Έκτακτα Νέα: Το MIIT προωθεί εγχώριες μηχανές λιθογραφίας DUV με ακρίβεια επικάλυψης ≤8nm

Τους τελευταίους μήνες, το Υπουργείο Βιομηχανίας και Τεχνολογίας Πληροφοριών (MIIT) εξέδωσε τις «Οδηγίες για την Προώθηση και Εφαρμογή του Πρώτου (Σετ) Βασικού Τεχνικού Εξοπλισμού (Έκδοση 2024)». Αυτό ανοίγει το δρόμο για την πλήρη τοπική προσαρμογή της κατασκευής ώριμων τσιπ για κόμβους άνω των 28nm!

Παρόλο που η τεχνολογία 28nm δεν είναι πρωτοποριακή, κατέχει σημαντική θέση ως διαχωριστική γραμμή μεταξύ τσιπ χαμηλής έως μεσαίας και μεσαίας έως υψηλής τεχνολογίας. Εκτός από τις προηγμένες CPU, GPU και τσιπ τεχνητής νοημοσύνης, τα περισσότερα τσιπ βιομηχανικής ποιότητας βασίζονται σε τεχνολογίες 28nm ή υψηλότερες.

Αρχή Λειτουργίας: Εξελίξεις στη Λιθογραφία Βαθιάς Υπεριώδους Ακτίνας

Οι μηχανές λιθογραφίας KrF (φθοριούχο κρυπτό) και ArF (φθοριούχο αργό) εμπίπτουν στην κατηγορία της λιθογραφίας βαθέος υπεριώδους ακτινοβολίας (DUV). Και τα δύο χρησιμοποιούν συγκεκριμένα μήκη κύματος φωτός που προβάλλονται μέσω οπτικών συστημάτων στο στρώμα φωτοευαίσθητου υλικού ενός πλακιδίου πυριτίου, μεταφέροντας περίπλοκα μοτίβα κυκλωμάτων.

Μηχανές Λιθογραφίας KrF: Χρησιμοποιήστε μια πηγή φωτός μήκους κύματος 248nm, επιτυγχάνοντας αναλύσεις κάτω των 110nm, κατάλληλη για διάφορες διαδικασίες κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.

Μηχανές Λιθογραφίας ArF: Χρησιμοποιήστε μια πηγή φωτός μήκους κύματος 193nm, προσφέροντας υψηλότερη ανάλυση για τεχνολογίες διεργασιών κάτω των 65nm, επιτρέποντας την κατασκευή λεπτότερων κυκλωμάτων.

Τεχνολογική Σημασία: Αναβάθμιση Βιομηχανίας και Αυτονομία

Η ανάπτυξη αυτών των μηχανών λιθογραφίας σηματοδοτεί ένα σημαντικό ορόσημο στην προώθηση της κατασκευής ημιαγωγών και στην επίτευξη βιομηχανικής αυτονομίας.:

Τεχνικές καινοτομίες: Η επιτυχημένη δημιουργία μηχανών λιθογραφίας KrF και ArF υπογραμμίζει τη σημαντική πρόοδο στην τεχνολογία λιθογραφίας υψηλής τεχνολογίας, παρέχοντας ισχυρή τεχνική υποστήριξη για την κατασκευή ημιαγωγών.

Αναβάθμιση Βιομηχανίας: Οι μηχανές λιθογραφίας υψηλής ακρίβειας επιτρέπουν την παραγωγή πιο σύνθετων και υψηλής απόδοσης ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, προωθώντας την καινοτομία σε ολόκληρη την αλυσίδα αξίας των ημιαγωγών.

Οικονομική και Εθνική Ασφάλεια: Μειώνοντας την εξάρτηση από την ξένη τεχνολογία, αυτά τα μηχανήματα ενισχύουν την αυτάρκεια της εγχώριας βιομηχανίας ημιαγωγών, ενισχύοντας την οικονομική και βιομηχανική ασφάλεια.

Ψύκτης νερού : Το κλειδί για σταθερή απόδοση μηχανής λιθογραφίας

Ο ακριβής έλεγχος της θερμοκρασίας είναι απαραίτητος για τη διασφάλιση της ποιότητας και της απόδοσης της λιθογραφικής διαδικασίας. Οι ψύκτες νερού, ως βασικά εξαρτήματα των συστημάτων ψύξης, διαδραματίζουν ζωτικό ρόλο:

Απαιτήσεις ψύξης: Οι μηχανές λιθογραφίας είναι εξαιρετικά ευαίσθητες στις διακυμάνσεις της θερμοκρασίας κατά την έκθεση, γεγονός που καθιστά απαραίτητες ψύκτες νερού που παρέχουν εξαιρετικά ακριβή και σταθερό έλεγχο της θερμοκρασίας.

Λειτουργίες των ψυκτικών συγκροτημάτων: Με την κυκλοφορία του ψυκτικού νερού, τα ψυκτικά συγκροτήματα διαχέουν αποτελεσματικά τη θερμότητα που παράγεται κατά τη λειτουργία, διατηρώντας τον εξοπλισμό λέιζερ εντός του βέλτιστου εύρους θερμοκρασίας και εξασφαλίζοντας ακρίβεια και αξιοπιστία στη διαδικασία λιθογραφίας.

Η TEYU Chiller προσφέρει επαγγελματικές λύσεις ψύξης για μηχανήματα λιθογραφίας

Τα υπερταχέα ψυκτικά συγκροτήματα λέιζερ της σειράς TEYU CWUP μπορούν να παρέχουν ακριβή και σταθερό έλεγχο θερμοκρασίας για μηχανές λιθογραφίας. Ο μοντέλο ψύκτη CWUP-20ANP επιτυγχάνει σταθερότητα θερμοκρασίας ±0.08°C, παρέχοντας εξαιρετικά αποτελεσματική ψύξη για κατασκευή ακριβείας.

Στον ακριβή κόσμο της κατασκευής ημιαγωγών, οι μηχανές λιθογραφίας είναι οι βασικές συσκευές για τη μεταφορά μοτίβων μικροκυκλωμάτων. Με την πρόοδο της τεχνολογίας, η μηχανή λιθογραφίας με φθοριούχο κρυπτό και η μηχανή λιθογραφίας με φθοριούχο αργό έχουν γίνει μια σημαντική δύναμη για την προώθηση της ανάπτυξης της βιομηχανίας με την εξαιρετική τους απόδοση.