Nûçeyên Dawî: MIIT Makîneyên Lîtografiya DUV ya Navxweyî bi Rastbûna Rûpûşkirinê ya ≤8nm Pêşve Dike

Di mehên dawî de, Wezareta Pîşesazî û Teknolojiya Agahdariyê (MIIT) "Rêbernameyên ji bo Pêşvebirin û Bikaranîna Yekem (Set) Amûrên Teknîkî yên Sereke (Çapa 2024)" weşand. Ev rê li ber herêmîkirina pêvajoya tevahî ya çêkirina çîpên gihîştî ji bo girêkên li jor 28nm vedike!

Her çend teknolojiya 28nm ne pêşketî be jî, ew wekî xêza veqetandinê di navbera çîpên asta nizm û navîn û asta bilind de xwedî girîngiyek mezin e. Ji bilî CPU, GPU û çîpên AI yên pêşkeftî, piraniya çîpên asta pîşesaziyê xwe dispêrin teknolojiyên 28nm an jî bilindtir.

Prensîba Xebatê: Pêşketinên di Lîtografiya Ultraviyole ya Kûr de

Makîneyên lîtografiyê yên KrF (Krypton Florîd) û ArF (Argon Florîd) di bin kategoriya lîtografiya Ultraviyole ya Kûr (DUV) de ne. Her du jî dirêjahiya pêlên ronahiyê yên taybetî bikar tînin ku bi rêya pergalên optîkî li ser qata fotoresîst a waferek silîkonê têne pêşandan, û şêwazên devreyê yên tevlihev vediguhezînin.

Makîneyên Lîtografiyê yên KrF: Çavkaniyek ronahiyê ya dirêjahiya pêlê ya 248nm bikar tînin, çareseriyên li jêr 110nm bi dest dixin, ku ji bo cûrbecûr pêvajoyên çêkirina devreyên entegre guncan e.

Makîneyên Lîtografiya ArF: Çavkaniyek ronahiyê ya dirêjahiya pêlê ya 193nm bikar tînin, ku ji bo teknolojiyên pêvajoyê yên bin-65nm çareseriyek bilindtir pêşkêş dike, û dihêle ku devreyên naziktir werin çêkirin.

Girîngiya Teknolojîk: Nûjenkirina Pîşesaziyê û Xweserî

Pêşxistina van makîneyên lîtografiyê nîşana qonaxek girîng e di pêşvebirina çêkirina nîvconductor û bidestxistina xweseriya pîşesaziyê de:

Pêşketinên Teknîkî: Afirandina serkeftî ya makîneyên lîtografiyê yên KrF û ArF pêşketinên girîng di teknolojiya lîtografiyê ya asta bilind de nîşan dide, û piştgiriyek teknîkî ya xurt ji bo çêkirina nîvconductor peyda dike.

Nûjenkirina Pîşesaziyê: Makîneyên lîtografiyê yên rastbûna bilind rê didin hilberîna devreyên entegre yên tevlihevtir û performansa bilind, û nûbûnê li seranserê zincîra nirxa nîvconductor dimeşînin.

Ewlekariya Aborî û Neteweyî: Bi kêmkirina girêdayîbûna bi teknolojiya biyanî, ev makîne xweseriya pîşesaziya nîvconductor a navxweyî xurt dikin, ewlehiya aborî û pîşesaziyê xurt dikin.

Sarincokê Avê : Kilîda Performansa Makîneya Lîtografiyê ya Sabît

Kontrolkirina germahiyê ya rast ji bo misogerkirina kalîte û berhemdariya pêvajoya lîtografiyê girîng e. Sarincên avê, wekî pêkhateyên bingehîn ên pergalên sarkirinê, roleke girîng dilîzin:

Pêdiviyên Sarkirinê: Makîneyên lîtografiyê di dema danîna ser avê de ji guherînên germahiyê re pir hesas in, ji ber vê yekê sarincokên avê yên ku kontrola germahiyê pir rast û sabît peyda dikin hewce dikin.

Fonksiyonên Sarincokan: Bi gerandina ava sarkirinê, sarincok bi bandor germahiya ku di dema xebitandinê de çêdibe belav dikin, alavên lazerê di nav rêjeya germahiya çêtirîn de dihêlin û di pêvajoya lîtografiyê de rastbûn û pêbaweriyê misoger dikin.

TEYU Sarincok Ji Bo Makîneyên Lîtografiyê Çareseriyên Sarbûnê yên Profesyonel Pêşkêş Dike

Sarkerên lazer ên ultralez ên rêzeya TEYU CWUP dikarin ji bo makîneyên lîtografiyê kontrola germahiyê ya rast û sabît peyda bikin. Modela sarincokê CWUP-20ANP aramiya germahiyê ya ±0.08°C bi dest dixe, û ji bo hilberîna rast sarbûna pir bikêr peyda dike.

Di cîhana rastîn a çêkirina nîvconductoran de, makîneyên lîtografiyê amûrên bingehîn in ji bo veguhestina şablonên mîkroçerxeyan. Bi pêşketina teknolojiyê re, makîneya lîtografiyê ya krîpton florîd û makîneya lîtografiyê ya argon florîd bi performansa xwe ya hêja bûne hêzek girîng ji bo pêşvebirina pîşesaziyê.