Nûçeyên Dawî: MIIT Makîneyên Lîtografiya DUV ya Navxweyî bi Rastbûna Rûpûşkirinê ya ≤8nm Pêşve Dike

Di mehên dawî de, Wezareta Pîşesazî û Teknolojiya Agahdariyê (MIIT) "Rêbernameyên ji bo Pêşvebirin û Bikaranîna Yekem (Seta) Amûrên Teknîkî yên Sereke (Çapa 2024)" weşand. Ev rê li ber herêmîkirina pêvajoya tevahî ya çêkirina çîpên gihîştî ji bo girêkên li jor 28nm vedike!

Her çend teknolojiya 28nm ne pêşketî be jî, ew wekî xêza dabeşkirinê di navbera çîpên nizm-ber-navîn û navîn-ber-bilind de girîngiyek girîng digire. Ji bilî CPU, GPU, û çîpên AI yên pêşketî, piraniya çîpên pola pîşesaziyê bi teknolojiyên 28nm an jî bilindtir ve girêdayî ne.

Prensîba Xebatê: Pêşketinên di Lîtografiya Ultraviyole ya Kûr de

Makîneyên lîtografiyê yên KrF (Krypton Florîd) û ArF (Argon Florîd) di bin kategoriya lîtografiya Ultraviyole Kûr (DUV) de ne. Herdu jî dirêjahiyên pêlên ronahiyê yên taybetî yên ku bi rêya pergalên optîkî li ser çîna fotoberxwedêr a waferek silîkonê têne pêşandan, bikar tînin, û şêwazên devreyê yên tevlihev vediguhezînin.

Makîneyên Lîtografiyê yên KrF: Çavkaniyek ronahiyê ya dirêjahiya pêlê ya 248nm bikar bînin, çareseriyên li jêr 110nm bi dest bixin, ku ji bo pêvajoyên cûrbecûr ên çêkirina devreyên entegre guncan e.

Makîneyên Lîtografiyê yên ArF: Çavkaniyek ronahiyê ya dirêjahiya pêlê ya 193nm bikar bînin, ku ji bo teknolojiyên pêvajoyê yên bin-65nm çareseriyek bilindtir pêşkêş dike, û dihêle ku devreyên hûrtir werin çêkirin.

Girîngiya Teknolojîk: Nûjenkirina Pîşesaziyê û Xweserî

Pêşxistina van makîneyên lîtografiyê nîşana qonaxek girîng e di pêşvebirina çêkirina nîvconductor û bidestxistina xweseriya pîşesaziyê de.:

Pêşketinên Teknîkî: Afirandina serkeftî ya makîneyên lîtografiyê yên KrF û ArF pêşketineke girîng di teknolojiya lîtografiyê ya asta bilind de nîşan dide, û piştgiriyeke teknîkî ya xurt ji bo çêkirina nîvconductor peyda dike.

Nûvekirina Pîşesaziyê: Makîneyên lîtografiyê yên rastbûna bilind rê didin hilberîna devreyên entegre yên tevlihevtir û performansa bilind, û nûbûnê li seranserê zincîra nirxa nîvconductor dimeşînin.

Ewlekariya Aborî û Neteweyî: Bi kêmkirina girêdayîbûna bi teknolojiya biyanî, ev makîne xweseriya pîşesaziya nîvconductor a navxweyî xurt dikin, ewlehiya aborî û pîşesaziyê xurt dikin.

Sarincokê Avê : Kilîda Performansa Makîneya Lîtografiyê ya Sabît

Kontrolkirina germahiyê ya rast ji bo misogerkirina kalîte û berhema pêvajoya lîtografiyê girîng e. Sarincên avê, wekî pêkhateyên bingehîn ên pergalên sarkirinê, roleke girîng dilîzin:

Pêdiviyên Sarkirinê: Makîneyên lîtografiyê di dema danîna avê de ji guherînên germahiyê re pir hesas in, ji ber vê yekê sarincokên avê yên ku kontrola germahiyê pir rast û sabît peyda dikin hewce dike.

Fonksiyonên Sarincokan: Bi gerandina ava sarkirinê, sarinc bi bandor germahiya di dema xebitandinê de çêdibe belav dikin, alavên lazerê di nav rêjeya germahiya çêtirîn de dihêlin û di pêvajoya lîtografiyê de rastbûn û pêbaweriyê misoger dikin.

TEYU Sarincok Ji Bo Makîneyên Lîtografiyê Çareseriyên Sarbûnê yên Profesyonel Pêşkêş Dike

Sarkerên lazer ên ultrafast ên rêzeya TEYU CWUP dikarin kontrola germahiyê ya rast û stabîl ji bo makîneyên lîtografiyê peyda bikin. Ew modela sarincokê CWUP-20ANP aramiya germahiyê bi dest dixe ±0.08°C, ji bo çêkirina rastîn sarbûna pir bikêr peyda dike.

Di cîhana rastîn a çêkirina nîvconductoran de, makîneyên lîtografiyê amûrên sereke ne ji bo veguhestina şablonên mîkroçerxeyan. Bi pêşketina teknolojiyê re, makîneya lîtografiya krîpton florîd û makîneya lîtografiya argon florîd bi performansa xwe ya hêja bûne hêzek girîng da ku pêşkeftina pîşesaziyê pêşve bibin.