ข่าวล่าสุด: MIIT ส่งเสริมเครื่องพิมพ์หิน DUV ในประเทศที่มีความแม่นยำในการซ้อนทับ ≤8 นาโนเมตร

ในช่วงไม่กี่เดือนที่ผ่านมา กระทรวงอุตสาหกรรมและเทคโนโลยีสารสนเทศ (MIIT) ได้ออก "แนวปฏิบัติสำหรับการส่งเสริมและการใช้อุปกรณ์ทางเทคนิคหลักชุดแรก (ฉบับปี 2024)" ซึ่งจะช่วยปูทางไปสู่การสร้างกระบวนการเต็มรูปแบบสำหรับการผลิตชิปที่สมบูรณ์แบบสำหรับโหนดที่ใหญ่กว่า 28 นาโนเมตร!

แม้ว่าเทคโนโลยี 28 นาโนเมตรจะไม่ใช่เทคโนโลยีที่ล้ำสมัย แต่ก็มีความสำคัญอย่างมากในฐานะเส้นแบ่งระหว่างชิประดับล่างถึงระดับกลางและระดับกลางถึงระดับสูง นอกเหนือจาก CPU, GPU และชิป AI ขั้นสูงแล้ว ชิประดับอุตสาหกรรมส่วนใหญ่ยังใช้เทคโนโลยี 28 นาโนเมตรขึ้นไป

หลักการทำงาน: ความก้าวหน้าในการพิมพ์หินอัลตราไวโอเลตเชิงลึก

เครื่องพิมพ์หิน KrF (คริปทอนฟลูออไรด์) และ ArF (อาร์กอนฟลูออไรด์) จัดอยู่ในประเภทเครื่องพิมพ์หินอัลตราไวโอเลตลึก (DUV) ทั้งสองใช้ความยาวคลื่นแสงเฉพาะที่ฉายผ่านระบบออปติกไปที่ชั้นโฟโตเรซิสต์ของเวเฟอร์ซิลิกอน เพื่อถ่ายโอนรูปแบบวงจรที่ซับซ้อน

เครื่องพิมพ์หิน KrF: ใช้แหล่งกำเนิดแสงที่มีความยาวคลื่น 248 นาโนเมตร ให้ความละเอียดต่ำกว่า 110 นาโนเมตร เหมาะสำหรับกระบวนการผลิตวงจรรวมต่างๆ

เครื่องพิมพ์หิน ArF: ใช้แหล่งกำเนิดแสงที่มีความยาวคลื่น 193 นาโนเมตร ซึ่งให้ความละเอียดสูงกว่าสำหรับเทคโนโลยีกระบวนการย่อย 65 นาโนเมตร ช่วยให้สามารถผลิตวงจรที่มีความละเอียดมากขึ้นได้

ความสำคัญทางเทคโนโลยี: การยกระดับอุตสาหกรรมและการพึ่งพาตนเอง

การพัฒนาเครื่องจักรพิมพ์หินเหล่านี้ถือเป็นก้าวสำคัญในการยกระดับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการบรรลุความเป็นอิสระทางอุตสาหกรรม:

ความก้าวหน้าทางเทคนิค: ความสำเร็จในการสร้างเครื่องจักรพิมพ์หิน KrF และ ArF ถือเป็นการเน้นย้ำถึงความก้าวหน้าครั้งสำคัญในเทคโนโลยีการพิมพ์หินขั้นสูง ซึ่งให้การสนับสนุนทางเทคนิคที่แข็งแกร่งสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

การอัพเกรดอุตสาหกรรม: เครื่องจักรลิโธกราฟีที่มีความแม่นยำสูงช่วยให้สามารถผลิตวงจรรวมที่มีความซับซ้อนและประสิทธิภาพสูงขึ้นได้ ส่งผลให้มีนวัตกรรมเกิดขึ้นทั่วทั้งห่วงโซ่คุณค่าของเซมิคอนดักเตอร์

ความมั่นคงทางเศรษฐกิจและชาติ: โดยการลดการพึ่งพาเทคโนโลยีต่างประเทศ เครื่องจักรเหล่านี้จะช่วยเสริมสร้างความพึ่งตนเองของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในประเทศ ส่งผลให้ความมั่นคงทางเศรษฐกิจและอุตสาหกรรมแข็งแกร่งขึ้น

เครื่องทำน้ำเย็น :กุญแจสู่ประสิทธิภาพเครื่องพิมพ์หินที่เสถียร

การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำมีความจำเป็นเพื่อรับประกันคุณภาพและผลผลิตของกระบวนการพิมพ์หิน เครื่องทำน้ำเย็นเป็นส่วนประกอบหลักของระบบทำความเย็นซึ่งมีบทบาทสำคัญ:

ข้อกำหนดการทำความเย็น: เครื่องพิมพ์ลิโธกราฟีมีความอ่อนไหวต่อความผันผวนของอุณหภูมิในระหว่างการรับแสงเป็นอย่างมาก จึงจำเป็นต้องใช้เครื่องทำความเย็นด้วยน้ำที่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำและเสถียรสูง

ฟังก์ชั่นของเครื่องทำความเย็น: โดยการหมุนเวียนน้ำหล่อเย็น เครื่องทำความเย็นสามารถระบายความร้อนที่เกิดขึ้นระหว่างการทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยรักษาอุปกรณ์เลเซอร์ให้อยู่ในช่วงอุณหภูมิที่เหมาะสม และรับประกันความแม่นยำและความน่าเชื่อถือในกระบวนการพิมพ์หิน

TEYU Chiller นำเสนอโซลูชันการระบายความร้อนระดับมืออาชีพสำหรับเครื่องพิมพ์ลิโธกราฟี

เครื่องทำความเย็นเลเซอร์ความเร็วสูงซีรีส์ TEYU CWUP สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำและเสถียรสำหรับเครื่องพิมพ์หิน การ เครื่องทำความเย็นรุ่น CWUP-20ANP บรรลุเสถียรภาพอุณหภูมิของ ±0.08°C มอบการระบายความร้อนที่มีประสิทธิภาพสูงสำหรับการผลิตที่มีความแม่นยำ

ในโลกที่แม่นยำของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องจักรลิโธกราฟีถือเป็นอุปกรณ์หลักสำหรับการถ่ายโอนรูปแบบไมโครเซอร์กิต ด้วยความก้าวหน้าของเทคโนโลยี เครื่องพิมพ์หินคริปทอนฟลูออไรด์และเครื่องพิมพ์หินอาร์กอนฟลูออไรด์ได้กลายมาเป็นกำลังสำคัญในการส่งเสริมการพัฒนาอุตสาหกรรมด้วยประสิทธิภาพอันยอดเยี่ยม