Anns na mìosan a dh’fhalbh, dh’fhoillsich Ministrealachd a’ Ghnìomhachais agus Teicneòlas Fiosrachaidh (MIIT) na “Stiùiridhean airson Brosnachadh agus Cur an Gnìomh a’ Chiad (Seata) Uidheam Teicnigeach Mòr (Deasachadh 2024)”. Tha seo a’ rèiteachadh na slighe airson làn-phròiseas ionadaileachadh saothrachadh sliseagan aibidh airson nódan os cionn 28nm!
Ged nach eil teicneòlas 28nm ùr-nodha, tha cudromachd mhòr aice mar an loidhne-sgaraidh eadar sgoltagan ìosal gu meadhan-ìre agus meadhan gu àrd-ìre. A bharrachd air CPUan, GPUan, agus sgoltagan AI adhartach, tha a’ mhòr-chuid de sgoltagan ìre gnìomhachais an urra ri teicneòlasan 28nm no nas àirde.
![MIIT Promotes Domestic DUV Lithography Machines with ≤8nm Overlay Accuracy]()
Prionnsabal Obrach: Adhartasan ann an Lithografaidh Ultrabhiolet Domhainn
Tha innealan lithagrafaidh KrF (Krypton Fluoride) agus ArF (Argon Fluoride) a’ tighinn fo roinn lithagrafaidh Ultraviolet Domhainn (DUV). Bidh an dithis a’ cleachdadh tonnan-solais sònraichte a thèid a phròiseict tro shiostaman optaigeach air an t-sreath photoresist de wafer silicon, a’ gluasad phàtranan cuairte iom-fhillte.
Innealan Litagrafaidh KrF:
Cleachd stòr solais le tonn-fhaid 248nm, a’ coileanadh rùintean fo 110nm, a tha freagarrach airson diofar phròiseasan saothrachaidh chuairtean amalaichte.
Innealan Lithografaidh ArF:
Cleachd stòr solais le tonn-fhaid 193nm, a’ tabhann rùn nas àirde airson teicneòlasan pròiseas fo-65nm, a’ comasachadh saothrachadh chuairtean nas grinne.
Cudromachd Teicneòlach: Ùrachadh Gnìomhachais agus Fèin-eisimeileachd
Tha leasachadh nan innealan litagrafaidh seo a’ comharrachadh clach-mhìle mhòr ann a bhith a’ cur air adhart saothrachadh leth-chonnsachaidh agus a’ coileanadh neo-eisimeileachd gnìomhachais.:
Adhartasan Teicnigeach:
Tha cruthachadh soirbheachail innealan lithagrafaidh KrF agus ArF a’ nochdadh adhartas mòr ann an teicneòlas lithagrafaidh àrd-inbhe, a’ toirt seachad taic theicnigeach làidir do saothrachadh leth-chonnsachaidh.
Ùrachadh Gnìomhachais:
Leigidh innealan lithagrafaidh àrd-chruinneas le cinneasachadh chuairtean amalaichte nas iom-fhillte agus àrd-choileanaidh, a’ stiùireadh ùr-ghnàthachadh air feadh an t-sèine luach leth-chonnsachaidh gu lèir.
Tèarainteachd Eaconamach is Nàiseanta: Le bhith a’ lughdachadh eisimeileachd air teicneòlas cèin, bidh na h-innealan sin a’ neartachadh fèin-sheasmhachd gnìomhachas leth-chonnsachaidh dachaigheil, a’ neartachadh tèarainteachd eaconamach is gnìomhachais.
Fuaradair Uisge
An iuchair airson coileanadh seasmhach inneal litografaidh
Tha smachd ceart air teòthachd riatanach gus dèanamh cinnteach à càileachd agus toradh a’ phròiseis lithagrafaidh. Tha fuaradairean uisge, mar phrìomh phàirtean de shiostaman fuarachaidh, a’ cluich pàirt riatanach:
Riatanasan Fuarachaidh:
Tha innealan lithagrafaidh air leth mothachail air atharrachaidhean teothachd rè nochdadh, agus mar sin feumar fuaradairean uisge a bheir seachad smachd teothachd a tha gu math ceart agus seasmhach.
Gnìomhan Fuaradairean:
Le bhith a’ cuairteachadh uisge fuarachaidh, bidh fuaradairean a’ sgaoileadh teas a thèid a chruthachadh rè obrachadh gu h-èifeachdach, a’ cumail uidheamachd laser taobh a-staigh raon teòthachd as fheàrr agus a’ dèanamh cinnteach à cruinneas agus earbsachd sa phròiseas lithagrafaidh.
![Ultrafast laser chiller CWUP-20ANP with 0.08℃ stability]()
Tha Fuaradair TEYU a’ tabhann fuasglaidhean fuarachaidh proifeasanta airson innealan litografaidh
Faodaidh fuaradairean laser ultra-luath sreath TEYU CWUP smachd teothachd mionaideach agus seasmhach a thoirt seachad airson innealan lithagrafaidh. An
modail fuaradair CWUP-20ANP
a’ coileanadh seasmhachd teòthachd ±0.08°C, a’ lìbhrigeadh fuarachadh fìor èifeachdach airson saothrachadh mionaideach.
Ann an saoghal mionaideach saothrachadh leth-chonnsachaidh, is e innealan lithagrafaidh na prìomh innealan airson pàtrain meanbh-chuairtean a ghluasad. Le adhartas teicneòlais, tha inneal litografaidh fluoride krypton agus inneal litografaidh fluoride argon air a bhith nan fheachd chudromach ann a bhith a’ brosnachadh leasachadh a’ ghnìomhachais leis an coileanadh sàr-mhath aca.