Naidheachdan Briste: Bidh MIIT a’ brosnachadh innealan litografaidh DUV dachaigheil le cruinneas còmhdach ≤8nm

Anns na mìosan a dh’fhalbh, dh’fhoillsich Ministrealachd a’ Ghnìomhachais agus Teicneòlais Fiosrachaidh (MIIT) na “Stiùiridhean airson Brosnachadh agus Cur an Gnìomh a’ Chiad (Seata) Uidheam Teicnigeach Mòr (Deasachadh 2024)”. Tha seo a’ rèiteachadh na slighe airson làn-phròiseas ionadail saothrachadh sliseagan aibidh airson nodan os cionn 28nm!

Ged nach eil teicneòlas 28nm ùr-nodha, tha cudromachd mhòr aice mar an loidhne-sgaraidh eadar sgoltagan ìosal gu meadhan-ìre agus meadhan gu àrd-ìre. A bharrachd air CPUan, GPUan, agus sgoltagan AI adhartach, tha a’ mhòr-chuid de sgoltagan ìre gnìomhachais an urra ri teicneòlasan 28nm no nas àirde.

Prionnsabal Obrach: Adhartasan ann an Lithografaidh Ultrabhiolet Domhainn

Tha innealan litografaidh KrF (Krypton Fluoride) agus ArF (Argon Fluoride) a’ tighinn fo roinn litografaidh Ultraviolet Deep (DUV). Bidh an dà chuid a’ cleachdadh tonnan solais sònraichte air an taisbeanadh tro shiostaman optigeach air an t-sreath photoresist de wafer silicon, a’ gluasad phàtranan cuairteachaidh iom-fhillte.

Innealan Litagrafaidh KrF: Cleachd stòr solais tonn-fhaid 248nm, a’ coileanadh rùintean fo 110nm, freagarrach airson diofar phròiseasan saothrachaidh chuairtean amalaichte.

Innealan Litagrafaidh ArF: Cleachd stòr solais tonn-fhaid 193nm, a’ tabhann rùn nas àirde airson teicneòlasan pròiseas fo-65nm, a’ comasachadh saothrachadh chuairtean nas grinne.

Cudromachd Teicneòlach: Ùrachadh Gnìomhachais agus Fèin-eisimeileachd

Tha leasachadh nan innealan litagrafaidh seo a’ comharrachadh clach-mhìle mhòr ann a bhith a’ cur air adhart saothrachadh leth-chonnsachaidh agus a’ coileanadh neo-eisimeileachd gnìomhachais:

Adhartasan Teicnigeach: Tha cruthachadh soirbheachail innealan lithagrafaidh KrF agus ArF a’ nochdadh adhartas mòr ann an teicneòlas lithagrafaidh àrd-inbhe, a’ toirt seachad taic theicnigeach làidir airson saothrachadh leth-chonnsachaidh.

Ùrachadh Gnìomhachais: Leigidh innealan litagrafaidh àrd-chruinneas le cinneasachadh chuairtean amalaichte nas iom-fhillte agus àrd-choileanaidh, a’ brosnachadh ùr-ghnàthachadh air feadh slabhraidh luach leth-chonnsachaidh gu lèir.

Tèarainteachd Eaconamach is Nàiseanta: Le bhith a’ lughdachadh eisimeileachd air teicneòlas cèin, bidh na h-innealan sin a’ neartachadh fèin-sheasmhachd gnìomhachas leth-chonnsachaidh dachaigheil, a’ neartachadh tèarainteachd eaconamach is gnìomhachais.

Fuaradair Uisge : An Iuchair airson Coileanadh Inneal Litagrafaidh Seasmhach

Tha smachd ceart air teòthachd riatanach airson dèanamh cinnteach à càileachd agus toradh a’ phròiseis litografaidh. Tha fuaradairean uisge, mar phrìomh phàirtean de shiostaman fuarachaidh, a’ cluich pàirt riatanach:

Riatanasan Fuarachaidh: Tha innealan lithagrafaidh air leth mothachail air atharrachaidhean teothachd rè nochdadh, agus mar sin feumaidh iad fuaradairean uisge a bheir seachad smachd teothachd a tha gu math ceart agus seasmhach.

Gnìomhan Fuaradairean: Le bhith a’ cuairteachadh uisge fuarachaidh, bidh fuaradairean a’ sgaoileadh teas a thèid a chruthachadh rè obrachadh gu h-èifeachdach, a’ cumail uidheamachd laser taobh a-staigh raon teòthachd as fheàrr agus a’ dèanamh cinnteach à cruinneas agus earbsachd sa phròiseas lithagrafaidh.

Tha Fuaradair TEYU a’ tabhann fuasglaidhean fuarachaidh proifeasanta airson innealan litografaidh

Faodaidh fuaradairean leusair ultra-luath sreath TEYU CWUP smachd teòthachd mionaideach agus seasmhach a thoirt seachad airson innealan litografaidh. Bidh am modail fuaradair CWUP-20ANP a’ coileanadh seasmhachd teòthachd de ±0.08°C, a’ lìbhrigeadh fuarachadh gu math èifeachdach airson saothrachadh mionaideach.

Ann an saoghal mionaideach saothrachadh leth-chonnsachaidh, is e innealan litografaidh na prìomh innealan airson gluasad phàtranan meanbh-chuairtean. Le adhartas teicneòlais, tha inneal litografaidh fluoride krypton agus inneal litografaidh fluoride argon air a bhith nan cumhachd cudromach gus leasachadh a’ ghnìomhachais adhartachadh leis an coileanadh sàr-mhath aca.