Notícies d'última hora: el MIIT promociona màquines de litografia DUV domèstiques amb una precisió de superposició ≤8 nm

En els darrers mesos, el Ministeri d'Indústria i Tecnologia de la Informació (MIIT) ha publicat les "Directrius per a la promoció i aplicació del primer (conjunt) equip tècnic important (edició 2024)". Això obre el camí a la localització de processos complets de fabricació de xips madurs per a nodes superiors a 28 nm!

Tot i que la tecnologia de 28 nm no és innovadora, té una importància significativa com a línia divisòria entre els xips de gamma baixa-mitjana i de gamma mitjana-alta. A part de les CPU, GPU i xips d'IA avançats, la majoria dels xips de grau industrial es basen en tecnologies de 28 nm o superiors.

Principi de funcionament: avenços en litografia ultraviolada profunda

Les màquines de litografia KrF (fluorur de criptó) i ArF (fluorur d'argó) pertanyen a la categoria de litografia ultraviolada profunda (DUV). Ambdues utilitzen longituds d'ona de llum específiques projectades a través de sistemes òptics sobre la capa de fotorresina d'una oblia de silici, transferint patrons de circuits complexos.

Màquines de litografia KrF: utilitzen una font de llum de longitud d'ona de 248 nm, aconseguint resolucions inferiors a 110 nm, adequades per a diversos processos de fabricació de circuits integrats.

Màquines de litografia ArF: utilitzen una font de llum de longitud d'ona de 193 nm, que ofereix una resolució més alta per a tecnologies de procés inferiors a 65 nm, permetent la fabricació de circuits més fins.

Importància tecnològica: modernització de la indústria i autosuficiència

El desenvolupament d'aquestes màquines de litografia marca una fita important en l'avanç de la fabricació de semiconductors i la consecució de l'autonomia industrial:

Avenços tècnics: L'èxit de la creació de màquines de litografia KrF i ArF destaca un progrés significatiu en la tecnologia de litografia d'alta gamma, proporcionant un suport tècnic sòlid per a la fabricació de semiconductors.

Actualització de la indústria: les màquines de litografia d'alta precisió permeten la producció de circuits integrats més complexos i d'alt rendiment, impulsant la innovació en tota la cadena de valor dels semiconductors.

Seguretat econòmica i nacional: En reduir la dependència de la tecnologia estrangera, aquestes màquines enforteixen l'autosuficiència de la indústria nacional de semiconductors, reforçant la seguretat econòmica i industrial.

Refrigerador d'aigua : la clau per a un rendiment estable de la màquina de litografia

Un control precís de la temperatura és essencial per garantir la qualitat i el rendiment del procés de litografia. Els refrigeradors d'aigua, com a components bàsics dels sistemes de refrigeració, tenen un paper vital:

Requisits de refrigeració: Les màquines de litografia són extremadament sensibles a les fluctuacions de temperatura durant l'exposició, cosa que requereix refrigeradors d'aigua que proporcionin un control de temperatura altament precís i estable.

Funcions dels refrigeradors: En fer circular aigua de refrigeració, els refrigeradors dissipen eficaçment la calor generada durant el funcionament, mantenint l'equip làser dins d'un rang de temperatura òptim i garantint la precisió i la fiabilitat en el procés de litografia.

Els refrigeradors TEYU ofereixen solucions de refrigeració professionals per a màquines de litografia

Els refrigeradors làser ultraràpids de la sèrie TEYU CWUP poden proporcionar un control de temperatura precís i estable per a màquines de litografia. El model de refrigerador CWUP-20ANP aconsegueix una estabilitat de temperatura de ±0,08 °C, oferint un refredament altament eficient per a la fabricació de precisió.

En el món precís de la fabricació de semiconductors, les màquines de litografia són els dispositius principals per a la transferència de patrons de microcircuits. Amb l'avanç de la tecnologia, la màquina de litografia amb fluorur de criptó i la màquina de litografia amb fluorur d'argó s'han convertit en una força important per promoure el desenvolupament de la indústria amb el seu excel·lent rendiment.