முக்கிய செய்தி: MIIT ≤8nm மேலடுக்கு துல்லியத்துடன் உள்நாட்டு DUV லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களை ஊக்குவிக்கிறது.

சமீபத்திய மாதங்களில், தொழில் மற்றும் தகவல் தொழில்நுட்ப அமைச்சகம் (MIIT) "முதல் (தொகுப்பு) முக்கிய தொழில்நுட்ப உபகரணங்களை மேம்படுத்துதல் மற்றும் பயன்படுத்துவதற்கான வழிகாட்டுதல்களை (2024 பதிப்பு)" வெளியிட்டது. இது 28nm க்கு மேல் உள்ள முனைகளுக்கான முதிர்ந்த சிப் உற்பத்தியின் முழு-செயல்முறை உள்ளூர்மயமாக்கலுக்கு வழி வகுக்கிறது!

28nm தொழில்நுட்பம் அதிநவீனமானது அல்ல என்றாலும், குறைந்த-முதல்-நடுத்தர-இறுதி மற்றும் நடுத்தர-முதல்-உயர்-நிலை சில்லுகளுக்கு இடையிலான பிளவு கோடாக இது குறிப்பிடத்தக்க முக்கியத்துவத்தைக் கொண்டுள்ளது. மேம்பட்ட CPUகள், GPUகள் மற்றும் AI சில்லுகளைத் தவிர, பெரும்பாலான தொழில்துறை தர சில்லுகள் 28nm அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட தொழில்நுட்பங்களை நம்பியுள்ளன.

செயல்பாட்டுக் கொள்கை: ஆழமான புற ஊதா லித்தோகிராஃபியில் முன்னேற்றங்கள்

KrF (கிரிப்டான் ஃப்ளோரைடு) மற்றும் ArF (ஆர்கான் ஃப்ளோரைடு) லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் ஆழமான புற ஊதா (DUV) லித்தோகிராஃபி வகையின் கீழ் வருகின்றன. இரண்டும் ஒளியியல் அமைப்புகள் மூலம் ஒரு சிலிக்கான் வேஃபரின் ஒளிமின்னழுத்த அடுக்கில் திட்டமிடப்பட்ட குறிப்பிட்ட ஒளி அலைநீளங்களைப் பயன்படுத்துகின்றன, சிக்கலான சுற்று வடிவங்களை மாற்றுகின்றன.

KrF லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள்: பல்வேறு ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்ற, 110nm க்கும் குறைவான தெளிவுத்திறனை அடையும் 248nm அலைநீள ஒளி மூலத்தைப் பயன்படுத்தவும்.

ArF லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள்: 193nm அலைநீள ஒளி மூலத்தைப் பயன்படுத்தவும், இது 65nm க்கும் குறைவான செயல்முறை தொழில்நுட்பங்களுக்கு அதிக தெளிவுத்திறனை வழங்குகிறது, இது நுண்ணிய சுற்றுகளை உருவாக்க உதவுகிறது.

தொழில்நுட்ப முக்கியத்துவம்: தொழில் மேம்பாடு மற்றும் தன்னிறைவு

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை முன்னேற்றுவதிலும் தொழில்துறை சுயாட்சியை அடைவதிலும் இந்த லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் வளர்ச்சி ஒரு முக்கிய மைல்கல்லைக் குறிக்கிறது:

தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்கள்: KrF மற்றும் ArF லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் வெற்றிகரமான உருவாக்கம் உயர்நிலை லித்தோகிராஃபி தொழில்நுட்பத்தில் குறிப்பிடத்தக்க முன்னேற்றத்தை எடுத்துக்காட்டுகிறது, குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு வலுவான தொழில்நுட்ப ஆதரவை வழங்குகிறது.

தொழில்துறை மேம்பாடு: உயர்-துல்லியமான லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் மிகவும் சிக்கலான மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் உற்பத்தியை செயல்படுத்துகின்றன, முழு குறைக்கடத்தி மதிப்புச் சங்கிலியிலும் புதுமைகளை இயக்குகின்றன.

பொருளாதாரம் மற்றும் தேசிய பாதுகாப்பு: வெளிநாட்டு தொழில்நுட்பத்தை சார்ந்திருப்பதைக் குறைப்பதன் மூலம், இந்த இயந்திரங்கள் உள்நாட்டு குறைக்கடத்தித் துறையின் தன்னிறைவை வலுப்படுத்துகின்றன, பொருளாதாரம் மற்றும் தொழில்துறை பாதுகாப்பை வலுப்படுத்துகின்றன.

நீர் குளிர்விப்பான் : நிலையான லித்தோகிராஃபி இயந்திர செயல்திறனுக்கான திறவுகோல்

லித்தோகிராஃபி செயல்முறையின் தரம் மற்றும் மகசூலை உறுதி செய்வதற்கு துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு அவசியம். குளிரூட்டும் அமைப்புகளின் முக்கிய கூறுகளாக நீர் குளிர்விப்பான்கள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன:

குளிரூட்டும் தேவைகள்: லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் வெளிப்பாட்டின் போது வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களுக்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்டவை, இதனால் மிகவும் துல்லியமான மற்றும் நிலையான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை வழங்கும் நீர் குளிர்விப்பான்கள் தேவைப்படுகின்றன.

குளிர்விப்பான்களின் செயல்பாடுகள்: குளிரூட்டும் நீரைச் சுற்றுவதன் மூலம், குளிரூட்டிகள் செயல்பாட்டின் போது உருவாகும் வெப்பத்தை திறம்படச் சிதறடித்து, லேசர் உபகரணங்களை உகந்த வெப்பநிலை வரம்பிற்குள் பராமரித்து, லித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டில் துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.

லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களுக்கான தொழில்முறை குளிரூட்டும் தீர்வுகளை TEYU சில்லர் வழங்குகிறது

TEYU CWUP தொடர் அதிவேக லேசர் குளிர்விப்பான்கள் லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களுக்கு துல்லியமான மற்றும் நிலையான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை வழங்க முடியும். குளிர்விப்பான் மாதிரி CWUP-20ANP ±0.08°C வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை அடைகிறது, துல்லியமான உற்பத்திக்கு மிகவும் திறமையான குளிர்ச்சியை வழங்குகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் துல்லியமான உலகில், லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் மைக்ரோ சர்க்யூட் வடிவங்களை மாற்றுவதற்கான முக்கிய சாதனங்களாகும். தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றத்துடன், கிரிப்டான் ஃப்ளூரைடு லித்தோகிராஃபி இயந்திரம் மற்றும் ஆர்கான் ஃப்ளூரைடு லித்தோகிராஃபி இயந்திரம் ஆகியவை அவற்றின் சிறந்த செயல்திறனுடன் தொழில்துறையின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்க ஒரு முக்கிய சக்தியாக மாறியுள்ளன.