Awọn iroyin Itupalẹ: MIIT Ṣe Igbelaruge Awọn Ẹrọ Lithography DUV Abele pẹlu Itọkasi Agbekọja ≤8nm

Ni awọn oṣu to ṣẹṣẹ, Ile-iṣẹ ti Ile-iṣẹ ati Imọ-ẹrọ Alaye (MIIT) ti gbejade “Awọn Itọsọna fun Igbega ati Ohun elo ti Akọkọ (Ṣeto) Awọn Ohun elo Imọ-ẹrọ Pataki (2024 Edition)”. Eyi pa ọna fun isọdi ilana ni kikun ti iṣelọpọ chirún ogbo fun awọn apa loke 28nm!

Botilẹjẹpe imọ-ẹrọ 28nm kii ṣe gige-eti, o ṣe pataki pataki bi laini pipin laarin kekere-si-aarin-opin ati aarin-si-opin-giga awọn eerun igi. Yato si awọn Sipiyu ti ilọsiwaju, awọn GPUs, ati awọn eerun AI, pupọ julọ awọn eerun-ipe ile-iṣẹ gbarale 28nm tabi awọn imọ-ẹrọ giga julọ.

Ilana Ṣiṣẹ: Awọn ilọsiwaju ninu Lithography Ultraviolet Jin

KrF (Krypton Fluoride) ati ArF (Argon Fluoride) awọn ẹrọ lithography ṣubu labẹ ẹka ti Deep Ultraviolet (DUV) lithography. Mejeeji lo awọn iwọn gigun ina kan pato ti a ṣe akanṣe nipasẹ awọn ọna ṣiṣe opiti si Layer photoresist ti wafer ohun alumọni, gbigbe awọn ilana iyika intricate.

Awọn ẹrọ Lithography KrF: Lo orisun ina gigun 248nm, iyọrisi awọn ipinnu ni isalẹ 110nm, o dara fun ọpọlọpọ awọn ilana iṣelọpọ iyika iṣọpọ.

ArF Lithography Machines: Lo orisun ina gigun ti 193nm, nfunni ni ipinnu ti o ga julọ fun awọn imọ-ẹrọ ilana iha-65nm, ṣiṣe iṣelọpọ ti awọn iyika to dara julọ.

Imọ-ẹrọ Imọ-ẹrọ: Igbesoke Ile-iṣẹ ati Igbẹkẹle Ara-ẹni

Idagbasoke ti awọn ẹrọ lithography wọnyi jẹ ami-iṣẹlẹ pataki kan ni ilọsiwaju iṣelọpọ semikondokito ati iyọrisi ominira ile-iṣẹ:

Imọ Breakthroughs: Ṣiṣẹda aṣeyọri ti KrF ati awọn ẹrọ lithography ArF ṣe afihan ilọsiwaju pataki ni imọ-ẹrọ lithography giga-giga, n pese atilẹyin imọ-ẹrọ to lagbara fun iṣelọpọ semikondokito.

Igbesoke ile ise: Awọn ẹrọ lithography pipe-giga jẹ ki iṣelọpọ ti eka diẹ sii ati awọn iyika iṣiṣẹpọ iṣẹ-giga, imudara imotuntun kọja gbogbo pq iye semikondokito.

Eto-ọrọ-aje ati Aabo Orilẹ-ede: Nipa idinku igbẹkẹle lori imọ-ẹrọ ajeji, awọn ẹrọ wọnyi teramo iraye ara ẹni ti ile-iṣẹ semikondokito inu ile, imudara eto-ọrọ aje ati aabo ile-iṣẹ.

Omi Chiller : Awọn Key to Idurosinsin Lithography Machine Performance

Iṣakoso iwọn otutu deede jẹ pataki fun idaniloju didara ati ikore ti ilana lithography. Awọn chillers omi, gẹgẹbi awọn paati pataki ti awọn ọna itutu agbaiye, ṣe ipa pataki:

Awọn ibeere Itutu agbaiye: Awọn ẹrọ Lithography jẹ ifarabalẹ gaan si awọn iyipada iwọn otutu lakoko ifihan, iwulo awọn chillers omi ti o pese deede ati iṣakoso iwọn otutu iduroṣinṣin.

Awọn iṣẹ ti Chillers: Nipa kaakiri omi itutu agbaiye, awọn chillers ni imunadoko tu ooru ti ipilẹṣẹ lakoko iṣẹ ṣiṣe, mimu ohun elo laser laarin iwọn otutu ti o dara julọ ati aridaju deede ati igbẹkẹle ninu ilana lithography.

TEYU Chiller Pese Awọn solusan Itutu Ọjọgbọn fun Awọn ẹrọ Lithography

TEYU CWUP jara ultrafast laser chillers le pese kongẹ ati iṣakoso iwọn otutu iduroṣinṣin fun awọn ẹrọ lithography. Awọn chiller awoṣe CWUP-20ANP se aseyori otutu iduroṣinṣin ti ±0.08°C, jiṣẹ itutu agbaiye to munadoko fun iṣelọpọ deede.

Ni agbaye deede ti iṣelọpọ semikondokito, awọn ẹrọ lithography jẹ awọn ẹrọ mojuto fun gbigbe awọn ilana microcircuit. Pẹlu ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ, krypton fluoride lithography ẹrọ ati argon fluoride lithography ẹrọ ti di agbara pataki lati ṣe igbelaruge idagbasoke ile-iṣẹ pẹlu iṣẹ ti o dara julọ.