Tin tức nóng hổi: MIIT quảng bá máy in thạch bản DUV nội địa có độ chính xác phủ ≤8nm

Trong những tháng gần đây, Bộ Công nghiệp và Công nghệ thông tin (MIIT) đã ban hành "Hướng dẫn thúc đẩy và ứng dụng Thiết bị kỹ thuật chính (Bộ) đầu tiên (Phiên bản 2024)". Điều này mở đường cho việc nội địa hóa toàn bộ quy trình sản xuất chip trưởng thành cho các nút trên 28nm!

Mặc dù công nghệ 28nm không phải là công nghệ tiên tiến nhất, nhưng nó có tầm quan trọng đáng kể khi là ranh giới phân chia giữa chip tầm thấp đến tầm trung và chip tầm trung đến cao cấp. Ngoài CPU, GPU và chip AI tiên tiến, hầu hết các chip cấp công nghiệp đều dựa trên công nghệ 28nm hoặc cao hơn.

Nguyên lý hoạt động: Những tiến bộ trong công nghệ in thạch bản cực tím sâu

Máy quang khắc KrF (Krypton Fluoride) và ArF (Argon Fluoride) thuộc loại máy quang khắc tia cực tím sâu (DUV). Cả hai đều sử dụng các bước sóng ánh sáng cụ thể chiếu qua hệ thống quang học lên lớp chất cản quang của tấm silicon, truyền các mẫu mạch phức tạp.

Máy in thạch bản KrF: Sử dụng nguồn sáng có bước sóng 248nm, đạt độ phân giải dưới 110nm, phù hợp với nhiều quy trình sản xuất mạch tích hợp khác nhau.

Máy in thạch bản ArF: Sử dụng nguồn sáng có bước sóng 193nm, cung cấp độ phân giải cao hơn cho công nghệ xử lý dưới 65nm, cho phép chế tạo các mạch tốt hơn.

Ý nghĩa công nghệ: Nâng cấp ngành công nghiệp và tự lực

Sự phát triển của các máy in thạch bản này đánh dấu một cột mốc quan trọng trong việc thúc đẩy sản xuất chất bán dẫn và đạt được tính tự chủ trong công nghiệp:

Đột phá kỹ thuật: Việc chế tạo thành công máy quang khắc KrF và ArF đánh dấu bước tiến đáng kể trong công nghệ quang khắc cao cấp, cung cấp hỗ trợ kỹ thuật mạnh mẽ cho sản xuất chất bán dẫn.

Nâng cấp ngành công nghiệp: Máy quang khắc có độ chính xác cao cho phép sản xuất các mạch tích hợp phức tạp hơn và hiệu suất cao hơn, thúc đẩy sự đổi mới trên toàn bộ chuỗi giá trị bán dẫn.

Kinh tế và An ninh Quốc gia: Bằng cách giảm sự phụ thuộc vào công nghệ nước ngoài, những máy móc này củng cố khả năng tự cung tự cấp của ngành công nghiệp bán dẫn trong nước, tăng cường an ninh kinh tế và công nghiệp.

Máy làm lạnh nước : Chìa khóa cho hiệu suất ổn định của máy in thạch bản

Kiểm soát nhiệt độ chính xác là điều cần thiết để đảm bảo chất lượng và năng suất của quá trình in thạch bản. Máy làm lạnh nước, là thành phần cốt lõi của hệ thống làm mát, đóng vai trò quan trọng:

Yêu cầu làm mát: Máy in thạch bản cực kỳ nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt độ trong quá trình phơi sáng, đòi hỏi phải có máy làm lạnh nước có khả năng kiểm soát nhiệt độ cực kỳ chính xác và ổn định.

Chức năng của máy làm lạnh: Bằng cách tuần hoàn nước làm mát, máy làm lạnh tản nhiệt hiệu quả trong quá trình vận hành, duy trì thiết bị laser trong phạm vi nhiệt độ tối ưu và đảm bảo độ chính xác và độ tin cậy trong quá trình in thạch bản.

Máy làm lạnh TEYU cung cấp giải pháp làm mát chuyên nghiệp cho máy in thạch bản

Máy làm lạnh laser siêu nhanh dòng TEYU CWUP có thể cung cấp khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác và ổn định cho máy in thạch bản. Các máy làm lạnh model CWUP-20ANP đạt được sự ổn định nhiệt độ của ±0.08°C, cung cấp khả năng làm mát hiệu quả cao cho sản xuất chính xác.

Trong thế giới sản xuất chất bán dẫn chính xác, máy in thạch bản là thiết bị cốt lõi để chuyển các mẫu vi mạch. Với sự tiến bộ của công nghệ, máy quang khắc krypton fluoride và máy quang khắc argon fluoride đã trở thành động lực quan trọng thúc đẩy sự phát triển của ngành công nghiệp nhờ hiệu suất tuyệt vời của chúng.