უახლესი ამბავი: MIIT ხელს უწყობს ≤8 ნმ გადაფარვის სიზუსტის მქონე შიდა DUV ლითოგრაფიულ აპარატებს

ბოლო თვეებში, მრეწველობისა და ინფორმაციული ტექნოლოგიების სამინისტრომ (MIIT) გამოსცა „პირველი (კომპლექტი) ძირითადი ტექნიკური აღჭურვილობის პოპულარიზაციისა და გამოყენების სახელმძღვანელო (2024 წლის გამოცემა)“. ეს გზას უხსნის 28 ნმ-ზე მეტი სიგრძის კვანძებისთვის მომწიფებული ჩიპების წარმოების სრული პროცესის ლოკალიზაციისთვის!

მიუხედავად იმისა, რომ 28 ნმ ტექნოლოგია არ არის უახლესი, მას დიდი მნიშვნელობა აქვს, როგორც გამყოფ ხაზს დაბალი და საშუალო და საშუალო და მაღალი კლასის ჩიპებს შორის. მოწინავე პროცესორების, გრაფიკული პროცესორების და ხელოვნური ინტელექტის ჩიპების გარდა, სამრეწველო დონის ჩიპების უმეტესობა 28 ნმ ან უფრო მაღალ ტექნოლოგიებს ეყრდნობა.

მუშაობის პრინციპი: ღრმა ულტრაიისფერი ლითოგრაფიის მიღწევები

KrF (კრიპტონის ფტორიდი) და ArF (არგონის ფტორიდი) ლითოგრაფიული აპარატები ღრმა ულტრაიისფერი (DUV) ლითოგრაფიის კატეგორიას მიეკუთვნება. ორივე იყენებს სპეციფიკურ სინათლის ტალღის სიგრძეებს, რომლებიც ოპტიკური სისტემებით პროეცირდება სილიციუმის ვაფლის ფოტორეზისტულ ფენაზე და გადასცემს რთულ წრედურ სქემებს.

KrF ლითოგრაფიის მანქანები: იყენებენ 248 ნმ ტალღის სიგრძის სინათლის წყაროს, რაც უზრუნველყოფს 110 ნმ-ზე დაბალი გარჩევადობის მიღწევას, რაც შესაფერისია სხვადასხვა ინტეგრირებული სქემების წარმოების პროცესებისთვის.

ArF ლითოგრაფიის მანქანები: იყენებენ 193 ნმ ტალღის სიგრძის სინათლის წყაროს, რაც 65 ნმ-ზე ნაკლები პროცესის ტექნოლოგიებისთვის უფრო მაღალ გარჩევადობას უზრუნველყოფს, რაც უფრო წვრილი სქემების დამზადების საშუალებას იძლევა.

ტექნოლოგიური მნიშვნელობა: ინდუსტრიის განახლება და თვითკმარობა

ამ ლითოგრაფიული აპარატების შემუშავება მნიშვნელოვან ეტაპს წარმოადგენს ნახევარგამტარების წარმოების წინსვლისა და სამრეწველო ავტონომიის მიღწევის გზაზე:

ტექნიკური გარღვევები: KrF და ArF ლითოგრაფიული აპარატების წარმატებული შექმნა მაღალი დონის ლითოგრაფიული ტექნოლოგიების მნიშვნელოვან პროგრესს უსვამს ხაზს, რაც ნახევარგამტარების წარმოების მძლავრ ტექნიკურ მხარდაჭერას უზრუნველყოფს.

ინდუსტრიის განახლება: მაღალი სიზუსტის ლითოგრაფიული დანადგარები საშუალებას იძლევა უფრო რთული და მაღალი ხარისხის ინტეგრირებული სქემების წარმოების, რაც ინოვაციების დანერგვას მთელ ნახევარგამტარული ღირებულების ჯაჭვში უწყობს ხელს.

ეკონომიკური და ეროვნული უსაფრთხოება: უცხოურ ტექნოლოგიებზე დამოკიდებულების შემცირებით, ეს მანქანები აძლიერებენ ადგილობრივი ნახევარგამტარული ინდუსტრიის თვითკმარობას, რაც ხელს უწყობს ეკონომიკურ და სამრეწველო უსაფრთხოებას.

წყლის გამაგრილებელი : ლითოგრაფიული აპარატის სტაბილური მუშაობის გასაღები

ლითოგრაფიული პროცესის ხარისხისა და მოსავლიანობის უზრუნველსაყოფად აუცილებელია ტემპერატურის ზუსტი კონტროლი. წყლის გამაგრილებელი მოწყობილობები, როგორც გაგრილების სისტემების ძირითადი კომპონენტები, სასიცოცხლო როლს ასრულებენ:

გაგრილების მოთხოვნები: ლითოგრაფიული აპარატები უკიდურესად მგრძნობიარეა ტემპერატურის რყევების მიმართ ექსპოზიციის დროს, რაც მოითხოვს წყლის გამაგრილებელებს, რომლებიც უზრუნველყოფენ მაღალი სიზუსტით და სტაბილური ტემპერატურის კონტროლს.

გამაგრილებელი მოწყობილობების ფუნქციები: გამაგრილებელი წყლის ცირკულაციით, გამაგრილებელი მოწყობილობები ეფექტურად ანაწილებენ მუშაობის დროს წარმოქმნილ სითბოს, ინარჩუნებენ ლაზერულ აღჭურვილობას ოპტიმალურ ტემპერატურულ დიაპაზონში და უზრუნველყოფენ ლითოგრაფიის პროცესის სიზუსტესა და საიმედოობას.

TEYU-ს გამაგრილებელი სისტემები ლითოგრაფიული მანქანებისთვის პროფესიონალურ გაგრილების გადაწყვეტილებებს გვთავაზობს

TEYU CWUP სერიის ულტრასწრაფი ლაზერული გამაგრილებელი მოწყობილობები ლითოგრაფიული აპარატებისთვის ტემპერატურის ზუსტ და სტაბილურ კონტროლს უზრუნველყოფენ. გამაგრილებელი მოდელი CWUP-20ANP აღწევს ტემპერატურის სტაბილურობას ±0.08°C-ზე, რაც უზრუნველყოფს მაღალეფექტურ გაგრილებას ზუსტი წარმოებისთვის.

ნახევარგამტარების წარმოების ზუსტ სამყაროში, ლითოგრაფიული აპარატები მიკროსქემების ნიმუშების გადაცემის ძირითად მოწყობილობებს წარმოადგენენ. ტექნოლოგიების განვითარებასთან ერთად, კრიპტონის ფტორიდის ლითოგრაფიული აპარატი და არგონის ფტორიდის ლითოგრაფიული აპარატი მათი შესანიშნავი მუშაობით მნიშვნელოვან ძალად იქცა ინდუსტრიის განვითარების ხელშესაწყობად.