Соңғы жаңалықтар: MIIT ≤8 нм қабаттасудың дәлдігі бар отандық DUV литографиялық машиналарын алға жылжытады

Соңғы айларда Индустрия және ақпараттық технологиялар министрлігі (MIIT) «Бірінші (жиынтық) негізгі техникалық жабдықты (2024 жылғы басылым) жылжыту және қолдану жөніндегі нұсқаулықты» шығарды. Бұл 28 нм-ден жоғары түйіндер үшін жетілген чиптерді өндіруді толық процесті локализациялауға жол ашады!

28 нм технологиясы ең озық болмаса да, ол төменнен ортасына дейін және ортадан жоғары деңгейге дейінгі чиптер арасындағы бөлу сызығы ретінде маңызды мәнге ие. Жетілдірілген процессорлар, графикалық процессорлар және AI чиптерінен басқа, өнеркәсіптік деңгейдегі чиптердің көпшілігі 28 нм немесе одан жоғары технологияларға сүйенеді.

Жұмыс принципі: Терең ультракүлгін литографиядағы жетістіктер

KrF (криптон фториді) және ArF (аргон фториді) литография машиналары терең ультракүлгін (DUV) литография санатына жатады. Екеуі де күрделі схема үлгілерін тасымалдай отырып, кремний пластинаның фоторезисттік қабатына оптикалық жүйелер арқылы жобаланған белгілі бір жарық толқын ұзындығын пайдаланады.

KrF литографиялық машиналар: Әр түрлі интегралды схемаларды өндіру процестеріне қолайлы 110 нм-ден төмен рұқсаттарға қол жеткізу үшін толқын ұзындығы 248 нм жарық көзін пайдаланыңыз.

ArF литографиялық машиналар: Толқын ұзындығы 193 нм жарық көзін пайдаланыңыз, бұл 65 нм-ден төмен технологиялық технологиялар үшін жоғары ажыратымдылықты ұсынып, жақсырақ тізбектерді жасауға мүмкіндік береді.

Технологиялық маңыздылығы: Өнеркәсіпті жаңарту және өзін-өзі қамтамасыз ету

Бұл литографиялық машиналарды дамыту жартылай өткізгіштер өндірісін дамытудағы және өнеркәсіптік автономияға қол жеткізудегі маңызды кезеңді білдіреді.:

Техникалық жетістіктер: KrF және ArF литографиялық машиналарының сәтті жасалуы жартылай өткізгіштер өндірісіне сенімді техникалық қолдау көрсете отырып, жоғары деңгейлі литографиялық технологиядағы елеулі прогресті көрсетеді.

Өнеркәсіпті жаңарту: Жоғары дәлдіктегі литография машиналары жартылай өткізгіштердің барлық құн тізбегі бойынша инновацияларды басқара отырып, күрделірек және жоғары өнімді интегралды схемаларды шығаруға мүмкіндік береді.

Экономикалық және ұлттық қауіпсіздік: Шетелдік технологияға тәуелділікті азайту арқылы бұл машиналар отандық жартылай өткізгіш өнеркәсібінің өзін-өзі қамтамасыз ету қабілетін нығайтады, экономикалық және өнеркәсіптік қауіпсіздікті нығайтады.

Су салқындатқыш : Тұрақты литография машинасының өнімділігінің кілті

Литография процесінің сапасы мен өнімділігін қамтамасыз ету үшін температураны дәл бақылау өте маңызды. Су салқындатқыштары салқындату жүйелерінің негізгі компоненттері ретінде маңызды рөл атқарады:

Салқындату талаптары: Литография машиналары әсер ету кезінде температура ауытқуларына өте сезімтал, сондықтан жоғары дәлдік пен тұрақты температураны бақылауды қамтамасыз ететін су салқындатқыштары қажет.

Салқындатқыштардың функциялары: Салқындатқыш суды айналдыра отырып, салқындатқыштар жұмыс кезінде пайда болатын жылуды тиімді түрде таратады, лазерлік жабдықты оңтайлы температура диапазонында сақтайды және литография процесінде дәлдік пен сенімділікті қамтамасыз етеді.

TEYU чиллері литографиялық машиналарға арналған кәсіби салқындату шешімдерін ұсынады

TEYU CWUP сериялы өте жылдам лазерлі салқындатқыштар литография машиналары үшін дәл және тұрақты температураны бақылауды қамтамасыз ете алады. The CWUP-20ANP салқындатқыш үлгісі температураның тұрақтылығына қол жеткізеді ±0.08°C, дәл өндіріс үшін жоғары тиімді салқындату.

Жартылай өткізгіштерді өндірудің нақты әлемінде литография машиналары микросхема үлгілерін тасымалдауға арналған негізгі құрылғылар болып табылады. Технологияның дамуымен криптон фторидті литография машинасы және аргон фторидті литография машинасы керемет өнімділігімен саланың дамуына ықпал ететін маңызды күшке айналды.