loading

Naidheachdan Briste: Bidh MIIT a’ brosnachadh innealan litografaidh DUV dachaigheil le cruinneas còmhdach ≤8nm

Tha stiùiridhean 2024 MIIT a’ brosnachadh ionadaileachadh làn-phròiseas airson saothrachadh sliseagan 28nm+, clach-mhìle theicneòlais chudromach. Am measg nam prìomh adhartasan tha innealan lithagrafaidh KrF agus ArF, a’ comasachadh chuairtean àrd-chruinneas agus a’ brosnachadh fèin-eisimeileachd gnìomhachais. Tha smachd ceart air teòthachd deatamach airson nam pròiseasan sin, le fuaradairean uisge TEYU CWUP a’ dèanamh cinnteach à coileanadh seasmhach ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh.

Anns na mìosan a dh’fhalbh, dh’fhoillsich Ministrealachd a’ Ghnìomhachais agus Teicneòlas Fiosrachaidh (MIIT) na “Stiùiridhean airson Brosnachadh agus Cur an Gnìomh a’ Chiad (Seata) Uidheam Teicnigeach Mòr (Deasachadh 2024)”. Tha seo a’ rèiteachadh na slighe airson làn-phròiseas ionadaileachadh saothrachadh sliseagan aibidh airson nódan os cionn 28nm!

Ged nach eil teicneòlas 28nm ùr-nodha, tha cudromachd mhòr aice mar an loidhne-sgaraidh eadar sgoltagan ìosal gu meadhan-ìre agus meadhan gu àrd-ìre. A bharrachd air CPUan, GPUan, agus sgoltagan AI adhartach, tha a’ mhòr-chuid de sgoltagan ìre gnìomhachais an urra ri teicneòlasan 28nm no nas àirde.

MIIT Promotes Domestic DUV Lithography Machines with ≤8nm Overlay Accuracy

Prionnsabal Obrach: Adhartasan ann an Lithografaidh Ultrabhiolet Domhainn

Tha innealan lithagrafaidh KrF (Krypton Fluoride) agus ArF (Argon Fluoride) a’ tighinn fo roinn lithagrafaidh Ultraviolet Domhainn (DUV). Bidh an dithis a’ cleachdadh tonnan-solais sònraichte a thèid a phròiseict tro shiostaman optaigeach air an t-sreath photoresist de wafer silicon, a’ gluasad phàtranan cuairte iom-fhillte.

Innealan Litagrafaidh KrF: Cleachd stòr solais le tonn-fhaid 248nm, a’ coileanadh rùintean fo 110nm, a tha freagarrach airson diofar phròiseasan saothrachaidh chuairtean amalaichte.

Innealan Lithografaidh ArF: Cleachd stòr solais le tonn-fhaid 193nm, a’ tabhann rùn nas àirde airson teicneòlasan pròiseas fo-65nm, a’ comasachadh saothrachadh chuairtean nas grinne.

Cudromachd Teicneòlach: Ùrachadh Gnìomhachais agus Fèin-eisimeileachd

Tha leasachadh nan innealan litagrafaidh seo a’ comharrachadh clach-mhìle mhòr ann a bhith a’ cur air adhart saothrachadh leth-chonnsachaidh agus a’ coileanadh neo-eisimeileachd gnìomhachais.:

Adhartasan Teicnigeach: Tha cruthachadh soirbheachail innealan lithagrafaidh KrF agus ArF a’ nochdadh adhartas mòr ann an teicneòlas lithagrafaidh àrd-inbhe, a’ toirt seachad taic theicnigeach làidir do saothrachadh leth-chonnsachaidh.

Ùrachadh Gnìomhachais: Leigidh innealan lithagrafaidh àrd-chruinneas le cinneasachadh chuairtean amalaichte nas iom-fhillte agus àrd-choileanaidh, a’ stiùireadh ùr-ghnàthachadh air feadh an t-sèine luach leth-chonnsachaidh gu lèir.

Tèarainteachd Eaconamach is Nàiseanta: Le bhith a’ lughdachadh eisimeileachd air teicneòlas cèin, bidh na h-innealan sin a’ neartachadh fèin-sheasmhachd gnìomhachas leth-chonnsachaidh dachaigheil, a’ neartachadh tèarainteachd eaconamach is gnìomhachais.

Fuaradair Uisge An iuchair airson coileanadh seasmhach inneal litografaidh

Tha smachd ceart air teòthachd riatanach gus dèanamh cinnteach à càileachd agus toradh a’ phròiseis lithagrafaidh. Tha fuaradairean uisge, mar phrìomh phàirtean de shiostaman fuarachaidh, a’ cluich pàirt riatanach:

Riatanasan Fuarachaidh: Tha innealan lithagrafaidh air leth mothachail air atharrachaidhean teothachd rè nochdadh, agus mar sin feumar fuaradairean uisge a bheir seachad smachd teothachd a tha gu math ceart agus seasmhach.

Gnìomhan Fuaradairean: Le bhith a’ cuairteachadh uisge fuarachaidh, bidh fuaradairean a’ sgaoileadh teas a thèid a chruthachadh rè obrachadh gu h-èifeachdach, a’ cumail uidheamachd laser taobh a-staigh raon teòthachd as fheàrr agus a’ dèanamh cinnteach à cruinneas agus earbsachd sa phròiseas lithagrafaidh.

Ultrafast laser chiller CWUP-20ANP with 0.08℃ stability

Tha Fuaradair TEYU a’ tabhann fuasglaidhean fuarachaidh proifeasanta airson innealan litografaidh

Faodaidh fuaradairean laser ultra-luath sreath TEYU CWUP smachd teothachd mionaideach agus seasmhach a thoirt seachad airson innealan lithagrafaidh. An modail fuaradair CWUP-20ANP a’ coileanadh seasmhachd teòthachd ±0.08°C, a’ lìbhrigeadh fuarachadh fìor èifeachdach airson saothrachadh mionaideach.

Ann an saoghal mionaideach saothrachadh leth-chonnsachaidh, is e innealan lithagrafaidh na prìomh innealan airson pàtrain meanbh-chuairtean a ghluasad. Le adhartas teicneòlais, tha inneal litografaidh fluoride krypton agus inneal litografaidh fluoride argon air a bhith nan fheachd chudromach ann a bhith a’ brosnachadh leasachadh a’ ghnìomhachais leis an coileanadh sàr-mhath aca.

Prev
Cleachdadh Teicneòlas Leusair ann an Saothrachadh Fònaichean Sònraichte Fillte
Dreuchd Teicneòlas Laser ann an Àiteachas: A’ neartachadh Èifeachdais agus Seasmhachd
An ath rud

Tha sinn an seo dhut nuair a bhios feum agad oirnn.

Lìon am foirm gus fios a chur thugainn, agus bidh sinn toilichte do chuideachadh.

Dlighe-sgrìobhaidh © 2025 TEYU S&Fuaradair | Mapa-làraich     Poileasaidh prìobhaideachd
Cuir fios thugainn
email
Cuir fios gu Seirbheis Luchd-ceannach
Cuir fios thugainn
email
Sguir dheth
Customer service
detect