ბოლო თვეებში, მრეწველობისა და ინფორმაციული ტექნოლოგიების სამინისტრომ (MIIT) გამოსცა „პირველი (კომპლექტი) ძირითადი ტექნიკური აღჭურვილობის პოპულარიზაციისა და გამოყენების სახელმძღვანელო პრინციპები (2024 წლის გამოცემა)“. ეს გზას უხსნის 28 ნმ-ზე მეტი სიგრძის კვანძებისთვის განვითარებული ჩიპების წარმოების სრული პროცესის ლოკალიზაციისთვის!
მიუხედავად იმისა, რომ 28 ნმ ტექნოლოგია არ არის უახლესი, მას დიდი მნიშვნელობა აქვს, როგორც გამყოფ ხაზს დაბალი და საშუალო და საშუალო და მაღალი კლასის ჩიპებს შორის. მოწინავე პროცესორების, გრაფიკული პროცესორების და ხელოვნური ინტელექტის ჩიპების გარდა, სამრეწველო დონის ჩიპების უმეტესობა 28 ნმ ან უფრო მაღალ ტექნოლოგიებს ეყრდნობა.
![MIIT Promotes Domestic DUV Lithography Machines with ≤8nm Overlay Accuracy]()
მუშაობის პრინციპი: ღრმა ულტრაიისფერი ლითოგრაფიის მიღწევები
KrF (კრიპტონის ფტორიდი) და ArF (არგონის ფტორიდი) ლითოგრაფიული აპარატები ღრმა ულტრაიისფერი (DUV) ლითოგრაფიის კატეგორიას მიეკუთვნება. ორივე იყენებს სპეციფიკურ სინათლის ტალღის სიგრძეებს, რომლებიც ოპტიკური სისტემებით პროეცირდება სილიკონის ვაფლის ფოტორეზისტულ ფენაზე, რაც გადასცემს რთულ წრედურ შაბლონებს.
KrF ლითოგრაფიის მანქანები:
გამოიყენეთ 248 ნმ ტალღის სიგრძის სინათლის წყარო, რომელიც მიაღწევს 110 ნმ-ზე ნაკლებ გარჩევადობას, რაც შესაფერისია სხვადასხვა ინტეგრირებული სქემის წარმოების პროცესებისთვის.
ArF ლითოგრაფიის მანქანები:
გამოიყენეთ 193 ნმ ტალღის სიგრძის სინათლის წყარო, რომელიც 65 ნმ-ზე ნაკლები სიგრძის დამუშავების ტექნოლოგიებისთვის უფრო მაღალ გარჩევადობას გთავაზობთ, რაც უფრო დახვეწილი სქემების დამზადების საშუალებას იძლევა.
ტექნოლოგიური მნიშვნელობა: ინდუსტრიის განახლება და თვითკმარობა
ამ ლითოგრაფიული აპარატების შემუშავება მნიშვნელოვან ეტაპს წარმოადგენს ნახევარგამტარების წარმოების წინსვლისა და სამრეწველო ავტონომიის მიღწევის გზაზე.:
ტექნიკური მიღწევები:
KrF და ArF ლითოგრაფიული აპარატების წარმატებული შექმნა მაღალი დონის ლითოგრაფიული ტექნოლოგიების მნიშვნელოვან პროგრესს უსვამს ხაზს, რაც ნახევარგამტარების წარმოების მძლავრ ტექნიკურ მხარდაჭერას უზრუნველყოფს.
ინდუსტრიის განახლება:
მაღალი სიზუსტის ლითოგრაფიული დანადგარები საშუალებას იძლევა უფრო რთული და მაღალი ხარისხის ინტეგრირებული სქემების წარმოების, რაც ინოვაციების დანერგვას უწყობს ხელს ნახევარგამტარული ღირებულების მთელ ჯაჭვში.
ეკონომიკური და ეროვნული უსაფრთხოება: უცხოურ ტექნოლოგიებზე დამოკიდებულების შემცირებით, ეს მანქანები აძლიერებენ ადგილობრივი ნახევარგამტარული ინდუსტრიის თვითკმარობას, რაც ხელს უწყობს ეკონომიკურ და სამრეწველო უსაფრთხოებას.
წყლის გამაგრილებელი
: ლითოგრაფიული აპარატის სტაბილური მუშაობის გასაღები
ლითოგრაფიული პროცესის ხარისხისა და მოსავლიანობის უზრუნველსაყოფად აუცილებელია ტემპერატურის ზუსტი კონტროლი. წყლის გამაგრილებელი მოწყობილობები, როგორც გაგრილების სისტემების ძირითადი კომპონენტები, სასიცოცხლო როლს ასრულებენ.:
გაგრილების მოთხოვნები:
ლითოგრაფიული აპარატები უკიდურესად მგრძნობიარეა ტემპერატურის რყევების მიმართ ექსპოზიციის დროს, რაც მოითხოვს წყლის გამაგრილებელ აპარატებს, რომლებიც უზრუნველყოფენ მაღალი სიზუსტით და სტაბილური ტემპერატურის კონტროლს.
გამაგრილებლების ფუნქციები:
გამაგრილებელი წყლის ცირკულაციის გზით, გამაგრილებელი მოწყობილობები ეფექტურად ანაწილებენ მუშაობის დროს წარმოქმნილ სითბოს, ინარჩუნებენ ლაზერულ აღჭურვილობას ოპტიმალურ ტემპერატურულ დიაპაზონში და უზრუნველყოფენ ლითოგრაფიის პროცესის სიზუსტესა და საიმედოობას.
![Ultrafast laser chiller CWUP-20ANP with 0.08℃ stability]()
TEYU-ს გამაგრილებელი სისტემები ლითოგრაფიული მანქანებისთვის პროფესიონალურ გაგრილების გადაწყვეტილებებს გვთავაზობს
TEYU CWUP სერიის ულტრასწრაფი ლაზერული გამაგრილებელი მოწყობილობები ლითოგრაფიული აპარატებისთვის ტემპერატურის ზუსტ და სტაბილურ კონტროლს უზრუნველყოფენ. ის
გამაგრილებელი მოდელი CWUP-20ANP
აღწევს ტემპერატურის სტაბილურობას ±0.08°C, რაც უზრუნველყოფს მაღალეფექტურ გაგრილებას ზუსტი წარმოებისთვის.
ნახევარგამტარების წარმოების ზუსტ სამყაროში, ლითოგრაფიული აპარატები მიკროსქემების ნიმუშების გადაცემის ძირითადი მოწყობილობებია. ტექნოლოგიების განვითარებასთან ერთად, კრიპტონის ფტორიდის შემცველი ლითოგრაფიის აპარატი და არგონის ფტორიდის შემცველი ლითოგრაფიის აპარატი მათი შესანიშნავი შესრულებით მნიშვნელოვან ძალად იქცა ინდუსტრიის განვითარების ხელშესაწყობად.