఒక ప్రధాన మైలురాయిని సూచిస్తుంది.:

సాంకేతిక పురోగతులు: KrF మరియు ArF లితోగ్రఫీ యంత్రాల విజయవంతమైన సృష్టి అత్యాధునిక లితోగ్రఫీ సాంకేతికతలో గణనీయమైన పురోగతిని హైలైట్ చేస్తుంది, సెమీకండక్టర్ తయారీకి బలమైన సాంకేతిక మద్దతును అందిస్తుంది.

పరిశ్రమ అప్‌గ్రేడ్: అధిక-ఖచ్చితత్వ లితోగ్రఫీ యంత్రాలు మరింత సంక్లిష్టమైన మరియు అధిక-పనితీరు గల ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌ల ఉత్పత్తిని సాధ్యం చేస్తాయి, మొత్తం సెమీకండక్టర్ విలువ గొలుసులో ఆవిష్కరణలను నడిపిస్తాయి.

ఆర్థిక మరియు జాతీయ భద్రత: విదేశీ సాంకేతికతపై ఆధారపడటాన్ని తగ్గించడం ద్వారా, ఈ యంత్రాలు దేశీయ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ యొక్క స్వయం సమృద్ధిని బలోపేతం చేస్తాయి, ఆర్థిక మరియు పారిశ్రామిక భద్రతను బలోపేతం చేస్తాయి.

వాటర్ చిల్లర్ : స్థిరమైన లితోగ్రఫీ యంత్ర పనితీరుకు కీలకం

లితోగ్రఫీ ప్రక్రియ యొక్క నాణ్యత మరియు దిగుబడిని నిర్ధారించడానికి ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ అవసరం. శీతలీకరణ వ్యవస్థలలో ప్రధాన భాగాలుగా వాటర్ చిల్లర్లు కీలక పాత్ర పోషిస్తాయి.:

శీతలీకరణ అవసరాలు: లితోగ్రఫీ యంత్రాలు ఎక్స్‌పోజర్ సమయంలో ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులకు చాలా సున్నితంగా ఉంటాయి, కాబట్టి అత్యంత ఖచ్చితమైన మరియు స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను అందించే వాటర్ చిల్లర్లు అవసరం.

చిల్లర్ల విధులు: శీతలీకరణ నీటిని ప్రసరించడం ద్వారా, చిల్లర్లు ఆపరేషన్ సమయంలో ఉత్పన్నమయ్యే వేడిని సమర్థవంతంగా వెదజల్లుతాయి, లేజర్ పరికరాలను సరైన ఉష్ణోగ్రత పరిధిలో నిర్వహిస్తాయి మరియు లితోగ్రఫీ ప్రక్రియలో ఖచ్చితత్వం మరియు విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తాయి.

TEYU చిల్లర్ లిథోగ్రఫీ యంత్రాల కోసం ప్రొఫెషనల్ కూలింగ్ సొల్యూషన్‌లను అందిస్తోంది

TEYU CWUP సిరీస్ అల్ట్రాఫాస్ట్ లేజర్ చిల్లర్లు లితోగ్రఫీ యంత్రాలకు ఖచ్చితమైన మరియు స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను అందించగలవు. ది చిల్లర్ మోడల్ CWUP-20ANP ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వాన్ని సాధిస్తుంది ±0.08°C, ఖచ్చితమైన తయారీకి అత్యంత సమర్థవంతమైన శీతలీకరణను అందిస్తుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క ఖచ్చితమైన ప్రపంచంలో, లితోగ్రఫీ యంత్రాలు మైక్రో సర్క్యూట్ నమూనాల బదిలీకి ప్రధాన పరికరాలు. సాంకేతిక పరిజ్ఞానం అభివృద్ధి చెందడంతో, క్రిప్టాన్ ఫ్లోరైడ్ లితోగ్రఫీ యంత్రం మరియు ఆర్గాన్ ఫ్లోరైడ్ లితోగ్రఫీ యంత్రం వాటి అద్భుతమైన పనితీరుతో పరిశ్రమ అభివృద్ధిని ప్రోత్సహించడానికి ఒక ముఖ్యమైన శక్తిగా మారాయి.