Vaovao farany: MIIT dia mampiroborobo ny milina Lithography DUV an-trano miaraka amin'ny ≤8nm Overlay Accuracy

Tao anatin'ny volana vitsivitsy izay, ny Minisiteran'ny Indostria sy ny Teknolojian'ny Fampahalalam-baovao (MIIT) dia namoaka ny "Torolalana ho an'ny fampiroboroboana sy fampiharana ny fitaovana ara-teknika lehibe voalohany (Set) (Edisiona 2024)". Izany dia manome lalana ho an'ny fizotry ny fizotry ny famokarana chip matotra ho an'ny node mihoatra ny 28nm!

Na dia tsy manara-penitra aza ny teknolojia 28nm, dia manana lanjany lehibe izy io satria ny tsipika mampisaraka eo amin'ny chips ambany ka hatramin'ny afovoany sy afovoany. Ankoatra ny CPU efa mandroso, GPU ary chips AI, ny ankamaroan'ny chips indostrialy dia miankina amin'ny teknolojia 28nm na ambony.

Fitsipika miasa: Fandrosoana amin'ny Lithography Ultraviolet Deep

Ny milina litografika KrF (Krypton Fluoride) sy ArF (Argon Fluoride) dia tafiditra ao anatin'ny sokajy lithography Deep Ultraviolet (DUV). Samy mampiasa halavan'ny onjam-pahazavana voafaritra amin'ny alàlan'ny rafitra optika eo amin'ny sosona photoresist amin'ny wafer silisiôma izy ireo, mamindra lamina saro-pady.

KrF Lithography Machines: Mampiasà loharanom-pahazavana 248nm amin'ny halavan'ny onjam-pahazavana, mahatratra ny fanapahan-kevitra ambanin'ny 110nm, mety amin'ny fizotran'ny famokarana circuit integrated isan-karazany.

ArF Lithography Machines: Mampiasà loharanom-pahazavana 193nm amin'ny halavan'ny onjam-pahazavana, manome vahaolana avo kokoa ho an'ny teknolojian'ny dingana sub-65nm, ahafahana manamboatra faritra tsara kokoa.

Zava-dehibe ara-teknolojia: fanatsarana ny indostria sy ny fizakan-tena

Ny fampivoarana ireo milina lithography ireo dia manamarika dingana lehibe amin'ny fandrosoan'ny famokarana semiconductor sy ny fahazoana ny fahaleovan-tena indostrialy.:

Fivoarana ara-teknika: Ny famoronana mahomby amin'ny milina litografika KrF sy ArF dia manasongadina fandrosoana lehibe amin'ny teknolojia litografia avo lenta, manome fanohanana ara-teknika matanjaka amin'ny famokarana semiconductor.

Fanatsarana ny indostria: Ny milina litografika avo lenta dia ahafahana mamokatra circuits mitambatra sarotra sy mahomby kokoa, mitondra fanavaozana manerana ny rojo sanda semiconductor manontolo.

Fiarovana ara-toekarena sy nasionaly: Amin'ny fampihenana ny fiankinan-doha amin'ny teknolojia vahiny, ireo milina ireo dia manamafy ny fahaleovantenan'ny indostrian'ny semiconductor anatiny, manamafy ny fiarovana ara-toekarena sy indostrialy.

Water Chiller : Ny fanalahidin'ny fampandehanana ny milina Lithography

Tena ilaina ny fanaraha-maso mari-pana marina mba hiantohana ny kalitao sy ny vokatra amin'ny fizotran'ny lithography. Ny fampangatsiahana rano, ho singa fototra amin'ny rafitra fampangatsiahana, dia mitana anjara toerana lehibe:

Fepetra fampangatsiahana: Ny milina litografika dia tena saro-pady amin'ny fiovaovan'ny mari-pana mandritra ny fiposahan'ny masoandro, ka mila fanamafisam-peo izay manome fifehezana ny mari-pana marina sy maharitra.

Ny asan'ny Chillers: Amin'ny alàlan'ny fikorianan'ny rano mangatsiaka, ny chillers dia manala tsara ny hafanana aterak'izany mandritra ny fandidiana, mitazona fitaovana laser ao anatin'ny mari-pana tsara indrindra ary miantoka ny fahitsiana sy ny fahamendrehana amin'ny fizotran'ny lithography.

TEYU Chiller dia manolotra vahaolana mangatsiaka matihanina ho an'ny milina Lithography

TEYU CWUP andian-dahatsoratra ultrafast tamin'ny laser chillers dia afaka manome mazava tsara sy marin-toerana fanaraha-maso ny mari-pana ho an'ny milina lithography. ny Modely mifandraika amin'ny " CWUP-20ANP mahatratra ny maripana fahamarinan-toerana ny ±0.08°C, manome fampangatsiahana tena mahomby ho an'ny famokarana mazava tsara.

Ao amin'ny tontolon'ny famokarana semiconductor mazava tsara, ny milina lithography no fitaovana fototra amin'ny famindrana lamina microcircuit. Miaraka amin'ny fandrosoan'ny teknolojia, ny krypton fluoride lithography machine sy argon fluoride lithography machine dia lasa hery manan-danja hampiroborobo ny fampandrosoana ny indostria amin'ny fahombiazany.